端面泵浦绿光激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种端面泵浦绿光激光器，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、绿光全反镜、分色镜、二倍频晶体及尾端镜，泵浦源用于发出泵浦光，激光晶体位于谐振腔内，调Q晶体、分色镜及二倍频晶体依次设置于激光晶体与尾端镜之间，端镜和尾端镜构成谐振腔，上述端面泵浦绿光激光器并未采用光纤传输，因此减少了光纤裸露和弯曲造成的扰动而影响输出功率，同时节约了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器
，特别是涉及一种端面泵浦绿光激光器。
技术介绍
半导体激光器可分为侧面泵浦激光器和端面泵浦激光器两种。相对于侧面泵浦方式，端面泵浦的效率较高。正是由于端面泵浦方式效率高、模式匹配好等优点，所以它在国际上发展极为迅速，已成为激光学科的重点发展方向之一。它在激光打标、激光微加工、激光印刷、激光显示技术、激光医学和科研等领域都有广泛的用途，具有很大的市场潜力。其中，532nm绿光激光常应用于冷加工领域，在非金属以及精密加工中的应用价值尤为突出。随着全球对精细加工的需求日益增加，使得绿光激光器的应用领域不断扩大。获取优良质量、能够长效稳定运行的绿光激光，对精密加工行业和非金属加工行业，意义重大。传统技术通常以808nm或880nm半导体激光器发射出的光线，经过软光纤传输，然后再泵浦激光晶体产生1064nm脉冲光，1064nm脉冲光倍频产生532nm绿光。但是使用软光纤传输时，光纤造成的扰动容易影响输出光的功率，而且光纤部分的成本较高。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种无需采用光纤传输的端面泵浦绿光激光器。一种端面泵浦绿光激光器，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、绿光全反镜、分色镜、二倍频晶体及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜和所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述调Q晶体、分色镜及所述二倍频晶体依次设置于所述激光晶体与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述端镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜全反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过分色镜，利用分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性，未转化的1064nm脉冲光沿原路返回，继续在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光，532nm绿光全反至绿光全反镜上，再反射至谐振腔外。在其中一个实施例中，所述聚焦透镜组包括两个平凸透镜，两个所述平凸透镜的外凸面相对设置。在其中一个实施例中，所述端镜为808nm或880nm增透、1064nm高反的镜片，所述尾端镜为1064nm和532nm全反的镜片。在其中一个实施例中，所述调Q晶体为声光Q晶体或者电光Q晶体。在其中一个实施例中，所述调Q晶体为27MHz、40.68MHz或者80MHz的声光Q晶体。在其中一个实施例中，所述二倍频晶体为三硼酸锂晶体、偏硼酸钡晶体、磷酸钛氧钾晶体或者磷酸二氢钾晶体。在其中一个实施例中，泵浦光相对于所述分色镜的入射角为布鲁斯特角，所述绿光全反镜垂直于所述分色镜设置。在其中一个实施例中，还设置有小孔光阑，所述小孔光阑位于所述谐振腔内，且位于所述分色镜与所述二倍频晶体之间。在其中一个实施例中，所述泵浦源、所述二倍频晶体底部均设置有TEC温度控制器。在其中一个实施例中，所述聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、绿光全反镜、分色镜及二倍频晶体采用胶水固定，所述尾端镜采用镜片安装调节座固定，所述镜片安装调节座能够调节所述尾端镜的角度。上述端面泵浦绿光激光器至少具有以下优点：泵浦源发出808nm或者880nm的泵浦光，泵浦光经过聚焦透镜组聚焦整形后，入射到激光晶体内，泵浦光进入激光晶体后，在谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对调Q晶体进行电学控制与调制，得到在端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿端镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过尾端镜全反射，再一次经过二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过分色镜，利用分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性，未转化的1064nm脉冲光沿原路返回，继续在端镜与尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光，532nm绿光全反至绿光全反镜上，再反射至谐振腔外。上述端面泵浦绿光激光器并未采用光纤传输，因此减少了光纤裸露和弯曲造成的扰动而影响输出功率，同时节约了成本。附图说明图1为一实施方式中端面泵浦绿光激光器的结构示意图；图2为图1所示端面泵浦绿光激光器的光路图；图3为一实施方式中镜片安装调节座的结构示意图；图4为图3所示镜片安装调节座另一视角的结构示意图；图5为图3所示镜片安装调节座的分解示意图；图6为图3所示镜片安装调节座的另一视角的分解示意图；图7为图3所示镜片安装调节座的再一视角的分解示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。请参阅图1，为一实施方式中的端面泵浦绿光激光器10。图2为该端面泵浦绿光激光器10的光路图。具体到图1所示实施例中，端面泵浦绿光激光器10包括泵浦源100、聚焦透镜组200、端镜300、激光晶体400、调Q晶体500、绿光全反镜600、分色镜700、二倍频晶体800及尾端镜900。泵浦源100用于发出泵浦光。例如泵浦源100可以是发出808nm泵浦光的泵浦激光器模块，也可以是发出880nm泵浦光的泵浦激光器模块。本实施例中，泵浦源100是可以发出808nm泵浦光的泵浦激光器模块。808nm泵浦激光器模块的底部设置TEC温度控制器(图未示)，用于进行PID温控，其中泵浦激光器模块的温控精度为0.1℃。具体到本实施方式中，还设置有温控电路板101，温控电路板101设置在泵浦激光器模块的机械腔内，减少了信号由电源箱传输到激光器内部的长距离造成的干扰，温控更加稳定可靠，温控精度达本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种端面泵浦绿光激光器，其特征在于，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、绿光全反镜、分色镜、二倍频晶体及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜和所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述调Q晶体、分色镜及所述二倍频晶体依次设置于所述激光晶体与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述端镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜全反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过分色镜，利用分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性，未转化的1064nm脉冲光沿原路返回，继续在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光，532nm绿光全反至绿光全反镜上，再反射至谐振腔外。...

【技术特征摘要】
1.一种端面泵浦绿光激光器，其特征在于，包括泵浦源、聚焦透镜组、端镜、激光晶体、调Q晶体、绿光全反镜、分色镜、二倍频晶体及尾端镜，所述泵浦源用于发出泵浦光，所述端镜和所述尾端镜构成谐振腔，所述激光晶体位于所述谐振腔内，所述调Q晶体、分色镜及所述二倍频晶体依次设置于所述激光晶体与所述尾端镜之间，泵浦光经过所述聚焦透镜组聚焦整形后，入射到所述激光晶体内，泵浦光进入所述激光晶体后，在所述谐振腔内产生1064nm基频连续光，通过对所述调Q晶体进行电学控制与调制，得到在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射的1064nm脉冲光，沿所述端镜到所述尾端镜的方向，1064nm脉冲光经过所述二倍频晶体后，产生倍频效应，部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述尾端镜全反射，再一次经过所述二倍频晶体，又一部分1064nm脉冲光转化成532nm绿光，所有532nm绿光及未转化的1064nm脉冲光一起经过分色镜，利用分色镜全反532nm绿光、全透1064nm脉冲光的特性，未转化的1064nm脉冲光沿原路返回，继续在所述端镜与所述尾端镜之间来回反射直至全部转化成532nm绿光，532nm绿光全反至绿光全反镜上，再反射至谐振腔外。2.根据权利要求1所述的端面泵浦绿光激光器，其特征在于，所述聚焦透镜组包括两个平凸透镜，两个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：任戬，刘猛，刘健，
申请(专利权)人：深圳市杰普特光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44