下载回转定孔式运动扫描装置的技术资料

文档序号:15613466

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本发明回转定孔式运动扫描装置属于显微测量技术领域,具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构;该装置由移动机构和固定在旋转机构上的旋转机构组成;所述移动机构由电机、丝杠、滑块、限位器和挡光片组成;所述旋转机构由光阑、驱动光阑在其所...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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