【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉领域，具体涉及一种单晶炉视窗水冷装置。
技术介绍
单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，而单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必要设备。在硅单晶过程中，通过视窗口可以直观的观察单晶硅晶体的生长过程，及时作出调整，确保单晶稳定生长。单晶炉工作时内部温度在1500℃左右，视窗法兰温度在100℃左右，在单晶硅的制造过程中，操作人员在进行观察操作时极易被观察视窗烫伤，给操作人员带来了很大的安全隐患；法兰温度过高易导致镀金玻璃破裂，相机视窗法兰温度过高易损伤相机镜头及影响相机捕捉晶体轮廓线，导致晶体直径异常。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种可以有效降低视窗法兰温度，降低操作人员安全隐患，杜绝镀金玻璃破裂的单晶炉视窗水冷装置。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：单晶炉视窗水冷装置，所述视窗包括密封安装在单晶炉炉壁上的法兰，法兰上安装有镀金玻璃，所述法兰包括外法兰和内法兰，外法兰和内法兰之间设有冷却水道，外法兰一侧边设有进水口和出水口，靠近进水口处的冷却水道内设置挡水板，挡水板一端连接外法兰，一端连接内法兰；靠近出水口处的冷却水道内设置折流板，折流板一端连接外法兰，另一端与内法兰之间留有间隙。挡水板和折流板均为Z字型。水道内还设有阻流块，阻流块的尺寸小于冷却水道宽度。所述阻流块形状为平行四边形或长方形或菱形。外法兰为口字型。所述视窗包括观察视窗和相机视窗。本技术结构简单，现有单晶炉视窗改造容...
【技术保护点】
单晶炉视窗水冷装置，所述视窗包括密封安装在单晶炉炉壁上的法兰，法兰上安装有镀金玻璃，其特征在于：所述法兰包括外法兰和内法兰，外法兰和内法兰之间设有冷却水道，外法兰一侧边设有进水口和出水口，靠近进水口处的冷却水道内设置挡水板，挡水板一端连接外法兰，一端连接内法兰；靠近出水口处的冷却水道内设置折流板，折流板一端连接外法兰，另一端与内法兰之间留有间隙。
【技术特征摘要】
1.单晶炉视窗水冷装置，所述视窗包括密封安装在单晶炉炉壁上的法兰，法兰上安装有镀金玻璃，其特征在于：所述法兰包括外法兰和内法兰，外法兰和内法兰之间设有冷却水道，外法兰一侧边设有进水口和出水口，靠近进水口处的冷却水道内设置挡水板，挡水板一端连接外法兰，一端连接内法兰；靠近出水口处的冷却水道内设置折流板，折流板一端连接外法兰，另一端与内法兰之间留有间隙。2.根据权利要求1所述单晶炉视窗水冷装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海洋，
申请(专利权)人：河南协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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