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压电压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法技术
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文档序号:15635441
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本发明涉及一种压电压力传感器(1),具有:采集力的膜片(21);压电接收器(22),在其上,所采集到的力产生电极化电荷;电极(25),其取走所产生的电极化电荷并通过电荷引出部(311)引出;其中,所述电极(25)具有电荷拾取部(251)和至...
该专利属于基斯特勒控股公司所有,仅供学习研究参考,未经过基斯特勒控股公司授权不得商用。
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