硫掺杂二氧化钛薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开的硫掺杂二氧化钛薄膜，其钛元素、硫元素和氧元素的摩尔百分含量分别为：钛元素２０％～３５％，硫元素３％～２０％，氧元素５５％～７５％。采用常压热分解化学气相沉积法制备，具有操作工艺简单，成膜速度快，成膜均匀性好、效率高、与硅系薄膜的复合性好，成本低等优点，满足高品质、大面积在线镀膜玻璃生产的需要。本发明专利技术实现了二氧化钛薄膜光响应吸收边由电磁波谱的紫外光区移动至可见光区，极大的增强了该薄膜在太阳光下的实际应用价值；同时掺杂造成的表面悬挂键和电荷不平衡时薄膜表面产生较多的羟基自由基，可以吸附较多的活性物质，大大提高了薄膜的光催化性能和亲水性。可以广泛应用于建筑用玻璃外墙、室内外装饰、汽车观后镜等领域。

Sulfur doped titanium dioxide film and preparation method thereof

Sulfur doped TiO2 thin film is disclosed, the molar content of titanium, sulfur and oxygen respectively: Ti 20% ~ 35%, sulfur 3% ~ 20%, 55% ~ 75% oxygen. Chemical vapor deposition decomposition were prepared by atmospheric pressure heat, has advantages of simple operation, high film-forming speed, good film uniformity, high efficiency, and the silicon thin-film composite is good, low cost, high quality, large area glass production line needs. The invention realizes the optical response of TiO2 thin film absorption edge by the ultraviolet region of the electromagnetic spectrum moved to visible light, greatly enhance the practical value of the film in the sun; at the same time doping caused the surface dangling bonds and produce more film surface charge imbalance of hydroxyl radicals, can adsorb more active substances the film, greatly improving the photocatalysis and hydrophilic properties. It can be widely used in building glass exterior wall, indoor and outdoor decoration, automobile rearview mirror and other fields.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。技术背景近年来，全球能源危机和环境污染成为社会所普遍关注的问题。半导体光 催化技术应用于治理环境污染已成为世界各国研究的热点。二氧化钛由于具有 较高的光化学转换效率、良好的化学稳定性、对各类有机污染物进行全谱深度 氧化的高包容性、抗磨损性、较大的比表面积、无毒、成本低以及可以直接利用自然光等优点，成为最具应用潜力的光催化剂；研究还发现，二氧化钛薄膜 不但具有在紫外光照射下分解有机物的能力，而且还具有亲水亲油双亲特性。根据二氧化钛薄膜的以上特性，"自清洁玻璃"的概念被提了出来，其基本清 洁过程可以分为两步第一步，通过"光催化"过程，二氧化钛薄膜吸收自然阳光 中的紫外线发生反应生成有强氧化性的氢氧自由基和超氧离子等，将有机污渍 分解松散；第二步，当雨水落到玻璃上时，由于自洁玻璃具有"亲水性"，雨水不 会聚集在一处而是扩散到整个表面，然后冲洗带走灰尘，比起普通玻璃，雨水 能够很快干且不留下难看的"瘢痕"，由此该镀膜玻璃还引申出"表面防雾"的功 能。因此，涂覆二氧化钛薄膜的玻璃既实现了表面易清洁，又达到了消除紫外 线对人体伤害的目的。然而，在实际应用中，二氧化钛半导体作本文档来自技高网...

【技术保护点】
硫掺杂二氧化钛薄膜，其特征是该薄膜的钛元素、硫元素和氧元素的摩尔百分含量分别为：钛元素２０％～３５％，硫元素２％～２０％，氧元素５５％～７５％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宋晨路，陈菲，韩高荣，翁文剑，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]