下载压电压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法的技术资料

文档序号:15635441

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本发明涉及一种压电压力传感器(1),具有:采集力的膜片(21);压电接收器(22),在其上,所采集到的力产生电极化电荷;电极(25),其取走所产生的电极化电荷并通过电荷引出部(311)引出;其中,所述电极(25)具有电荷拾取部(251)和至...
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