一种用于提升生产能力的系统和用于提升生产能力的方法技术方案

本发明专利技术提供了一种用于提升生产能力的系统和用于提升生产能力的方法。所述系统包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。该系统可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。该用于提升生产能力的方法同样具有上述优点。

System for enhancing production capacity and method for improving production capacity

The present invention provides a system for enhancing production capacity and a method for improving production capacity. The system includes: a model for historical fault data collection module, machine parts and inline data to establish the prediction model of fault machine parts with the inline data; and the production forecast module, used by the forecasting model to predict the machine's production ability, and priorities the machine. The system can detect the failure of machine parts and take measures to improve the level of production capacity and reduce the risk of failure. The method used to enhance the production capacity has the same advantages.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产领域，具体而言涉及一种用于提升生产能力的系统和用于提升生产能力的方法。
技术介绍
目前工厂以内联监视器(inlinemonitor)来监测工厂的生产能力(Cpk)。然而,当机台部件发生故障或表现不稳定,往往造成生产能力下降,甚至会伴随大量产品报废(OOC/OOS)的风险。机台的部件故障(alarm)常影响其生产能力不稳定,然而,现在的生产模式只在于当生产能力不好时,才对机台采取改善措施,如此往往不够及时且风险可能扩大。当前只在机台生产能力不好或报废时，才针对机台采取改善措施,不够及时且风险可能扩大。目前各工厂只有针对机台处方(recipe)参数进行预测调机的系统(自动处理控制，AutomaticProcessControl，APC系统)来改善生产能力；但对于机台部件不稳或频繁故障所导致生产能力下降,却没有有效的预防及改善系统,常等到Cpk不好了,才发现是机台部件不稳定所造成,为时已晚。因此，需要提供一种用于提升生产能力的系统和用于提升生产能力的方法，以至少部分地解决上面提到的问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提出一种用于提升生产能力的系统和用于提升生产能力的方法，其可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。本专利技术的一个实施例提供一种用于提升生产能力的系统，所述系统包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。示例性地，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。示例性地，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。示例性地，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。示例性地，所述系统还包括机台改善模块，用于对生产能力不好的机台进行改善。本专利技术的另一实施例提供一种提升生产能力的方法，所述方法包括：步骤S101：收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及步骤S102：用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。示例性地，在所述步骤S101中，建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。示例性地，在所述步骤S101中，定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。示例性地，在所述步骤S101中，获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。示例性地，在所述步骤S102之后还包括步骤S103：对生产能力不好的机台进行改善。本专利技术的用于提升生产能力的系统可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。该用于提升生产能力的方法同样具有上述优点。附图说明本专利技术的下列附图在此作为本专利技术的一部分用于理解本专利技术。附图中示出了本专利技术的实施例及其描述，用来解释本专利技术的原理。附图中：图1为本专利技术实施例的生产关键阶段流的示意图；图2为本专利技术实施例的用于提升生产能力的系统的示意图；图3为本专利技术实施例的预测模型的示意图；图4为本专利技术实施例的黄金路径的示意图；以及图5为本专利技术实施例的机台改善的示意图。具体实施方式在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。应当理解的是，本专利技术能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本专利技术的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本专利技术的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。为了彻底理解本专利技术，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本专利技术的技术方案。本专利技术的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本专利技术还可以具有其他实施方式。本专利技术的一个实施例提供本专利技术的用于提升生产能力的系统。该系统可以及时发现机台部件故障并采取改善措施，从而提升生产能力水平并降低故障风险。下面，参照图1至图5来具体描述本专利技术的实施例的一种用于提升生产能力的系统。其中，图1为本专利技术实施例的生产关键阶段流的示意图。图2为本专利技术实施例的用于提升生产能力的系统的示意图。图3为本专利技术实施例的预测模型的示意图。图4为本专利技术实施例的黄金路径(goldenpath)的示意图。图5为本专利技术实施例的机台改善的示意图。本专利技术的一个实施例提供一种用于提升生产能力的系统，所述系统包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。参见图1，分析模型模组进行故障/内联监视器数据收集与机台部件故障/生产能力关系预测模型建立，而生产预测模组进行生产能力水平判断与生产机台优先顺序安排。示例性地，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。示例性地，分析模型模组，建立部件的“故障数据库”(工具故障数据库，Toolalarmdatabase)与“产品量测数据库”(晶圆内联监视数据库，Waferinlinemonitordatabase)，并且定义关键生产站点(例如，金属沉积，金属照相，金属刻蚀等)与对应的内联监视器(金属THK,ADICD,AEICD等)。示例性地，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。示例性地，该分析模型模块定义各站点机台的关键故障，并且定义“综合故障水平(ppm)”＝“各关键故障ppm总和”。示例性地，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数(leadinglots)来修正所述模型。示例性地，分析模块分析历史关键故障数据和内联数据,得到“综合故障水平”与对应的“生产能力水平”的关系预测模型,并同过领导多数来修正模型。示例性地，如图3所示，分析模块根据历史机台故障数据与晶圆数据分析来定义出机台“综合故障水平(ppm)”与对应的“生产能力水平”关系模型，并且反馈到生产分派系统。其中，综合故障水平本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于提升生产能力的系统，其特征在于，所述系统包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。

【技术特征摘要】
1.一种用于提升生产能力的系统，其特征在于，所述系统包括：分析模型模块，用于收集机台部件的历史故障数据和内联数据，以建立所述机台部件的故障与所述内联数据的预测模型；以及生产预测模块，用于通过所述预测模型来预测所述机台的生产能力水平，并且安排所述机台的优先顺序。2.如权利要求1所述的用于提升生产能力的系统，其特征在于，所述分析模型模块还用于建立故障数据库与产品内联监视数据库，并且定义生产站点与对应的内联监视器。3.如权利要求1所述的用于提升生产能力的系统，其特征在于，所述分析模型模块还用于定义所述站点机台的故障以及综合故障水平，所述综合故障水平等于各故障水平的总和。4.如权利要求3所述的提升生产能力的系统，其特征在于，所述分析模型模块还用于获取所述综合故障水平与生产能力水平的预测模型，并且通过领导多数来修正所述模型。5.如权利要求1至4中任一项所述的提升生产能力的系统，其特征在于，所述系统还包括机台改善模块，用于对生产能力不好的机台进行改善。6.一种用于提...

【专利技术属性】
技术研发人员：余志贤，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31