下载扩散源温度的调控方法及装置的技术资料

文档序号:15219651

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本发明涉及一种扩散源温度的调控方法及装置,所述方法包括:实时获取扩散源的当前剩余体积;在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度;若是,则提高所述扩散源的温度。本发明在太阳能晶体硅电池的生产过程,实时获取生产过程中扩散源的当前剩余...
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