温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种液态源供应装置，包括设于液态源容器瓶口的瓶口阀组，瓶口阀组包括气相接口阀和液相接口阀，气相接口阀通过第一阀体连接推气气源，气相接口阀通过第二阀体连接尾气处理器，第二阀体与尾气处理器之间设有真空发生器装置；液相接口阀通过第三阀...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。