用于制备光纤预型体的改进的化学气相沉积设备制造技术

用于制备光纤预型体的改进的化学气相沉积设备，该设备包括：　　　　石英管；　　　　车床，用于承载所述的石英管，以使得石英管可以在其中轴上旋转；　　　　鼓泡器系统，用于生成将被输送进所述石英管的反应气；　　　　旋转接头，用于连接车床的主轴箱和鼓泡器系统；以及　　　　密封腔，该密封腔包围着包括旋转接头在内的区域，以便将所述的包括旋转接头在内的区域与外界大气隔绝，　　　　其中，所述的密封腔包括用于向该密封腔内流入惰性气体的输入管和用于排出惰性气体的输出管，借此使所述的密封腔内部保持惰性气氛。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

Improved chemical vapor deposition apparatus for preparing optical fiber preforms

For improved chemical gas preparation of optical fiber preform deposition device, the device includes a quartz tube; lathe, used for carrying the quartz tube, so that the quartz tube in which the shaft rotates; a bubbler system for generating will be transported into the reaction gas of the quartz tube; rotation joint for connecting the lathe spindle box and the bubbler system; and a sealing cavity, the seal cavity surrounded by a rotary joint, including the area, so that the rotary joint, including the region and outside the atmosphere, wherein the sealing cavity comprises the sealing cavity for inert gas into the input for the output of the inert gas discharge tube and the tube, whereby the sealed chamber of the inert atmosphere is maintained.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及光纤的制备，更具体地说，涉及在使用MVCD(改进的化学气相沉积法)制备光纤预型体的过程中防止水分或氢进入石英管的设备。
技术介绍
图1所示为用于制备光纤预型体的传统MCVD设备。将高纯度石英管1固定在车床上时，将鼓泡器(bubbler)系统5所生成的诸如SiCl4、GeCl4或O2的混合反应气通过进气口2输送到石英管1中。此时，使石英管1均匀旋转并通过氧-氢喷灯加热其外壁。通过下述的反应式1和2，流入石英管1的反应气体在石英管1的内壁上形成二氧化硅沉积层。反应式1 反应式2 然而，上述的传统MCVD由于下列因素可能会在二氧化硅沉积层中包含羟基。首先，输送到石英管中的混合反应气含有少量的水分、氢组分及其它过渡金属杂质。其次，MCVD设备的旋转接头4、进气口2和出气口3以及鼓泡器系统5是引入水分的主要途径，因此水分或氢组分可能通过所述的这些途径流入。如上所述，进入石英管的水分或氢组分产生复杂的化学反应，如下列反应式3和4所示。反应式3 反应式4 这些反应降低了沉积效率，并且在二氧化硅结构中因反应后物质的存在而形成了羟基。所形成的羟基增加了1383nm处的吸收损耗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：金在先，朴志祥，朴来赫，
申请(专利权)人：LG电线有限公司，
类型：发明
国别省市：