一种废液收集装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种生产使用过程中的废液收集装置，包括废液桶、废液汇集盒、废液桶底座、升降气缸、汇集管臂及汇集管，废液汇集盒及升降气缸分别安装在废液桶底座上，导流废液的废液管与废液汇集盒相连通；废液桶放置在废液桶底座的下方，废液汇集盒上的排废管上套设有可相对升降的汇集管，汇集管的下端为收集废液时插入废液桶的桶口内的自由端，上端与汇集管臂的一端相连，汇集管臂的另一端与升降气缸的输出端连接，汇集管臂通过升降气缸的驱动带动汇集管升降。本发明专利技术在废液汇集盒的排废管上设置了可升降的汇集管，进而使汇集管插入废液桶桶口或抽出桶口，既解决了废液桶与排废管口容易粘连的问题，又使取放废液桶方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生产使用过程中的废液收集装置，可用于半导体芯片加工过程中不同设备化学废液的收集。
技术介绍
目前，在半导体芯片加工过程中，需用匀胶机对芯片进行光刻胶的涂覆，以便完成光刻工艺。其中此类设备产生的废液通常会排放到位于设备下端的废液桶中，由于光刻胶等化学品粘度较大，经常将排废管与废液桶粘连在一起，导致更换取放废液桶困难。
技术实现思路
为了解决废液桶经常粘连、不易更换的问题，本专利技术的目的在于提供一种废液收集装置。该废液收集装置在生产使用过程中，方便废液桶取放更换。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括废液桶、废液汇集盒、废液桶底座、升降气缸、汇集管臂及汇集管，其中废液汇集盒及升降气缸分别安装在废液桶底座上，导流废液的废液管与该废液汇集盒相连通；所述废液桶放置在废液桶底座的下方，所述废液汇集盒上的排废管上套设有可相对升降的汇集管，该汇集管的下端为收集废液时插入所述废液桶的桶口内的自由端，上端与所述汇集管臂的一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废液收集装置，其特征在于：包括废液桶(1)、废液汇集盒(3)、废液桶底座(4)、升降气缸(5)、汇集管臂(9)及汇集管(10)，其中废液汇集盒(3)及升降气缸(5)分别安装在废液桶底座(4)上，导流废液的废液管与该废液汇集盒(3)相连通；所述废液桶(1)放置在废液桶底座(4)的下方，所述废液汇集盒(3)上的排废管(12)上套设有可相对升降的汇集管(10)，该汇集管(10)的下端为收集废液时插入所述废液桶(1)的桶口(15)内的自由端，上端与所述汇集管臂(9)的一端相连，所述汇集管臂(9)的另一端与所述升降气缸(5)的输出端连接，所述汇集管臂(9)通过该升降气缸(5)的驱动带动所述汇集管(1...

【技术特征摘要】
1.一种废液收集装置，其特征在于：包括废液桶(1)、废液汇
集盒(3)、废液桶底座(4)、升降气缸(5)、汇集管臂(9)及汇集
管(10)，其中废液汇集盒(3)及升降气缸(5)分别安装在废液桶
底座(4)上，导流废液的废液管与该废液汇集盒(3)相连通；所述
废液桶(1)放置在废液桶底座(4)的下方，所述废液汇集盒(3)
上的排废管(12)上套设有可相对升降的汇集管(10)，该汇集管(10)
的下端为收集废液时插入所述废液桶(1)的桶口(15)内的自由端，
上端与所述汇集管臂(9)的一端相连，所述汇集管臂(9)的另一端
与所述升降气缸(5)的输出端连接，所述汇集管臂(9)通过该升降
气缸(5)的驱动带动所述汇集管(10)升降，所述废液收集盒(3)
收集的废液依次经过排废管(12)、汇集管(10)流入所述废液桶(1)
中。
2.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于：所述汇集
管(10)的轴向截面为“T”形，中间开有通孔，所述汇集管(10)
的上端固接于汇集管臂(9)的上表面、与汇集管臂(9)连动，下端
由所述汇集管臂(9)一端上的开口穿过。
3.按权利要求2所述的废液收集装置，其特征在于：所述排...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙元斌，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21