【技术实现步骤摘要】
回转定孔式运动扫描装置
本专利技术回转定孔式运动扫描装置属于显微测量
,具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构。
技术介绍
基于椭球反射镜照明的显微测量装置,采用大数值孔径的椭球反射镜,并且椭球反射镜的远焦点与照明物镜的焦点重合,此处提供照明光源,近焦点处放置实验样品,即可获得前向与后向的大角度照明。利用椭球反射镜照明获得前向与后向的大角度照明,能够有效地克服显微系统分辨力受数值孔径限制的不足,大幅度提高系统的横向分辨力及轴向分辨力,具有广阔的应用前景。在显微测量
,扫描照明的技术手段被广泛采用,椭球反射照明显微测量装置也不例外。不仅如此,扫描装置还是椭球反射照明显微测量装置中重要组成部分。由于椭球反射镜照明方式的特殊性,需要将扫描装置置于显微测量装置的内部,因此传统的振镜或转镜等设置在显微测量装置外部的扫描方式无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中。
技术实现思路
为了解决传统振镜或转镜扫描结构无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中的问题,本专利技术公开了一种回转定孔式运动扫描装置,针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构,提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构,实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。本专利技术的目的是这样实现的:回转定孔式运动扫描装置,由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成;所述移动机构由电机、丝杠、滑块、限位器和挡光片组成;所述电机的转轴连接丝杠,所述丝杠上安装有能够沿丝杠运动的滑块,在丝杠的两端设置有限定滑块位置的限位器,所述挡光片固定安装在滑块上,并随滑块一起运动,挡光片上 ...
【技术保护点】
回转定孔式运动扫描装置,其特征在于,由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成;所述移动机构由电机(1)、丝杠(2)、滑块(3)、限位器(4)和挡光片(5)组成;所述电机(1)的转轴连接丝杠(2),所述丝杠(2)上安装有能够沿丝杠(2)运动的滑块(3),在丝杠(2)的两端设置有限定滑块(3)位置的限位器(4),所述挡光片(5)固定安装在滑块(3)上,并随滑块(3)一起运动,挡光片(5)上开有通光孔;电机(1)的转轴转动,驱动丝杠(2)旋转,从而使滑块(3)带动挡光片(5)沿与丝杠(2)平行的直线方向运动;所述旋转机构由光阑(6)、驱动光阑(6)在其所在平面内转动的旋转台(7)和底座(8)组成;所述光阑(6)底部设置有凸起结构,凸起结构边缘与光阑(6)边缘之间的区域均匀分布有多个定位孔,光阑(6)中心设置有通孔,从所述通孔到圆周设置有圆心角为1度的扇形开口,所述扇形开口的开口方向与挡光片(5)的运动方向相同,所述旋转台(7)固定安装在底座(8)上,旋转台(7)顶部为与凸起结构相配合的沉孔结构;通过改变电机(1)的参数,使挡光片(5)上的小孔停留在扇形开口的任意位置处,从而改变径向照明角度 ...
【技术特征摘要】
1.回转定孔式运动扫描装置,其特征在于,由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成;所述移动机构由电机(1)、丝杠(2)、滑块(3)、限位器(4)和挡光片(5)组成;所述电机(1)的转轴连接丝杠(2),所述丝杠(2)上安装有能够沿丝杠(2)运动的滑块(3),在丝杠(2)的两端设置有限定滑块(3)位置的限位器(4),所述挡光片(5)固定安装在滑块(3)上,并随滑块(3)一起运动,挡光片(5)上开有通光孔;电机(1)的转轴转动,驱动丝杠(2)旋转,从而使滑块(3)带动挡光片(5)沿与丝杠(2)平行的直线方向运动;所述旋转机构由光阑(6)、...
【专利技术属性】
技术研发人员:高姗,刘俭,李梦周,谭久彬,范凤磊,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:黑龙江,23
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