合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法技术

本发明专利技术公开的一种合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，旨在提供一种测量效率高的非接触式测量方法，本发明专利技术通过下述技术方案予以实现：CCD远心镜头通过影像感应器产生一个种基准圆与被测工件的圆弧边缘影像相交的长度不一致的两个交点，找到被测工件直径最大处；通过计算机分别控制微调工作台上的三维伺服电机，将反射的影像和未反射的边缘影像逐渐调整向光轴靠近，直到距它们距离等于0，边缘影像与反射影像在光轴处相切合成为一个边缘合像点，计算机控制软件将作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据在基准点位置时精密光栅尺位置尺寸，得到被测工件的孔径一个边点的尺寸和另一侧一个边点尺寸，计算得到两点尺寸，得到被测工件的孔径尺寸。

【技术实现步骤摘要】
合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法
本专利技术涉及一种高深宽比小孔内径的检测方法，尤其是机械加工中测量φ0.1mm～φ25mm内孔的非接触测量快速测量方法。
技术介绍
长度测量是几何量测量中的一项重要内容，孔径测量又是长度测量中的关键技术和难点之一。随着科学技术的发展和尖端产品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越来越广泛地应用于汽车、电子、光纤通讯和流体控制等领域，这些应用对微小孔的加工也提出了更高的要求。例如精密仪器上的轴孔、量针等，不仅要求孔径大小准确，而且要求孔壁光滑。有关内外径的高精度测量都是关键的技术问题，内外径测量和检定校准问题，量值传递和溯源问题也是越来越重要。结构简单、量程较大和精度较高的检测方法，实现孔内径的在线检测，这对于深孔加工过程中的质量控制和提高装配效率具有重要的意义。对这一尺寸的控制将直接影响仪器或加工件的装配质量甚至性能，因此，在对小尺寸孔类零件提出精密加工要求的同时,也是对其检测精度提出了更高的要求。在高深宽比小孔检测的过程中,由于其检测操作不便,效率低,检测的难度较大。孔类零件和轴类零件相比,即便公差等级相同,前者的检测也要更加困难一些。由于很难保证在小孔表面和小孔径深处的尺寸相同,特别是对于高深宽比且孔内又是断续的内表面的这类特殊孔。由于很难保证在小孔表面和小孔径深处的尺寸相同，特别是对于高深宽比且孔内又是断续的内表面的这类特殊孔。在人工测量方法中无法判断出测得的值是否是作用于截面的直径。除此之外，精密类零件为满足高精度的配合问隙，其内工作表面的粗糙度也要求很高，即便是平常被人们认为测量精度很高的传感器，也可能因为测量力的存在造成测量误差并有可能划伤零件内孔壁。因此，深小孔类精密零件的高精度、高效、经济的测量就成为一个较难实现的问题。目前作为内径尺寸测量，主要是通过高精度测长机、高精度三坐标测量机进行测量。高精度测长机是接触式比较测量，而且Φ12mm以下孔径的精密的测量，通常采用电眼测量，测针测量，测针测量要探测到工件内部，测针有一定的体积而且有一定的测量力。高精度三坐标也是接触式间接测量的方式进行测量，因此，高精度测长机、高精度三坐标测量机进行小孔测量都属于接触测量，均会产生接触变形，产生测量误差。接触式测量方法的操作误差较大，对深孔的测量不便；非接触法大多只能测量通孔，且受到小孔端面形貌的影响较大，不能获得小孔任意截面的信息；激光扫描CCD成像方法国内还没有产品化，造价相对较高，不便于大批量的投入使用。现有技术小孔综合检测方法是由光学分度头、光学检验器等附件配合组成的。一般情况下,由于没有专用仪器和其它更好的测量方法,只能靠工艺来保证小孔尺寸,或者用针插法来测量孔径,但这都不太准确、可靠。对于孔深达4mm的微小孔，由于所测量的微小孔孔径较小，可控光源无法准确地深入孔内，故无法用光干涉原理的方法测量。若采用直接接触式测量方法，虽然探头直径比微小孔内径小，但与其连接的后续部分太大，使得探头无法深入微小孔内部进行直接测量。
技术实现思路
本专利技术目的是针对现有技术测量方法存在的不足之处，提供了一种结构简单、测量效率高，以高精度光栅尺为长度标准，利用合像瞄准技术，进行绝对测量的非接触式测量方法，以解决一直困扰长度测量的Φ0.1mm～Φ25mm以下的小孔精密测量难题的小孔测量方法。本专利技术解决其问题所采用的技术方案是：一种合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，具有如下技术特征：首先是找直径最大处，CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，在影像感应器9上刻有一个种基准圆15，同时在影像感应器9上产生一个种基准圆15与被测工件2的圆弧边缘影像13相交的长度不一致的两个交点，其中，种基准圆上交点16、种基准圆下交点17，通过计算机找正基准圆上交点16与基准圆下交点11差值≤1μm，即基准圆上交点16与基准圆下交点11的差值≤1μm时找到了被测工件2直径最大处；然后，消除垂直度误差，由于被测工件2端面与微调工作台8存在不垂直误差,当被测工件2孔壁测量面靠近镜头光轴12时，部分光束因被测工件2中心与光轴12不重合及被测工件2端面与微调工作台8存在不垂直度，光线被被测工件2的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面10反射，反射影像18和边缘影像13通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台8上的三维伺服电机，将反射的影像18和未反射的边缘影像13逐渐调整向光轴12靠近，直到基准圆中心线距离22、距离23均等于0时，边缘影像13与反射影像18在光轴12处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点20，计算机控制软件将边缘合像点20作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据在基准点位置时精密光栅尺位置尺寸，得到被测工件2的孔径一个边点的尺寸。同理，被测工件2移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件2的尺寸。本专利技术相比于现有技术具有如下有益效果。结构简单。本专利技术采用Y轴移动伺服电机3，水平调整伺服电机4，仪器底座5，X轴移动伺服电机6，X轴向移动工作台7，微调工作台8和CCD远心镜头组成像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，相比于现有技术高精度三坐标测量机、高精度测长机结构简单。工件的安装、测量变得非常直观、易于操作，仪器以直接测量方式工作，测量时不需要用标准件比对。采用合像瞄准方法结合CCD远心镜头1对图像采集，通过计算机软件控制，调整微调工作台8及各伺服电机，即可调整工件的X、Y方向的倾斜及工件的水平方向移动，提高了瞄准精度及测量效率，结构简单。实现低成本高回报、操作较简便的检测方法。测量效率高。本专利技术采用CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，利用合像瞄准技术进行绝对测量的非接触测量的小孔，采用CCD远心镜头1配合Y轴移动伺服电机3，水平调整伺服电机4，微调工作台8，通过计算机控制CCD远心镜头1、水平调整伺服电机4、X轴移动伺服电机6、X轴向移动工作台7及微调工作台8找正零件得出测量结果，运用CCD远心镜头1像方远心光路，将孔径光阑放置在光学系统的物方焦平面上，像方主光线平行于光轴主光线的会聚中心位于物方无限远的像方远心光路,可以消除像方调焦不准引入的测量误差。通过观测被测截面成像的几何关系和调整工作台，保证了被测件处于正确的测量位置上。相比于现有技术接触式测头，光学测头不用找拐点，既减少了测量次数，提高了测量精度。测量内径的端点定位方式,采用合像瞄准。合像的像点20相当于接触式测头的探针，可以“伸到”被测孔内进行测量。将“像点”作为触头与被测面接触，不会产生测量力，更不会损害工件的被测面，可以在测量0～25mm的尺寸时不会产生接触变形，因而提高了测量精度。测量精度高。本专利技术采用高精度光栅尺，测量范围是0～25mm，分度刻度为0.0005mm，重复精度≤1μm，CCD远心镜头种基准圆15下基准圆下交点11上基准圆上交点16分别形成相对于被测工件2的圆弧边缘影像13，当被测工件2孔壁测量面靠近镜头光轴12时，部分光束因为被测工件2中心与镜头光轴12不重合及测工件2端面与微调工作台8不垂直，光线因而被被测工件2的边缘遮盖，而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，具有如下技术特征：首先是找直径最大处，CCD远心镜头(1)通过底座(5)弓形臂正对被测工件(2)，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，在影像感应器(9)上刻有一个种基准圆(15)，同时在影像感应器(9)上产生一个种基准圆(15)与被测工件(2)的圆弧边缘影像(13)相交的长度不一致的两个交点，其中，种基准圆上交点(16)、种基准圆下交点(17)，通过计算机找正基准圆上交点(16)与基准圆下交点(11)差值≤1μm，即基准圆上交点(16)与基准圆下交点(11)的差值≤1μm时找到了被测工件(2)直径最大处；然后，消除垂直度误差，由于被测工件(2)端面与微调工作台(8)存在不垂直误差,当被测工件(2)孔壁测量面靠近镜头光轴(12)时，部分光束因被测工件(2)中心与镜头光轴(12)不重合及被测工件(2)端面与微调工作台(8)存在不垂直度，光线被被测工件(2)的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面(10)反射，反射影像(18)和边缘影像(13)通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台(8)上的三维伺服电机，将反射的影像(18)和未反射的边缘影像(13)逐渐调整向光轴(12)靠近的距离等于0时，边缘影像(13)与反射影像(18)在光轴(12)处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点(20)，计算机控制软件将边缘合像点(20)作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据在基准点位置时精密光栅尺位置尺寸，得到被测工件(2)的孔径一个边点的尺寸；同理，被测工件(2)移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件(2)的孔径尺寸。...

【技术特征摘要】
1.一种合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，具有如下技术特征：首先是找直径最大处，CCD远心镜头(1)通过底座(5)弓形臂正对被测工件(2)，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，在影像感应器(9)上刻有一个种基准圆(15)，同时在影像感应器(9)上产生一个种基准圆(15)与被测工件(2)的圆弧边缘影像(13)相交的长度不一致的两个交点，其中，种基准圆上交点(16)、种基准圆下交点(17)，通过计算机找正基准圆上交点(16)与基准圆下交点(11)差值≤1μm，即基准圆上交点(16)与基准圆下交点(11)的差值≤1μm时找到了被测工件(2)直径最大处；然后，消除垂直度误差，由于被测工件(2)端面与微调工作台(8)存在不垂直误差,当被测工件(2)孔壁测量面靠近镜头光轴(12)时，部分光束因被测工件(2)中心与镜头光轴(12)不重合及被测工件(2)端面与微调工作台(8)存在不垂直度，光线被被测工件(2)的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面(10)反射，反射影像(18)和边缘影像(13)通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台(8)上的三维伺服电机，将反射的影像(18)和未反射的边缘影像(13)逐渐调整向光轴(12)靠近的距离等于0时，边缘影像(13)与反射影像(18)在光轴(12)处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点(20)，计算机控制软件将边缘合像点(20)作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据在基准点位置时精密光栅尺位置尺寸，得到被测工件(2)的孔径一个边点的尺寸；同理，被测工件(2)移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件(2)的孔径尺寸。2.如权利要求1所述的合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，其特征在于：按直角坐标系，微调工作台(8)、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机(3)和水平调整伺服电机(4)在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头(1)光轴，且水平调整伺服电机(4)受控于计算机。3.如权利要求1所述的合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，其特征在于：在底座(5)的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台(7)，底座(5)的侧平面上设有控制移动工作台(7)沿X轴移动的X轴移动伺服电机(6)。4.如权利要求1所述的合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，其特征在于：计算机启动时，CCD远心镜头(1)通过影像感应器(9)，观察到被测工件(2)孔壁反射图像的边缘影像(13)与反射影像(18)，CCD远心镜头通过计算机控制软件找测工件(2)孔径的最大直径。5.如权利要求1所述的合像测量深小孔类孔径的非接触测量方法，其特征在于：当被测工件(2)的边缘影像(13)与CCD远心镜头(1)的种基准圆弧(15)的种基准圆上交点(16)与反射影像(18)的种基准圆下交点(17)前后不一致而不相等，这时通过计算机采集影像感应器(9)基准圆上中基准圆上交点(16)与基准圆下交点(17)的长度尺寸，通过控制软件控制微调工作台(8)移动，直到边缘影像(13)与基准圆弧(15)的基准圆上交点(16)与基准圆下交点(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘斌，罗梅，
申请(专利权)人：四川凌峰航空液压机械有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51