端面泵浦紫外光激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种端面泵浦紫外光激光器，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、三倍频晶体、二倍频晶体、绿光挡光片及尾端镜，泵浦源发出泵浦光，泵浦光经聚焦透镜组聚焦整形后，入射到激光晶体内，在腔内产生基频连续光，对调Q晶体进行电学控制与调制，得到脉冲光，经三倍频晶体折射后，射入二倍频晶体内，产生倍频效应，部分脉冲光转化成绿光，绿光和剩余的脉冲光经过尾端镜的反射，再经二倍频晶体，又一部分脉冲光转化成绿光，部分绿光和部分未转化的脉冲光在三倍频晶体内进行和频，产生紫外光。激光端面泵浦紫外光激光器并未采用光纤传输，因此减少了光纤裸露和弯曲造成的扰动而影响输出功率，同时节约了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器
，特别是涉及一种端面泵浦紫外光激光器。
技术介绍
半导体激光器可分为侧面泵浦激光器和端面泵浦激光器两种。相对于侧面泵浦方式，端面泵浦的效率较高。正是由于端面泵浦方式效率高、模式匹配好等优点，所以它在国际上发展极为迅速，已成为激光学科的重点发展方向之一。它在激光打标、激光微加工、激光印刷、激光显示技术、激光医学和科研等领域都有广泛的用途，具有很大的市场潜力。其中，355nm紫外激光在非金属以及精密加工中的应用价值尤其突出。紫外激光属于短波长、冷光源，加工的效应是通过短波长激光，直接被材料的分子或原子吸收，打断物质的分子链，使其脱落，或改变其分子属性，从而达到切割、蚀刻、打标等不同的加工效果，对所加工材料的热影响极低。传统技术通常以808nm或880nm半导体激光器发射出的光线，经过软光纤传输，然后再泵浦激光晶体产生1064nm脉冲光，1064nm脉冲光倍频产生532nm绿光，1064nm脉冲光与532绿光激光合频产生355nm紫外激光。但是使用软光纤传输时，光纤造成的扰动容易影响输出光的功率，而且光纤部分的成本较高。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种无需采用光纤传输的端面泵浦紫外光激光器。一种端面泵浦紫外光激光器，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、三倍频晶体、二倍频晶体、绿光挡光片及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜、所述转折镜及所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述激光晶体及所述调Q晶体位于所述端镜与所述转折镜之间，所述二倍频晶体与所述三倍频晶体位于所述转折镜与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜、转折镜与尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光相对于所述三倍频晶体面向于所述转折镜的入射面的入射角为布鲁斯特角，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，部分532nm绿光和部分未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外光激光，355nm紫外光激光、532nm绿光及1064nm脉冲光经所述三倍频晶体折射后分开，355nm紫外光激光射出谐振腔外，532nm绿光利用绿光挡光片阻挡，1064nm脉冲光沿着原路返回，继续在谐振腔内工作。在其中一个实施例中，所述聚焦透镜组包括两个平凸透镜，两个所述平凸透镜的外凸面相对设置。在其中一个实施例中，所述端镜为808nm或880nm增透、1064nm高反的镜片，所述尾端镜为1064nm和532nm全反的镜片，所述转折镜为1064nm全反的镜片。在其中一个实施例中，所述调Q晶体为声光Q晶体或者电光Q晶体。在其中一个实施例中，所述调Q晶体为27MHz、40.68MHz或者80MHz的声光Q晶体。在其中一个实施例中，所述二倍频晶体为三硼酸锂晶体、偏硼酸钡晶体、磷酸钛氧钾晶体或者磷酸二氢钾晶体。在其中一个实施例中，所述三倍频晶体为三硼酸锂晶体或者偏硼酸钡晶体。在其中一个实施例中，还设置有小孔光阑，所述小孔光阑位于所述谐振腔内，且位于所述转折镜与所述三倍频晶体之间。在其中一个实施例中，所述泵浦源、所述二倍频晶体、所述三倍频晶体的底部均设置有TEC温度控制器。在其中一个实施例中，所述聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、三倍频晶体、二倍频晶体及绿光挡光片均采用胶水固定，所述尾端镜采用镜片安装调节座固定，所述镜片安装调节座能够调节所述尾端镜的角度。上述端面泵浦紫外光激光器至少具有以下优点：泵浦源发出808nm或者880nm的泵浦光，泵浦光经过聚焦透镜组聚焦整形后，入射到激光晶体内，泵浦光进入激光晶体后，在谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对调Q晶体进行电学控制与调制，得到在端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿转折镜到尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过三倍频晶体折射后，射入二倍频晶体内，1064nm脉冲光相对于三倍频晶体面向于转折镜的入射面的入射角为布鲁斯特角，1064nm脉冲光经过二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过尾端镜的反射，再一次经过二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，部分532nm绿光和部分未转化的1064nm脉冲光在三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外光激光，355nm紫外光激光、532nm绿光及1064nm脉冲光经三倍频晶体折射后分开，355nm紫外光激光射出谐振腔外，532nm绿光利用绿光挡光片阻挡，1064nm脉冲光沿着原路返回，继续在谐振腔内工作。上述端面泵浦紫外光激光器并未采用光纤传输，因此减少了光纤裸露和弯曲造成的扰动而影响输出功率，同时节约了成本。附图说明图1为一实施方式中的端面泵浦紫外光激光器的结构示意图；图2为图1所示端面泵浦紫外光激光器的光路图；图3为一实施方式中的镜片安装调节座的结构示意图；图4为图3所示镜片安装调节座另一视角的结构示意图；图5为图3所示镜片安装调节座的分解示意图；图6为图3所示镜片安装调节座的另一视角的分解示意图；图7为图3所示镜片安装调节座的再一视角的分解示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。请参阅图1，为一实施方式中的端面泵浦紫外光激光器10。图2为该端面泵浦紫外光激光器10的光路图。具体到图1所示实施例中，端面泵浦紫外光激光器10包括泵浦源100、聚焦透镜组200、端镜300、激光晶体400、调Q晶体500、转折镜6本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种端面泵浦紫外光激光器，其特征在于，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、三倍频晶体、二倍频晶体、绿光挡光片及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜、所述转折镜及所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述激光晶体及所述调Q晶体位于所述端镜与所述转折镜之间，所述二倍频晶体与所述三倍频晶体位于所述转折镜与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜、转折镜与尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光相对于所述三倍频晶体面向于所述转折镜的入射面的入射角为布鲁斯特角，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，部分532nm绿光和部分未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外光激光，355nm紫外光激光、532nm绿光及1064nm脉冲光经所述三倍频晶体折射后分开，355nm紫外光激光射出谐振腔外，532nm绿光利用绿光挡光片阻挡，1064nm脉冲光沿着原路返回，继续在谐振腔内工作。...

【技术特征摘要】
1.一种端面泵浦紫外光激光器，其特征在于，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、转折镜、三倍频晶体、二倍频晶体、绿光挡光片及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜、所述转折镜及所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述激光晶体及所述调Q晶体位于所述端镜与所述转折镜之间，所述二倍频晶体与所述三倍频晶体位于所述转折镜与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜、转折镜与尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述转折镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述三倍频晶体折射后，射入所述二倍频晶体内，1064nm脉冲光相对于所述三倍频晶体面向于所述转折镜的入射面的入射角为布鲁斯特角，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜的反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，部分532nm绿光和部分未转化的1064nm脉冲光在所述三倍频晶体内进行和频，产生355nm紫外光激光，355nm紫外光激光、532nm绿光及1064nm脉冲光经所述三倍频晶体折射后分开，355nm紫外光激光射出谐振腔外，532nm绿光利用绿光挡光片阻挡，1064nm脉冲光沿着原路返回，继续在谐振腔内工...

【专利技术属性】
技术研发人员：任戬，刘猛，刘健，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44