一种反射镜定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种反射镜定位装置，包括反射镜座、压圈和固定件，反射镜座包括调整块和设于调整块上方的圆形凸台；调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，调整块内设有与反射镜相适配的环形台阶，调整块水平向设有若干贯穿调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于调整块中心对称，且第一狭缝和第二狭缝的一端分别与调整块的左、右侧面齐平，第三狭缝位于调整块内，并关于调整块中心对称；压圈底部的外径与圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，固定件设于调整块两侧，并贯穿调整块。本发明专利技术提高了反射镜定位的可靠性和稳定性。

Mirror positioning device

The invention discloses a mirror positioning device, comprising a mirror seat and a pressing ring and a fixing piece, the mirror seat includes adjustment block and in adjusting block above the circular bosses; adjusting block, circular convex and central pressure ring are respectively provided with a through hole; the adjusting block is arranged in the annular step and mirror which is matched with the horizontal adjusting block is provided with a plurality of through adjusting block before and after the two sides of the slit, including the first second and third slit slit, the slit, the first and the second slit slit is positioned in the same horizontal line, a gap between the two, and on the adjustment of central symmetry block, and one end of the first and second respectively with slit slit adjust block the left and right sides flush, third located in the slit adjusting block, and the block on the adjustment of central symmetry; the top pressure at the bottom of the ring diameter and the outer diameter of the circular lug boss matched with the mirror limit The fixing piece is arranged on both sides of the adjusting block and runs through the adjusting block. The invention improves the reliability and stability of the mirror positioning.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学器件领域，具体涉及一种反射镜定位装置。
技术介绍
随着光刻技术的发展，光刻机的空间布局日益紧凑，因此要求其测量和检测系统占用空间尽可能地小，在非接触式的光电检测系统设计过程中，常常因空间结构受限而出现设计光路转折的情况，这就需要采用反射镜来实现光束的转折，以达到正确照射待测物和实现最终的测量目的。然而反射镜为光路系统中的敏感元件，在对其安装过程中，需要满足以下几点：一、实现三个自由度调整，由于反射镜的安装位置往往很难检测和定位，因此要求反射镜结构为三自由度可调组件，包括两个自由度的倾斜调整和反射面的法向移动，以补偿自身组件或其它组件的定位误差；二、实现反射镜无应力安装，以避免装配过程中由于受到应力而造成反射镜面型变化；三、对反射镜的固定必须稳定可靠。为了达到上述目的，目前普遍采用的一种反射镜的定位和调整装置，如图1所示，采用两层板结构，首先将反射镜1’固定在一个镜座2’上，然后将镜座2’安装在一块调整板3’上，为了实现三个自由度的调整，采用顶丝4’加弹簧5’的结构，通过弹簧5’提供回复力，调整完成后通过螺钉6’锁紧，然而采用两层板结构和弹簧结构不仅增加了反射镜1’的安装空间，而且存在调整过程中反射镜1’在垂直于法线的平面内不易定位和夹紧的问题，此外，为了使反射镜1’的安装更加紧凑，在调整完成后，需要通过螺钉的锁紧，导致调整板发生变形，从而影响反射镜1’的面型和反射效果。针对该不足，现有技术中提出了采用球形垫和座配合定位的方法，但是采用球形垫和座配合定位存在定位装置结构复杂，占用空间大的问题；此外，现有技术中还提出一种在镜座下面设置多个柔性块对镜面进行调整的方案，然而该方案仅适用于空间较大，镜片尺寸大的场合，存在很大的局限性；且上述两个方案采用胶接或者弹片压紧的方式，胶接方式存在失效的风险，降低了定位的可靠性和稳定性，而采用弹片压紧方式存在接触面小，应力集成的问题，因此均不能很好地满足实际要求。
技术实现思路
本专利技术为了克服以上不足，提供了一种不仅实现反射镜三个自由度可调以及无应力安装，而且有效提高定位可靠性和稳定性的反射镜定位装置。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种反射镜定位装置，包括反射镜座、压圈和固定件，所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台；所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶，所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块中心对称，且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块左、右侧面齐平，所述第三狭缝位于所述调整块内，并关于所述调整块中心对称；所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，所述固定件设于所述调整块两侧，并贯穿所述调整块。进一步的，所述调整块与圆形凸台一体成型。进一步的，所述第三狭缝设于所述第一、第二狭缝上方或下方，第三狭缝与第一、第二狭缝之间形成四条柔性支撑臂。进一步的，所述压圈下部外侧和所述通孔相应位置设有一对螺纹结构。进一步的，所述压圈下侧沿竖直方向依次设有第四狭缝和第五狭缝。进一步的，所述固定件包括若干调整螺钉组件和若干锁紧螺钉组件。进一步的，所述调整螺钉组件和锁紧螺钉组件的数量均为3个，三个调整螺钉组件之间以及三个锁紧螺钉组件之间错位分布于所述圆形凸台的左右两侧。进一步的，所述调整螺钉组件包括若干顶丝和与所述顶丝相适配的螺母，位置与所述圆形凸台的外周相对应。进一步的，所述锁紧螺钉组件包括若干锁紧螺钉，位置与所述圆形凸台的外周相对应。进一步的，所述狭缝均采用线切割加工而成。本专利技术提供的反射镜定位装置，通过设置第一、第二、第三狭缝，三者之间形成四条柔性支撑臂，使安装过程中受到的应力主要集中在柔性支撑臂处，保证反射镜在调整过程中不受应力或受较小的应力，避免反射面发生变形，从而影响反射效果；通过设置压圈，压圈底部的外径与圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，压圈底部与反射镜上表面进行充分接触，对其进行有效锁紧，减少了定位过程中对反射镜镜片的接触应力。本专利技术结构简单、占用空间小、装配方便，不仅实现了反射镜三个自由度可调以及镜片的无应力安装，而且有效提高了定位的可靠性和稳定性。附图说明图1是现有技术反射镜的定位和调整装置的结构示意图；图2是本专利技术反射镜定位装置的结构示意图；图3是本专利技术反射镜定位装置的剖面图；图4是本专利技术反射镜定位装置反射镜座的结构示意图；图5是本专利技术反射镜定位装置压圈的结构示意图；图6是本专利技术反射镜定位装置的安装完整图。图1中所示：1’、反射镜；2’、镜座；3’、调整板；4’、顶丝；5’、弹簧；6’、螺钉。图2-6中所示：1、反射镜；2、反射镜座；21、调整块；22、圆形凸台；3、压圈；4、固定件；41、调整螺钉组件；411、顶丝；412、螺母；42、锁紧螺钉组件；421、锁紧螺钉；5、通孔；51、环形台阶；6、狭缝；61～65、第一～第五狭缝；7、柔性支撑臂；71～72；第一～第二柔性支撑臂。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作详细描述：如图2所示，本专利技术提供了一种反射镜定位装置，包括反射镜座2、压圈3和固定件4。如图2、3所示，反射镜座2用于安装和固定反射镜1，其包括调整块21和设于调整块21上方的圆形凸台22，优选的，调整块21与圆形凸台22一体而成，调整块21、圆形凸台22以及压圈3中部均设有与反射镜1相适配的通孔5，其中，与调整块21对应的通孔5处水平设有与反射镜1相适配的环形台阶51，安装时，将反射镜1置于环形台阶51上，对其进行定位，所述调整块21水平向设有若干贯穿所述调整块21前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝61、第二狭缝62和第三狭缝63，所述第一狭缝61和第二狭缝62位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块21中心对称，且所述第一狭缝61和第二狭缝62的一端分别与所述调整块21的左、右侧面齐平，所述第三狭缝63位于所述调整块21内，并关于所述调整块21中心对称；所述压圈3底部的外径与所述圆形凸台22的顶部内径相适配，反射镜1限位于圆形凸台22与压圈3之间，所述固定件4设于所述调整块21的两侧，并贯穿所述调整块21。请重点参照图2，固定件4设于所述调整块21上表面，包括若干调整螺钉组件41和若干锁紧螺钉组件42。如图4所示，其中，调整螺钉组件41用于实现反射镜座2的柔性变形，达到对反射镜1沿Z轴以及绕X、Y轴方向进行调整的目的，调整螺钉组件41包括若干顶丝411和与顶丝411相适配的螺母412，位置与圆形凸台22的外周相对应；锁紧螺钉组件42用于调整螺钉组件41调整完成之后对反射镜座2以及整个装置进行锁紧固定，即对反射镜1进行固定，锁紧螺钉组件42包括若干锁紧螺钉421，位置与圆形凸台22的外周相对应，优选的，调整螺钉组件41和锁紧螺钉组件42的数量均为三个，且三个调整螺钉组件41之间以及三个锁紧螺钉组件42之间均错位分布于圆形凸台22的左右两侧，本实施例中，调整螺钉组件41和锁紧螺钉组件42沿圆形凸台22外周间隔分布。优选的，第三狭缝63设于第一、第二狭本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反射镜定位装置，其特征在于，包括反射镜座、压圈和固定件，所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台；所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶，所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块中心对称，且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块的左、右侧面齐平，所述第三狭缝位于所述调整块内，并关于所述调整块中心对称；所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，所述固定件设于所述调整块两侧，并贯穿所述调整块。

【技术特征摘要】
1.一种反射镜定位装置，其特征在于，包括反射镜座、压圈和固定件，所述反射镜座包括调整块和设于所述调整块上方的圆形凸台；所述调整块、圆形凸台以及压圈中部均设有通孔；其中，所述调整块内设有与所述反射镜相适配的环形台阶，所述调整块水平向设有若干贯穿所述调整块前后两侧面的狭缝，包括第一狭缝、第二狭缝和第三狭缝，所述第一狭缝和第二狭缝位于同一水平线上，两者之间设有间隙，并关于所述调整块中心对称，且所述第一狭缝和第二狭缝的一端分别与所述调整块的左、右侧面齐平，所述第三狭缝位于所述调整块内，并关于所述调整块中心对称；所述压圈底部的外径与所述圆形凸台的顶部内径相适配，反射镜限位于圆形凸台与压圈之间，所述固定件设于所述调整块两侧，并贯穿所述调整块。2.根据权利要求1所述的反射镜定位装置，其特征在于，所述调整块与圆形凸台一体成型。3.根据权利要求2所述的反射镜定位装置，其特征在于，所述第三狭缝设于所述第一、第二狭缝上方或下方，第三狭缝与第一、第二狭缝之间形成四条柔性支撑臂。...

【专利技术属性】
技术研发人员：程海林，李淑蓉，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31