声波装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种声波装置及其制造方法，所述声波装置包括：声波发生器，与支撑组件分开，并且被配置在基板上；保护构件，被结合到所述支撑组件，并且与所述声波发生器分开预定的距离；以及密封组件，密封所述保护构件。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求于2015年8月25日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0119752号和于2015年3月16日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0031386号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的全部公开内容通过引用被包含于此。
本公开涉及一种声波装置及其制造方法。
技术介绍
带通滤波器是通信装置的仅允许在各种频率中的特定频带的信号通过以发送和接收所选择的信号的核心组件。带通滤波器的典型示例包括表面声波(SAW)滤波器、体声波(BAW)滤波器等。在声波装置中，由于其运行特性，在声波发生器和盖构件之间需要预定的空间。因此，制造声波装置使得在声波发生器和盖构件之间形成间隙。然而，当声波装置被安装在主板上并且使用环氧材料等密封时，通过注射压力可使声波装置的盖构件变形。换言之，由于注射压力，可减小声波发生器和盖构件之间的间隙，或盖构件可接触声波发生器。
技术实现思路
提供本
技术实现思路
以简化的形式对挑选出来的构思进行介绍，并在具体实施方式中对所述构思进行进一步描述。本
技术实现思路
既不意在限定所要求保护的主题的主要特征或必要特征，也不意在帮助确定所要求保护的主题的范围。根据本公开的一方面，一种声波装置可包括：基板，具有供声波发生器设置与其上的一个表面；声波发生器，与支撑组件分开，并且被配置在所述基板上；保护构件，被结合到所述支撑组件，并且与所述声波发生器分开预定的距离；以及密封组件，密封所述保护构件。根据本公开的另一方面，一种声波装置可包括：声波发生器，与支撑组件分开，并且被配置在基板上；保护构件，被结合到所述支撑组件，并且与所述声波发生器分开预定的距离；以及密封组件，密封所述保护构件。根据本公开的另一方面，一种制造声波装置的方法可包括：准备基板；在所述基板的一个表面上形成声波发生器；沿所述声波发生器的外周在所述基板的所述一个表面上形成支撑组件，并且将保护构件结合到所述支撑组件上使得所述保护构件与所述声波发生器分开预定的距离；以及形成密封组件，以密封所述保护构件和所述支撑组件。附图说明图1是示出根据本公开的示例性实施例的声波装置的示意性俯视图；图2是示出根据本公开的示例性实施例的声波装置的示意性剖视图；图3是在图2中示出的声波装置的A部分的放大视图；图4是示出根据本公开的另一示例性实施例的声波装置的示意性剖视图；图5是示出根据本公开的另一示例性实施例的声波装置的示意性剖视图；图6是示出根据本公开的另一示例性实施例的声波装置的示意性剖视图；图7和图8是示出制造在图2中示出的声波装置的方法的示图；图9A和图9B是示出根据本公开的另一示例性实施例的制造声波装置的方法的示图；图10A至图10C是示出根据本公开的另一示例性实施例的制造声波装置的方法的示图；图11至图13分别是示出根据本公开的其他示例性实施例的声波装置的示意性剖视图；图14是示意性地示出根据本公开的另一示例性实施例的声波装置的透视图；图15是在图14中示出的声波装置的分解透视图；以及图16和图17分别是示出根据本公开的其他示例性实施例的声波装置封装件的示意性剖视图。在所有的附图和具体实施方式中，相同的标号指示相同的元件。附图可不按比例绘制，并且为了清楚、说明及方便起见，附图中元件的相对尺寸、比例和描绘可被放大。具体实施方式提供以下具体实施方式以帮助读者获得对这里所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，这里所描述的方法、设备和/或系统的各种变换、修改及等同物对于本领域的普通技术人员将是显而易见的。这里所描述的操作的顺序仅仅是示例，其并不限于这里所阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出对本领域的普通技术人员将是显而易见的变换。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略对于本领域的普通技术人员来说公知的功能和结构的描述。这里所描述的特征可以以不同的形式实施，并且不被解释为局限于这里所描述的示例。更确切的说，提供这里所描述的示例是为了使本公开将是彻底的和完整的，并将把本公开的全部适用范围传达给本领域的普通技术人员。在整个说明书中，将被理解的是，当元件(诸如，层、区域或晶圆(基板))被称为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，其可直接“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的其他元件。相比之下，当元件被称为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可没有介于它们之间的元件或层。相同的标号始终指示相同的元件。如在此所使用的，术语“和/或”包括所列出的相关项的一项或更多项的任何以及全部组合。将显而易见的是，尽管可在此使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种构件、组件、区域、层和/或部分，但是这些构件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语所限制。这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例实施例的教导的情况下，在下面讨论的第一构件、组件、区域、层或部分也可被称为第二构件、组件、区域、层或部分。在这里可使用诸如“在……之上”、“上部”、“在……之下”和“下部”等的空间关系术语，以易于描述如附图所示的一个元件与其他元件的关系。将理解的是，空间关系术语意图除了包括在附图中所描绘的方位之外，还包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为在其他元件或特征“之上”或“上部”的元件随后将被定位为在其他元件或特征“之下”或“下部”。因此，术语“在……之上”可根据附图的特定方向而包括“在……之上”和“在……之下”两种方位。所述装置可被另外定位(旋转90度或处于其他方位)，并可对在这里使用的空间关系描述符做出相应的解释。在此使用的术语仅用于说明各种实施例，并非意图限制当前实施方式。除非上下文另外清楚地指明，否则如在此所使用的单数的形式也意图包括复数的形式。还将理解的是，在本说明书中使用术语“包括”和/或“包含”时，列举存在的所陈述的特征、整数、步骤、操作、构件、元件和/或它们组成的组，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整数、步骤、操作、构件、元件和/或它们组成的组。在下文中，将参照示意图描述当前实施方式的实施例。在附图中，例如，由于制造技术和/或公差，可估计所示出的形状的修改。因此，实施例不应被解释为局限于在此示出的区域的特定形状，而是例如，包括由制造引起的形状上的改变。下面的实施例还可由实施例中的一个或其组合组成。根据示例，描述一种能够显著地减少由于外力(诸如在注射成型工艺期间施加的力)引起的变形的声波装置。根据另一示例，描述一种制造防止变形的声波装置的方法。图1是示出根据本公开的示例性实施例的声波装置的示意性俯视图，图2是示出根据本公开的示例性实施例的声波装置的示意性剖视图，图3是在图2中示出的声波装置的A部分的放大视图。参照图1至图3，声波装置10的示例包括基板100、支撑组件200、保护构件300以及密封组件400。在本示例性实施例中，声波装置10可包括使在许可频带中的波通过的滤波元件(诸如表面声波(SAW)滤波器、体声波(BAW)过滤器、双工器等)。在SAW滤波器被用于实现声波装置10的示例中，压电基板可被用作基板100本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波装置，包括：声波发生器，与支撑组件分开，并且被配置在基板上；保护构件，被结合到所述支撑组件，并且与所述声波发生器分开预定的距离；以及密封组件，密封所述保护构件。

【技术特征摘要】
2015.08.25 KR 10-2015-0119752;2016.03.16 KR 10-2011.一种声波装置，包括：声波发生器，与支撑组件分开，并且被配置在基板上；保护构件，被结合到所述支撑组件，并且与所述声波发生器分开预定的距离；以及密封组件，密封所述保护构件。2.根据权利要求1所述的声波装置，其中，沿所述声波发生器的外周设置所述支撑组件。3.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述保护构件呈平板状，并且覆盖所述声波发生器的上部。4.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述保护构件接触所述支撑组件的上表面的一部分，从而在所述保护构件的外部和所述支撑组件之间形成台阶部。5.根据权利要求1所述的声波装置，其中，在所述保护构件的底表面上设置气密层组件。6.根据权利要求1所述的声波装置，其中，所述密封组件是包含从由氮化硅、二氧化硅、氮氧化硅以及碳化硅组成的组中选择的至少一种成分的薄膜。7.根据权利要求1所述的声波装置，其中，在所述基板的配置有所述声波发生器的一个表面上设置电连接到所述声波发生器的连接端子。8.根据权利要求7所述的声波装置，其中，所述连接端子被配置在所述密封组件的外侧。9.根据权利要求8所述的声波装置，其中，从所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴昇旭，朴鲁逸，郑泰成，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR