【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置及其工作方法，其属于超声应用领域及微纳米机械加工领域。
技术介绍
：随着纳米科技及纳米材料科学的快速发展，如何进行纳米加工等已经成为现在科学研究的重要课题，如何以高效率、低成本和无热损伤的方式进行可控微纳结构的制造，如微纳槽刻蚀及纳米切割是我们面临的重大技术课题。理想的刻蚀工艺必须具有以下特点：加工批量大，控制容易，成本低，对环境污染少，适用于工业生产。而微纳切割在现代微加工中变得越来越重要，尤其是在高精度加工和高价值产品的加工中。成本控制和设备的批量化生产，是现今微纳制造领域所面临的问题。因此，确有必要对现有技术进行改进以解决现有技术之不足。
技术实现思路
：本专利技术提供一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置及其工作方法，该装置利用嵌有压电元件和与其相连接的振动传递部件在某些频率下产生线性振动，传递到微刀具上，可以进行可控微纳槽的刻蚀，并可以对纳米线进行切割。
【技术保护点】
一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置，其特征在于：包括振动传递部件(1)、设置于振动传递部件(1)上的压电元件(2)及设置于振动传递部件(1)一末端部的微切割刀具(3)，所述振动传递部件(1)夹持于三维移动平台上以实现加工图案的多样化，被切割物体通过水分子间作用力固定于硅基板上。
【技术特征摘要】
1.一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置，其特征在于：
包括振动传递部件(1)、设置于振动传递部件(1)上的压电元件(2)及设置于振动传
递部件(1)一末端部的微切割刀具(3)，所述振动传递部件(1)夹持于三维移动平台
上以实现加工图案的多样化，被切割物体通过水分子间作用力固定于硅基板上。
2.如权利要求1所述的利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装
置，其特征在于：所述振动传递部件(1)为圆柱、圆锥、方形柱、三角形柱形状。
3.如权利要求1所述的利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀...
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