本发明专利技术涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀胶、显影设备的废液收集，包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶，其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出，所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。本发明专利技术在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取放。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀胶、显影设备的废液收集。
技术介绍
在半导体晶片加工过程中，需要用匀胶机对晶片进行光刻胶的涂覆，以便晶片完成光刻工艺。目前的匀胶机产生的废液有两种收集方式，一种是直接排放到工厂内部的排废管路中，另一种是排放到设备内部的废液桶中，当采用第二种方式排放到设备内部的废液桶时，由于光刻胶等化学品的粘度比较大，经常是排废管与废液桶粘连，造成取放废液桶困难。
技术实现思路
为了解决废液桶与排放管路经常发生粘连、取放废液桶不便等问题，本专利技术的目的在于提供一种废液收集装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶，其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出，所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。其中:所述手柄通过压杆与套管相连，该压杆的一端与所述套管相连，另一端作为所述手柄抬起或下压的支点、与所述废液桶固定架抵接；所述压杆的端面为“L”形，“L”形的一端设有“U”形开口，所述套管容置于该“U”形开口中、并与所述“U”形开口的开口端相连，所述“L”形的另一端为弧面、与所述废液桶固定架滚动抵接；所述废液桶固定架上安装有检测废液桶中液面高度的传感器；所述废液汇集盒上均布有多个废液管接口，各废液管接口分别与所述排废管相连通；所述排废管、套管及桶口的轴向中心线共线。本专利技术的优点与积极效果为:1.本专利技术在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取放。2.本专利技术的套管通过压杆与手柄连接，手柄在抬起或下压的过程中，压杆弧面的一端与废液桶固定架滚动抵接，便于手柄的抬起或下压。 3.本专利技术的废液汇集盒上部均布了多个废液管接口，便于与匀胶及显影设备内部的废液管连接。【附图说明】图1本专利技术的结构主视图；图2为图1的左视图；图3为图1的俯视图；图4为图1的轴侧视图；图5为图1的A—A首I]面视图(手柄落下)；图6为图1的A— A剖面视图(手柄升起)；其中:1为废液桶固定架，2为废液汇集盒，3为套管，4为压杆，5为手柄，6为传感器安装架，7为传感器，8为废液桶，9为排废管，10为桶口，11为废液管接口。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1?4所示，本专利技术包括废液桶固定架1、废液汇集盒2、套管3、压杆4、手柄5、传感器安装架6、传感器7及废液桶8，其中废液汇集盒2固定在废液桶固定架1的上表面上，废液桶8放置在废液桶固定架1的下方。废液汇集盒2的上部均布有多个废液管接口 11，匀胶及显影机台内部废液管插入各废液管接口 11中，匀胶及显影机台产生的废液经废液管注流入到废液汇集盒2中。废液汇集盒2的上部设有排废管9，该排废管9上套设有可相对升降的套管3。手柄5通过压杆4与套管3相连，该压杆4位于废液桶固定架1的上方，压杆4的端面为“L”形，“L”形的一端设有“U”形开口，套管3容置于该“U”形开口中、并与“U”形开口的开口端相连，“L”形的另一端为弧面，作为手柄5抬起或下压的支点与废液桶固定架1滚动抵接，手柄5固接在压杆4上。废液桶8上的桶口 10与套管3相对应，排废管9、套管3及桶口 10的轴向中心线共线。套管3通过手柄5的抬起或下压实现升降，进而插入桶口 10或由桶口 10抽出。废液汇集盒2收集的废液通过套管3流入废液桶8中。传感器7安装在传感器安装架6上，传感器安装架6固定在废液桶固定架1的侧面，传感器7可检测废液桶8中液面的高度。本专利技术的工作原理为:如图6所示，手柄5处于升起状态时，手柄5通过压杆4的作用，使套管3下降，插入废液桶8上的桶口 10中；匀胶及显影机台内部废液管插入废液汇集盒2上方的废液管接口 11中，匀胶及显影机台产生的废液经废液管流入到废液汇集盒2中，经过套管3流入到废液桶8中；当废液桶8中的液面达到传感器7所安装的位置时，传感器7报警，提示更换废液桶8。当废液桶8中的废液装满时，如图5所示，手柄5处于下压状态时，手柄5通过压杆4的作用，使套管3升起，从废液桶8上的桶口 10中脱离，取出装满废液的废液桶8，将空的废液桶8放置到废液桶固定架1的下方，抬起手柄5，使套管3插入到废液桶8中，继续收集废液，直到第二个废液桶8中的液面达到传感器7所安装的位置时，再向上述操作更换空的废液桶。【主权项】1.一种废液收集装置，其特征在于:包括废液桶固定架(1)、废液汇集盒(2)、套管(3)、手柄(5)及废液桶(8)，其中废液汇集盒(2)安装在所述废液桶固定架(1)上，该废液汇集盒⑵的排废管(9)上套设有可相对升降的套管(3);所述废液桶⑶放置在废液桶固定架(1)的下方，且该废液桶(8)上的桶口(10)与所述套管(3)相对应，所述套管(3)通过相连接的手柄(5)的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口(10)或由所述桶口(10)抽出，所述废液汇集盒(2)收集的废液通过套管(3)流入所述废液桶(8)中。2.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于:所述手柄(5)通过压杆(4)与套管(3)相连，该压杆(4)的一端与所述套管(3)相连，另一端作为所述手柄(5)抬起或下压的支点、与所述废液桶固定架(1)抵接。3.按权利要求2所述的废液收集装置，其特征在于:所述压杆(4)的端面为“L”形，“L”形的一端设有“U”形开口，所述套管(3)容置于该“U”形开口中、并与所述“U”形开口的开口端相连，所述“L”形的另一端为弧面、与所述废液桶固定架⑴滚动抵接。4.按权利要求1、2或3所述的废液收集装置，其特征在于:所述废液桶固定架(1)上安装有检测废液桶(8)中液面高度的传感器(7)。5.按权利要求1、2或3所述的废液收集装置，其特征在于:所述废液汇集盒(2)上均布有多个废液管接口(11)，各废液管接口(11)分别与所述排废管(9)相连通。6.按权利要求1、2或3所述的废液收集装置，其特征在于:所述排废管(9)、套管(3)及桶口(10)的轴向中心线共线。【专利摘要】本专利技术涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀胶、显影设备的废液收集，包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶，其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出，所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。本专利技术在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取放。【IPC分类】B67C3/34【公开号】CN105314579【申请号】CN201410252944【专利技术人】刘正伟 【申请人】沈阳芯源微电子设备有限本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种废液收集装置，其特征在于：包括废液桶固定架(1)、废液汇集盒(2)、套管(3)、手柄(5)及废液桶(8)，其中废液汇集盒(2)安装在所述废液桶固定架(1)上，该废液汇集盒(2)的排废管(9)上套设有可相对升降的套管(3)；所述废液桶(8)放置在废液桶固定架(1)的下方，且该废液桶(8)上的桶口(10)与所述套管(3)相对应，所述套管(3)通过相连接的手柄(5)的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口(10)或由所述桶口(10)抽出，所述废液汇集盒(2)收集的废液通过套管(3)流入所述废液桶(8)中。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘正伟，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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