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本发明公开一种利用线性振动实现受控微纳沟道刻蚀及纳米切割的超声装置及其工作方法，超声装置包括振动传递部件及设置于振动传递部件上的压电元件和微切割刀具，该超声装置利用超声换能器产生线性振动，通过振动传递部件驱动微切割刀具对加工工件表面进行微纳...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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