The invention discloses a double face alignment exposure system, which belongs to the technical field of direct writing exposure machine. Double exposure system of the invention comprises a bearing device and alignment of the samples are located on both sides of the sample carrying device positioning device and exposure device, the invention provides a double-sided alignment exposure method include plate, marking, turning plate, positioning and exposure steps; the semi conductor, PCB board and other products double exposure image accurately in the process of locating, marking, using the shape of graphic as graphic marks or use the add tag pattern as for positioning, will not cause permanent damage to the board; equipment and method is simple, does not need to add additional exposure markers for printing or graphics equipment, cost savings.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种双面对准的曝光系统,属于直写曝光机
技术介绍
直写曝光技术是近年来迅速发展起来的影像直接转移技术,以其工艺流程简单、生产效率高、制造成本低等特点,很快取代了传统的掩膜板式的光刻技术,成为在PCB和半导体等生产领域最重要和最普遍的技术。但是,在现有技术的直写设备对PCB板进行双面曝光时,常常很难将板两面的图形进行精确对位,尤其对于内层板,由于内层板上没有定位孔的存在,更难以实现两面曝光图形的精确对位,造成曝光质量下降,严重时导致产品报废。传统的对位方法-UVmark法可以解决这一问题。但是,一方面,该技术长时间被国外公司垄断,极大地限制了我国在直写曝光
的科技发展,进而影响到相关领域的科技进步;另一方面,该技术的原理是在曝光一面图形的同时,利于紫外线在另一面一定位置做相应标记,用作该面曝光时的对位,这样的技术存在会在产品上造成无法消除的印迹而影响产品性能、在未曝光面留印迹会导致未曝光面污染、标记烙印边缘不够锐利而较难达到很高的对位精度、导致基板吸附不均而造成板面不平等问题。因此,迫切需要开发一种效果更好的技术以打破国外公司在该领域的长期垄断,并更好地解决对位不准等问题。
技术实现思路
为了解决上述问题,本专利技术提供了一种双面对准的曝光系统及双面对位曝光方法。本专利技术的第一个目的是提供一种双面对准的曝光系统,所述双面对准的曝光系统包括样品承载装置和分别位于样品承载装置两侧的对位装置和曝光装置。在本专利技术的一种实施方式中,所述样品承载装置为不影响对位装置和曝光装置对样品两面同时作用的装置。在本专利技术的一种实施方式中,所述样 ...
【技术保护点】
一种双面对准的曝光系统,其特征在于,所述双面对准的曝光系统包括样品承载装置和分别位于样品承载装置两侧的对位装置和曝光装置。
【技术特征摘要】
1.一种双面对准的曝光系统,其特征在于,所述双面对准的曝光系统包括样品承载装置和分别位于样品承载装置两侧的对位装置和曝光装置。2.根据权利要求1所述的双面对准的曝光系统,其特征在于,所述样品承载装置为不影响对位装置和曝光装置对样品两面同时作用的装置。3.根据权利要求1所述的双面对准的曝光系统,其特征在于,所述样品承载装置为磁悬浮装置,或者其他任何能够对样品起到支撑作用且不会对曝光区域和对位识别区域产生遮挡的装置。4.根据权利要求1所述的双面对准的曝光系统,其特征在于,所述对位装置为一种图像识别光路系统。5.根据权利要求1所述的双面对准的曝光系统,其特征在于,所述对位装置为CCD相机。6.根据权利要求1所述的双面对准的曝光系统,其特征在于,所述曝光装置包括有DMD组件或多棱镜组件。7.一种基于双面对准的曝光系统的双面对位曝光方法,其特征在于,所述方法中,为方便理解,将待双面曝光的样品的两面称为A面、B面,此时有如下情形:第一种情形,样品的两面均尚未曝光,所述对位方法依次包括如下步骤:(1)将样品放置于样品承载装置,并使A面朝向曝光装置一侧;(2)标记图形的确定:若A面待曝光的...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅志伟,
申请(专利权)人:上海誉刻智能装备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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