一种高密封性涡旋真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高密封性涡旋真空泵,属于真空泵技术领域，包括电机、泵体外壳、旋转曲轴、动涡盘、定涡盘；所述泵体外壳包括前端盖、壳体和后端盖，旋转曲轴转动安装在壳体内，旋转曲轴输入端安装有磁耦合从动盘，电机输出端安装有与磁耦合从动盘耦合传动的磁耦合主动盘，且动涡盘安装在旋转曲轴输出端，定涡盘安装在后端盖内并与动涡盘对应设置；所述前端盖与壳体之间、壳体与后端盖之间均通过CF法兰密封连接。本实用新型专利技术通过将电机输出端与旋转曲轴之间连接改为磁耦合驱动方式，并采用金属CF法兰静密封，使本实用新型专利技术在保证抽空性能的同时使整机泄露率降低至1

【技术实现步骤摘要】
一种高密封性涡旋真空泵


[0001]本技术属于真空泵
，具体而言，涉及一种高密封性涡旋真空泵。

技术介绍

[0002]泄露率：是指单位时间内通过主密封和辅助密封泄漏的流体总量，是评价机械密封性能的一个重要指标。
[0003]涡旋式真空泵是基于涡旋排气原理且具备抽空性能的干式真空泵，其主要由电机、旋转曲轴、动盘轴承、动涡盘、定涡盘、气镇阀、泵体外壳、电控部件等组成。为了保证真空泵的极限真空度及整机密封性，现有的涡旋真空泵均会在电机与旋转曲轴的直接连接处设置旋转动密封结构，并在泵体的其余3处设置边界静密封结构。目前国内及国外真空泵的旋转动密封结构和边界静密封结构均为氟橡胶圈，而在此种密封方式下，一般情况下真空泵的整体漏率最高为5
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10
‑8Pa.m3/s，即使国内及国外市场整机漏率水平最高的爱德华XDS系列涡旋真空泵的漏率也只能达到1
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‑7Pa.m3/s(1x10
‑6mbar.l/s)。因此，对于有更高泄露率要求的情况下，现有的涡旋式真空泵则不能满足使用需求；同时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密封性涡旋真空泵，其特征在于，包括电机(1)、泵体外壳(2)、旋转曲轴(3)、动涡盘(4)、定涡盘(5)；所述泵体外壳(2)包括前端盖(21)、壳体(22)和后端盖(23)，旋转曲轴(3)转动安装在壳体(22)内，旋转曲轴(3)输入端安装有磁耦合从动盘(7)，电机(1)输出端安装有与磁耦合从动盘(7)耦合传动的磁耦合主动盘(6)，且动涡盘(4)安装在旋转曲轴(3)输出端，定涡盘(5)安装在后端盖(23)内并与动涡盘(4)对应设置；所述前端盖(21)与壳体(22)之间、壳体(22)与后端盖(23)之间均通过CF法兰密封连接。2.根据权利要求1所述的高密封性涡旋真空泵，其特征在于，所述前端盖(21)的后端面、壳体(22)的前后端面、后端盖(23)的前端面具有法兰环(24)，前端盖(21)上的法兰环(24)与壳体(22)前端面的法兰环(24)之间、壳体(22)后端面的法兰环(24)与后端...

【专利技术属性】
技术研发人员：王焜，罗维祯，任元国，林红，
申请(专利权)人：成都国光电气股份有限公司，
类型：新型
国别省市：