For Czochralski heater for regulating the temperature gradient of the invention, a heater body having a first end and a second end opposite the first end to the second, the end of the first slot and extending along the second end is extended to the end of the second slot, second slot and a first slot arranged alternately, part of the second slot or all of the adjusting tank heating distribution. Czochralski method of the invention comprises the steps of: loading; the heater material form a melt; the heater power regulation, longitudinal temperature gradient control of melt, the seed will be welded into the melt surface, and in turn lead crystal, shoulder, shoulder, diameter and closing up monocrystalline silicon. For single-crystal Czochralski method with a heater and adjust the temperature gradient by the regulating tank regulating the heating power, can obtain the temperature distribution of different form, can be adapted to high speed, low content of impurities, defects such as low temperature gradient optimization, demand.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶硅制造
,具体涉及一种便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,还涉及利用前述便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器的直拉单晶方法。
技术介绍
直拉法又称为切克劳斯基法,简称CZ法。CZ法的特点是将装在坩埚中的多晶硅化料以形成熔体,然后将籽晶插入熔体表面进行熔接,同时转动并提升籽晶,依次经过引晶、放肩、转肩、等径生长及收尾过程,提拉生长硅单晶。随着光伏产业的发展,直拉单晶的生产成本及成品品质面临着更高的要求。热场与单晶提拉速度、杂质含量及缺陷分布等一系列参数息息相关,直接影响直拉单晶的成本与品质。现有的直拉单晶热场,通常采用对筒形石墨元件开槽加工而成的方波形加热器,其控制方式单一、加热功率相对固定,难以配合热场的其他部件、形成优化的温度分布,已逐渐跟不上产业发展的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,利用其可以方便地调节直拉单晶生长的温度参数。本专利技术的目的还在于提供一种利用前述便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器的直拉单晶方法,其可以方便地调节单晶生长工艺,从而提高直拉单晶的品质。本专利技术所采用的一种技术方案是:便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,包括加热器主体,加热器主体具有相对的第一端部和第二端部,沿第一端部向第二端部延伸设置有多个第一狭槽以及沿第二端部向第一端部延伸设置有多个第二狭槽,多个第一狭槽和第二狭槽交替设置,多个第二狭槽中,部分或全部为调节发热分布的调节槽。本专利技术的特点还在于,多个调节槽相对于加热器主体的中心轴线对称分布。相邻两个第一狭槽之间形成一个发热单元, ...
【技术保护点】
便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,包括加热器主体,所述加热器主体具有相对的第一端部(10)和第二端部(20),沿第一端部(10)向第二端部(20)延伸设置有多个第一狭槽(1)以及沿第二端部(20)向第一端部(10)延伸设置有多个第二狭槽(2),所述多个第一狭槽(1)和第二狭槽(2)交替设置,所述多个第二狭槽(2)中,部分或全部为调节发热分布的调节槽(21)。
【技术特征摘要】
1.便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,包括加热器主体,所述加热器主体具有相对的第一端部(10)和第二端部(20),沿第一端部(10)向第二端部(20)延伸设置有多个第一狭槽(1)以及沿第二端部(20)向第一端部(10)延伸设置有多个第二狭槽(2),所述多个第一狭槽(1)和第二狭槽(2)交替设置,所述多个第二狭槽(2)中,部分或全部为调节发热分布的调节槽(21)。2.如权利要求1所述的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,所述多个调节槽(21)相对于所述加热器主体的中心轴线对称分布。3.如权利要求1所述的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,相邻两个所述第一狭槽(1)之间形成一个发热单元(3),所述调节槽(21)所处的发热单元(3)沿所述加热器主体轴向的长度小于或等于所述加热器主体上第一端部(10)与第二端部(20)之间的距离。4.如权利要求1-3任一项所述的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,所述多个第二狭槽(2)中部分为调节发热分布的调节槽(21),所述调节槽(21)的长度小于其余第二狭槽(2)的长度。5.如权利要求4所述的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,自所述第二端部(20)向第一端部(10)方向,所述调节槽(21)沿垂直于所述加热器主体中心线方向的截面积逐渐变小。6.如权利要求4所述的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,其特征在于,自所述第二端部...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴丹,
申请(专利权)人:西安通鑫半导体辅料有限公司,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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