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本发明涉及化学分解法提纯硅烷的方法，在反应器中装有反应剂，粗硅烷通过反应器入口加入、经过与反应剂反应后，高纯硅烷经过采出口采出。反应器为一个或多个串联。多个串联反应器是由硅烷入口和出口通过管道与反应器相连。反应温度控制在-100～100℃。...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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