掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法在LINUX系统下实施，包括根据掩模版图设计文书制作EB生成演算式文件；利用解析器完成对层次操作的解析，获得其中的层次和数字信息；将EB生成演算式文件中每行的层次操作信息储存到层次总表中；将EB生成演算式文件中逻辑操作的每个元素解析，形成规则验证文件；将检查指令和原始层次检测信息输出到规则验证文件，若还具有原始层次信息则返回执行步骤2),直到规则验证文件中不再具有原始层次信息为止；对规则验证文件逻辑操作优化，表达式解析归并。本发明专利技术能自动生成掩模版图最小物理规则验证文件，能节省制作规则验证文件工作量，能提高编码正确率。

Method for making minimum physical rule verification document of mask layout

The invention discloses a method for manufacturing a mask layout verification implementation of minimum physical rules file in the LINUX system, including the mask layout design document generation algorithms using EB file parser parsing; the level of operation, and obtain the level of digital information; EB generation algorithms of every row in the file the information stored in the hierarchical operation level summary; each element analysis of EB generation logic algorithms file operations, forming rule verification documents; will check the instructions and original level detection information output to the rule of validation documents, if also has the original level of information is returned in step 2), until the rule file is no longer the original level of verification the information so far; rules on the validation document logical operation optimization, analytical expressions for merging. The invention can automatically generate the smallest physical rule verification document of the mask layout, and can save the work of making the rules and verifying the files, and can improve the coding accuracy rate.

【技术实现步骤摘要】
掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法。
技术介绍
EBslitcheck即检查各层masklayer(掩模版层次)在做完LogicOperation(层次逻辑演算)后是否还满足基本的设计规则(minimumwidth,minimumspace)。通常掩模版图最小物理规则验证文件的开发流程如图1所示，需要的输入两部分信息：A.逻辑演算生成式；B.最小设计规则信息；来形成掩模版图最小物理规则验证文件。一份完整的掩模版图最小物理规则验证文件主要包括：物理验证文件环境变量建立部分，2层次录入部分，逻辑演算生成式部分，设计规则部分；再于标题部分添加文件名、注意点、改版履历等信息，即制作成一份掩模版图最小物理规则验证文件。从上述内容分析可知，一份完整的掩模版图最小物理规则验证文件从文书中摘取了下列信息：MaskNO(掩模板号),MaskName(掩模板名称),LayerNO(层次序号),LogicOperation(逻辑运算),CheckWidth(线宽)/Space(间距)。其中尤以LogicOperatio本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在LINUX系统下实施的掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法，所述掩模版图最小物理规则验证文件由逻辑演算生成式和最小设计规则信息组成，其特征是，包括：1)根据掩模版图设计文书制作EB生成演算式文件，所述EB生成演算式文件提供生成掩模版图最小物理规则验证文件的原始层次信息；2)利用解析器完成对原始层次信息操作的逐行解析，获得其中的层次和数字信息；3)将EB生成演算式文件中每行的层次操作信息储存到层次总表中；4)将EB生成演算式文件中逻辑操作的每个元素解析，根据不同的操作符生成不同的操作指令用以制作规则语句，将逻辑操作指令按照层次总表顺序输出到所述规则语句形成规则验证文件；5)将检查指令和原...

【技术特征摘要】
1.一种在LINUX系统下实施的掩模版图最小物理规则验证文件的制作方法，所述掩模版图最小物理规则验证文件由逻辑演算生成式和最小设计规则信息组成，其特征是，包括：1)根据掩模版图设计文书制作EB生成演算式文件，所述EB生成演算式文件提供生成掩模版图最小物理规则验证文件的原始层次信息；2)利用解析器完成对原始层次信息操作的逐行解析，获得其中的层次和数字信息；3)将EB生成演算式文件中每行的层次操作信息储存到层次总表中；4)将EB生成演算式文件中逻辑操作的每个元素解析，根据不同的操作符生成不同的操作指令用以制作规则语句，将逻辑操作...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐靓，张紫弘，张兴洲，倪凌云，孙长江，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31