The present invention provides a method of edge effect of suppressing blade erosion resistant coating preparation process, which comprises the following steps: a) arranged electrode: electrode plate is arranged on the outer edge of the blade, the outer edge of the electrode plate and the blade with a blade clamping distance; b): blade and electrodes in vacuum indoor vacuum chamber is provided with arc target, vacuum chamber filled with a first gas; c) deposition and erosion resistant coating: on the blade and electrode into the first bias of arc target into a first current arc target separation of metal ions, the first gas is separated into a first ion, the outer surface of the metal ions and the first ions deposited on the leaves. Method of edge effect of preparation process of the invention suppressing blade erosion resistant coating system, through the leaves when deposited in the leaves on both sides of the edge effect with the arrangement of auxiliary electrode potential to suppress the blade, the blade edge part realize coating binding force and the uniformity of coating thickness.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面
,尤其有关于一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法。
技术介绍
目前,超硬耐磨氮化物涂层在刀具和模具上得到了广泛应用,且随着航空工业的发展这类涂层已经成为压气机叶片的耐冲蚀和防腐蚀涂层,可以为压气机叶片提高2~3倍的使用寿命。这些超硬膜层大部分是通过电弧蒸发技术或磁控溅射沉积形成的,由于电弧蒸发技术或磁控溅射沉积的绕射性以及沉积过程等离子体鞘层的复杂作用,往往沉积的工件都是形状结构相对简单的刀具及模具,即使这样由于沉积过程中边缘效应的存在,在某些工件的边缘部位和尖端部位涂层的均匀性也很难保证。过去往往通过降低偏压或者缩短沉积时间的方法来保证涂层的沉积均匀性,而降低偏压会导致涂层结合力受到影响,从而影响整体涂层的质量。而叶片边缘特别是叶尖部分是冲蚀破坏最为严重的部位,因此也是最需要涂层保护的部位。因此如何消除边缘效应的影响,解决叶片涂层边缘脱落的问题是非常重要的工程问题。叶片耐冲蚀涂层制备过程中叶片制备处于高度离子化的气氛中,在涂层沉积过程中叶片周围会形成等离子体鞘层,离子进入鞘层,并被鞘层加速后沉积在叶片基体上。因此等离子鞘层的能量及分布对涂层的质量有重要影响。在叶片两端附近的一定区域里,受边缘效应的影响,电势迅速降低,电力线分布由稀疏向紧密变化。叶片上的电场分布是影响等离子体鞘层厚度的重要因素。鞘层厚度随着偏压降低而变大。当衬底施加约为-100V的负偏压时,叶片内部鞘层 ...
【技术保护点】
一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法,其特征在于,其包括如下步骤:a)布置电极片:在叶片的外边缘设置电极片,所述电极片与所述叶片的外边缘具有一距离;b)叶片装卡:将所述叶片及所述电极片放入真空室内,所述真空室内设置有电弧靶,所述真空室内填充有第一气体;c)沉积耐冲蚀涂层:对所述叶片及所述电极片通入第一偏压,对所述电弧靶通入第一电流,所述电弧靶分离出金属离子,所述第一气体分离出第一离子,所述金属离子与所述第一离子结合后沉积于所述叶片的外表面。
【技术特征摘要】
1.一种抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法,其特征在于,其包括
如下步骤:
a)布置电极片:在叶片的外边缘设置电极片,所述电极片与所述叶片的外边
缘具有一距离;
b)叶片装卡:将所述叶片及所述电极片放入真空室内,所述真空室内设置有
电弧靶,所述真空室内填充有第一气体;
c)沉积耐冲蚀涂层:对所述叶片及所述电极片通入第一偏压,对所述电弧靶
通入第一电流,所述电弧靶分离出金属离子,所述第一气体分离出第一离子,所述金
属离子与所述第一离子结合后沉积于所述叶片的外表面。
2.如权利要求1所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法,其特
征在于,在所述步骤b)与所述步骤c)之间包括离子清洗步骤:在所述真空室内通
入氩气,开启气体离子源,所述氩气分离出氩离子后,通过所述氩离子对所述叶片的
外表面进行清洗。
3.如权利要求2所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法,其特
征在于,在所述离子清洗步骤中,通入所述真空室内的所述氩气的流量为100sccm~
200sccm,所述真空室内的压强为0.1Pa~0.3Pa。
4.如权利要求2所述的抑制叶片耐冲蚀涂层制备过程中边缘效应的方法,其特
征在于,在所述离子清洗步骤中,所述离子清洗时...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙刚,刘星,马国佳,崔向中,
申请(专利权)人:中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所,
类型:发明
国别省市:北京;11
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