扩散源温度的调控方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种扩散源温度的调控方法及装置，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。本发明专利技术在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，当前剩余体积的减少，会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。

Method and device for regulating temperature of diffusion source

The invention relates to a device and control method of diffusion source temperature, the method includes: the residual volume real-time diffusion source; in the current residual volume to determine whether to raise the temperature of the source; if so, improve the diffusion source temperature. The present invention in the production process of crystalline silicon solar cell, real-time access to the remaining volume source diffusion in the production process, and according to the judgment of whether the current residual volume to improve diffusion source temperature, if necessary, will improve the diffusion source temperature; thus, in the production process, reduce the residual volume, will lead to partial resistance at this time, for maintaining the stability of resistance, can improve the diffusion source to reduce the temperature of the resistance, the resistance remained stable; at the same time, the amount of reaction gas diffusion source is relatively portable will increase the quantity to prevent reaction gas diffusion source can carry in the liquid level diffusion source is reduced when reduced, thereby improving stability the process parameters of the solar cell.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体硅太阳能电池领域，特别是涉及一种扩散源温度的调控方法及装置。
技术介绍
目前大规模生产中，晶体硅电池PN节制作的扩散工艺常规使用液态扩散源进行，利用高温扩散在P型或N型基底扩散进单质磷或硼形成太阳能电池，然后测试扩散后的薄层电阻(方阻)衡量扩散效果。通常影响太阳能电池扩散效果的主要因素有：片源体材质、扩散温度、扩散时间、扩散气体流量(氮气、氧气、扩散源量)。扩散源一般情况下为液态，不能直接通入炉管进行扩散，因此，扩散源主要为利用不反应气体通入液态扩散源中携带扩散源进入炉管内，与炉管内的氧气、硅片进行扩散反应。不反应气体携带的扩散源量与扩散源液位高度和扩散源实际温度相关。当扩散源液位高时，不反应气体相对携带扩散源量多，扩散方阻变小，反之则少，扩散方阻变大。扩散源温度高时，不反应气体相对携带的扩散源量多，扩散方阻变小，反之则少，扩散方阻变大。随着生产过程中的持续进行，扩散源的持续使用会导致扩散源液位下降，相同不反应气体携带的扩散源量则会减少，导致方阻偏大。目前的做法通常是增加扩散管的整体温度，防止方阻增大。但这种做法在生产中，虽然可以使方阻相同，但不反应气体实际携带的扩散源量会有减少，对于生产的太阳能电池，会导致其工艺参数发生变化，不利于对太阳能电池的工艺参数的稳定性管控。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种扩散源温度的调控方法及装置，提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。一种扩散源温度的调控方法，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值；检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值；若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，所述提高所述扩散源的温度包括：根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值；将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。在其中一个实施例中，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：检测所述当前剩余体积是否达到预设的体积值；若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，所述提高所述扩散源的温度包括：获取与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值；将所述扩散源的当前温度提高至与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值。以上所述扩散源温度的调控方法中，在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，扩散源液位的降低即当前剩余体积的减少，从而会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；与此同时，在提高扩散源温度的同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而保证生产的硅电池具有统一的规格，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。一种扩散源温度的调控装置，所述装置包括：液位传感器，用于实时获取扩散源的当前剩余体积；判断模块，用于在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；提高模块，用于在所述判断模块判断需要提高所述扩散源的温度时，则提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，所述判断模块包括：获取模块，用于在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值；差值检测模块，用于检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值；第一判断模块，用于在所述差值检测模块检测到所述方阻值与预设值之间的差值大于预设差值时，则判断需要提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，所述提高模块包括：变化值获取模块，用于根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值；第一提高模块，用于将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。在其中一个实施例中，所述判断模块包括：体积检测模块，用于检测所述当前剩余体积是否达到预设的体积值；第二判断模块，用于在所述体积检测模块检测到所述当前剩余体积达到预设的体积值时，则判断需要提高所述扩散源的温度。在其中一个实施例中，所述提高模块包括：温度值获取模块，用于获取与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值；第二提高模块，用于将所述扩散源的当前温度提高至与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值。以上所述扩散源温度的调控装置中，在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，扩散源液位的降低即当前剩余体积的减少，从而会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；与此同时，在提高扩散源温度的同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而保证生产的硅电池具有统一的规格，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。附图说明图1为一实施例的扩散源温度的调控方法的流程示意图；图2为一实施例的扩散源温度的调控装置的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。如图1所示，一实施例的扩散源温度的调控方法包括步骤S120至步骤S160。步骤S120，实时获取扩散源的当前剩余体积；步骤S140，在当前剩余体积下判断是否需要提高扩散源的温度；步骤S160，若是，则提高扩散源的温度。以上所述扩散源温度的调控方法中，在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，扩散源液位的降低即当前剩余体积的减少，从而会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；与此同时，在提高扩散源温度的同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而保证生产的硅电池具有统一的规格，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。对于目前的扩散机台，可以设置液位传感器实时获取扩散源的当前剩余体积。可以知道的是，本实施例的实现必然是在计算机控制的前提下实现的，通过计算机的控制可以使液位传感器实时对扩散源的液位进行检测，以获取扩散源的当前剩余体积。本实施例中，当前剩余体积、方阻和扩散源的温度可以通过实验现象获取三者之间的关系，例如为包含有三者的关系式，根据这种关系可以实时的调整扩散源的温度。具体而言，步骤S140包括步骤S141至步骤S143。步骤S141，在当前剩余体积下获取对应的方阻值。不同的当前剩余体积下，由于扩散源是在逐渐减少的，因此，扩散源的液位会逐渐下降，在其他因素保持不变的前提下，不反应气体携带的扩散源量则会减少，从而导致方阻升高，因此，需要在当前剩余体积下实时获取对应的方阻值。步骤S14本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散源温度的调控方法，其特征在于，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。

【技术特征摘要】
1.一种扩散源温度的调控方法，其特征在于，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值；检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值；若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述提高所述扩散源的温度包括：根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值；将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度包括：检测所述当前剩余体积是否达到预设的体积值；若是，则判断需要提高所述扩散源的温度。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述提高所述扩散源的温度包括：获取与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值；将所述扩散源的当前温度提高至与所述预设的体积值对应关联的扩散源的温度值。6.一种扩散源温度的调控装置，其特征在于，所述装置包括：液位传感器，用于实时获取扩散源的当前剩余体积；判断模块，用于在所述当前剩余...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹洋洋，张伟，
申请(专利权)人：徐州鑫宇光伏科技有限公司，协鑫集成科技股份有限公司，协鑫集成科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32