一种热电阻及电极的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤：选取Al2O3基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗Al2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的Al2O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。本发明专利技术方法简单、操作过程简单，成本低廉，性能稳定，易批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及热敏器件的制作方法，尤其涉及一种热电阻及电极的制作方法。
技术介绍
半导体气敏元件分为烧结型、厚膜型和薄膜型。它们各自的结构，制作工艺不同，其性能特点也各异。烧结型气敏元件有直热式和旁热式2种类型。这2种类型的元件制作工艺都比较简单，灵敏度也高。但直热式元件由于Pt丝与气敏材料直接接触，长期使用易改变气敏材料的化学结构，导致元件稳定性下降。此外Pt丝用量大，成本高。旁热式元件的加热器(Ni.cr丝)不直接接触气敏材料，相比直热式元件稳定性有所提高，而且Pt丝用量少，成本低。但旁热式元件气敏层电阻一致性较差，给批量生产增加了困难。因此烧结元件逐步在被厚、薄膜元件代替。厚、薄膜元件具有灵敏度高、重复性、稳定性好、功耗低、寿命长等优点，但薄膜元件制作对工艺设备要求很高，制造成本高，不易产业化推广。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种方法简单、操作过程简单，成本低廉，性能稳定，易批量生产的加热热电阻及电极的制作方法。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤：选取Al2O3基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗Al2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的Al2O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以做如下改进。进一步，所述选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具体实现如下：选取质量分数为95％～99％的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸。进一步，所述用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用步骤的具体实现如下：用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10～25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60～80℃条件下的恒温箱中烘干备用。进一步，所述利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型步骤的具体实现如下：利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经60～80℃条件下的恒温箱中干燥处理后；在900～1100℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO2加热器，相同条件下烧结成型。本专利技术的有益效果是：1.方法简单、操作过程简单，成本低廉；2.性能稳定，易批量生产。附图说明图1为本专利技术一种热电阻及电极的制作方法流程示意图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本专利技术，并非用于限定本专利技术的范围。如图1所示，一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤：选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。实施例1：选取质量分数为95％的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60℃条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经60℃条件下的恒温箱中干燥处理后；在900℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO2加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。实施例2：选取质量分数为97％的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗20min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在70℃条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经70℃条件下的恒温箱中干燥处理后；在1000℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO2加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。实施例3：选取质量分数为99％的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在80℃条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经80℃条件下的恒温箱中干燥处理后；在1100℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO2加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。

【技术特征摘要】
1.一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；
用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用
乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；
利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A12O3衬底
上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理
后烧结成型；
同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护
浆料，烘干后烧结成型；
利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用
电极。
2.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，
所述选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具体实现如下：
选取质量分数为95％～99％的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸。
3.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗波，
申请(专利权)人：重庆乐乎科技有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50