下载便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器及直拉单晶方法的技术资料

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本发明的便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器,加热器主体具有相对的第一端部和第二端部,沿第一端部向第二端部延伸设置第一狭槽以及沿第二端部向第一端部延伸设置第二狭槽,第一狭槽和第二狭槽交替设置,第二狭槽中部分或全部为调节发热分布的调节槽。本发明...
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