一种真空规管制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空规管，尤其涉及一种复合真空规管。
技术介绍
在真空测量中，电阻规管和冷阴极电离规管都是目前使用广泛的真空测量规管。电阻规管规管由于其热丝经特殊工艺处理，具有压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点；冷阴极电离规管也是目前应用广泛的一种高真空电离规管，在器件制造、真空镀膜以及真空冶金等领域作中使用，但是，冷阴极电离规管其测量范围在低真空时的测量范围有限，随着真空测试应用越来越广泛，将电阻规管和冷阴极电离规管的进行复合的真空规管也是亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术提供一种真空规管，所述真空规管为电阻规管和冷阴极电离规管的复合真空规管，能够拓展冷阴极电离规管的低真空的测量范围，同时满足高低真空测量范围测试的需要，本技术所述的技术方案是：一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。所述的一种真空规管，所述阳极组件和法兰组件的连接处设有焊接槽，阳极组件和法兰组件通过焊接固定连接。所述的一种真空规管，所述压板上的安装...
【技术保护点】
一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，其特征在于，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室。
【技术特征摘要】
1.一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，其特征在于，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件，所述阳极组件与法兰组件固定连接；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室，所述刀口法兰设有焊料槽，所述管体置于刀口法兰的焊料槽中并与刀口法兰焊接固定；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旗，
申请(专利权)人：成都国光电气股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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