化学分解法提纯硅烷的方法技术

本发明专利技术涉及化学分解法提纯硅烷的方法，在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100～100℃。反应剂是能与硅烷的杂质反应生成高沸物而不与硅烷反应的物质,优选为无水乙醚、丙酮、甲醇、氢化锂的四氢呋喃溶液或浓硫酸。每个反应器中装填单一的反应剂，串联的几个反应器中装填同一种反应剂或者不同反应剂。本发明专利技术化学分解法分离提纯硅烷操作工艺简单，设备投资少，得到的硅烷纯度高，采用化学分解法分离提纯，提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学分解法提纯硅烷的方法，将采用小松法、歧化法、新硅烷法等方法生产出来的粗硅烷提纯成高纯度硅烷，采用化学分解法分离提纯，提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。采用该方法提纯硅烷工艺简单，得到硅烷纯度高，节约能源。
技术介绍
多晶硅材料是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料，太阳能级多晶硅可用于太阳能光伏发电，是一种高效、环保和清洁的未来技术，可替代现有的发电模式。而电子级多晶硅可用于制造半导体材料，用于集成电路衬底的制造，广泛应用于航天、人工智能、自动控制和计算机芯片等领域。因此多晶硅材料对于国家新能源和高新技术的发展具有战略意义。目前多晶硅生产主要方法包括：改良西门子法、硅烷分解法、锌还原法、二氧化硅还原法等，其中硅烷法生产多晶硅具有以下等优点：1)硅烷和杂质氢化物性质差别大易于提纯，2)热分解产物无腐蚀性，减少对设备腐蚀，3)热分解稳定性差，分解温度低，消耗电量低，节约能源，4)流程简单，无需用还原剂，避免还原剂污染。由于硅烷法生产多晶硅具有以上等优点，硅烷法越来越成为生产多晶硅的主要方法，利用硅烷分解法制备多晶硅中硅烷要求高纯的，而利用小松法、歧化法、新硅本文档来自技高网...

【技术保护点】
化学分解法提纯硅烷的方法；其特征是在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。

【技术特征摘要】
1.化学分解法提纯硅烷的方法；其特征是在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。2.如权利要求1所述的方法，其特征是反应器为一个或多个串联。3.如权利要求2所述的方法，其特征是多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。4.如权利要求1所述的方法，其特征是反应温度控制在-100～100℃。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄国强，黄友光，苏国良，王乃治，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津;12