一种液态源供应装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，第二阀体与尾气处理器之间设有真空发生器装置；液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；第二阀体的近瓶口阀组端连接于第三阀体的远瓶口阀组端。吹扫气可将管内的液态源压回容器内，第二阀体连接在液态源容器瓶口的气相接口阀处，容器内上部的气压可以通过气相接口阀进行泄压，大大降低了尾气处理器的工作负荷，使更少的尾气被完全有效处理掉，排放值更低、更安全环保，以避免形成污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化工制造
，更具体地说，涉及一种液态源供应装置。
技术介绍
半导体/光伏太阳能/光纤等泛制造行业，会使用到有毒有害化学液体源，通常把液态源容器及瓶口阀组件整体连接至供应面盘后进行吹扫置换和供应等，组成完整的液态源供应装置。其中，这类化学液体源有一定粘度，与空气或水接触会发生剧烈反应或爆炸，确保在更换安装源瓶时的绝对安全性是整个供应系统的基础。供应面盘通过源瓶连接管(Pigtail)与液态源容器及瓶口阀组件整体连接，每次更换源瓶时，都需要把源瓶连接管内的有毒有害的化学液体介质完全吹扫置换干净，使浓度低于该化学液体介质的TLV(ThresholdLimitValue，阈限值)值后，才能拆下此源瓶连接管确保对操作人员和环境的健康安全。目前的设计是，在源瓶连接管工艺介质管线上，接入一路吹扫气体，接出一路工艺排气，工艺排气管路接至真空泵。液态源容器接近用空、需要更换新的满瓶时，采用真空泵抽走全部工艺液体介质至尾气处理器，然后向源瓶连接管中吹入一定气体，往复操作多次，以实现工艺液体介质的排净。然而上述方法存在以下不足：第一，源瓶连接管结构复杂，三通死角较多，容易残留一定液态源，通常这类液态源粘度较高，死角里的这部分液态源很难被吹扫置换干净，当拆卸源瓶连接管时残留的液态源与空气发生反应产生一定危害。第二，真空泵直接抽出源瓶连接管内的液态源，大量被真空汽化的液态源蒸汽瞬时排入尾气处理器，可能会瞬时超过尾气处理器的额定处理量，造成尾气排放不合格，对人员和大气造成安全和污染隐患。第三，整根源瓶连接管内的液态源被排入尾气处理器处理，而通常这种液态源介质都很昂贵，造成浪费。第四，由于液态源的可燃性和爆炸性风险，需要选用防爆型干式真空泵，价格昂贵；且真空泵为机械运转动部件，维护及保养交复杂。第五，真空泵通常要求入口压力小于1bar，操作不当会使面盘排气压力远远超过1bar，从而对真空泵造成损伤的风险。综上所述，如何提供一种避免泄漏的液态源供应装置，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种液态源供应装置，该液态源供应装置能够避免泄漏，使用安全稳定。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，所述瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，所述气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，所述气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，所述第二阀体与所述尾气处理器之间设有真空发生器装置；所述液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，所述液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；所述第二阀体的近瓶口阀组端连接于所述第三阀体的远瓶口阀组端。优选的，还包括：连接于所述第三阀体与所述吹扫气源之间的第五阀体；第六阀体，一端连接于所述第五阀体和所述第三阀体的连接管路，另一端连接于所述第四阀体与所述工艺出液口的连接管路；第八阀体，一端连接于所述第一阀体与所述阀口组件的连接管路，另一端连接于所述第二阀体的近阀口组件端；所述第二阀体与所述第八阀体的连接管路上设有与所述第六阀体的近第五阀体端连接的连接管路。优选的，所述瓶口阀组与所有所述阀体的连接管路上设置的压力传感器为管道一体式传感器。优选的，所述压力传感器包括用于检测所述第一阀体与所述瓶口阀组之间第一管路的压力的第一压力传感器，所述第一压力传感器设于所述第一管路；所述压力传感器还包括用于检测所述第四阀体与所述瓶口阀组之间第二管路的压力的第二压力传感器，所述第二压力传感器设于所述第二管路。优选的，还包括用于当所述第一压力传感器测得压力低于大气压力时关闭所述第二阀体和所述第八阀体的控制器，所述第一压力传感器与所述控制器连接。优选的，所述控制器还与所述第二压力传感器连接，用于当所述第二压力传感器测得压力上升至稳定后关闭所述第三阀体。优选的，所述真空发生器装置为文丘里管式真空发生器装置。优选的，所述真空发生器装置的气源接口连接惰性气体气源接口。优选的，所述第四阀体与所述工艺出液口的连接管路上设有第七阀体。本专利技术所提供的液态源供应装置中，吹扫气将管内的液态源压回容器内，避免了现有技术中，液态源全部由尾气处理器收集的浪费情况；另外，第二阀体连接在液态源容器瓶口的气相接口阀处，以便于被压入液态源容器瓶口的液体后，罐内上部气压可以通过气相接口阀进行泄压，泄压过程中，排出的气体能够经过真空发生器装置进行真空汽化并接至尾气处理器中，大大降低了尾气处理器的工作负荷，使更少的尾气被完全有效处理掉，排放值更低、更安全环保，以避免形成污染。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术所提供的一种液态源供应装置的连接结构图。图1中：1为真空发生器装置、2为推气气源、3为尾气处理器、4为吹扫气源、5为工艺出液口、6为液相接口阀、7为气相接口阀、11为第一阀体、12为第二阀体、13为第三阀体、14为第四阀体、15第五阀体、16为第六阀体、17为第七阀体、18为第八阀体、21为第一压力传感器、22为第二压力传感器。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的核心是提供一种液态源供应装置，该液态源供应装置能够避免泄漏，使用安全稳定。请参考图1，图1为本专利技术所提供的一种液态源供应装置的连接结构图。本专利技术所提供的一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，瓶口阀组为控制液态源容器瓶的液相接口和气相接口的阀组，包括气相接口阀7和液相接口阀6。气相接口阀7和液相接口阀6连接供应盘，供应盘具体包括推气气源2、尾气处理器3、吹扫气源4和工艺出液口5，以及用于将上述五个部分与气相接口阀7、液相接口阀6连接的源瓶连接管。源瓶连接管上设置有若干个阀体，阀体用于控制各连接管流向上的通断。具体地，气相接口阀7通过第一阀体11连接推气气源2，气相接口阀7通过第二阀体12连接尾气处理器3，第二阀体12与尾气处理器3之间设有真空发生器装置1；液相接口阀6通过第三阀体13连接吹扫气源4，液相接口阀6通过第四阀体14连接工艺出液口5；第二阀体12的近瓶口阀组端连接于第三阀体13的远瓶口阀组端。需要说明的是，上述推气气源2为提供推气气体的装置，尾气处理器3为用于在吹扫置换过程最后对排出的尾气进行处理的装置，吹扫气源4为向源瓶连接管提供吹扫气的装置，工艺出液口5为液态源容器瓶口的使用输出。上述液态源供应装置需要进行换瓶操作时，第一步，先将装置中所有的阀体和阀组均关闭，打开真空发生器装置1。第二步，打开第二阀体12、第八阀体18、液相接口阀6和气相接口阀7，通过真空发生器装置1抽出液态源容器内上部和第一阀体11和第二阀体12的源瓶连接管的部分气体，以便在液态源容器内和第一阀体11和第二阀体12的源瓶连接管形成负压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，其特征在于，所述瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，所述气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，所述气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，所述第二阀体与所述尾气处理器之间设有真空发生器装置；所述液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，所述液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；所述第二阀体的近瓶口阀组端连接于所述第三阀体的远瓶口阀组端。

【技术特征摘要】
1.一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，其特征在于，所述瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，所述气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，所述气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，所述第二阀体与所述尾气处理器之间设有真空发生器装置；所述液相接口阀通过第三阀体连接吹扫气源，所述液相接口阀通过第四阀体连接工艺出液口；所述第二阀体的近瓶口阀组端连接于所述第三阀体的远瓶口阀组端。2.根据权利要求1所述的液态源供应装置，其特征在于，还包括：连接于所述第三阀体与所述吹扫气源之间的第五阀体；第六阀体，一端连接于所述第五阀体和所述第三阀体的连接管路，另一端连接于所述第四阀体与所述工艺出液口的连接管路；第八阀体，一端连接于所述第一阀体与所述阀口组件的连接管路，另一端连接于所述第二阀体的近阀口组件端；所述第二阀体与所述第八阀体的连接管路上设有与所述第六阀体的近第五阀体端连接的连接管路。3.根据权利要求2所述的液态源供应装置，其特征在于，所述瓶口阀组与所有所述阀体的连接管路上设置的压力传感器为管道一体式传感器。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：连海洲，吴海华，薛元，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31