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本发明公开的硫掺杂二氧化钛薄膜，其钛元素、硫元素和氧元素的摩尔百分含量分别为：钛元素２０％～３５％，硫元素３％～２０％，氧元素５５％～７５％。采用常压热分解化学气相沉积法制备，具有操作工艺简单，成膜速度快，成膜均匀性好、效率高、与硅系薄膜的...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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