标记像素单元、应用其的显示装置及制作显示装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种标记像素单元、应用其的显示装置及制作显示装置的方法，该标记像素单元包含至少一主动元件、第一介电层、彩色滤光单元、第二介电层以及至少一像素电极。主动元件具有源极、栅极与漏极。第一介电层用以覆盖栅极。彩色滤光单元设置于第一介电层上，其中彩色滤光单元具有对准开口图案。第二介电层覆盖主动元件与彩色滤光单元，其中第二介电层具有接触洞。像素电极设置于第二介电层之上，其中像素电极透过接触洞而与漏极电性连接，其中第二介电层的接触洞位于对准开口图案之外。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种标记像素单元、应用其的显示装置以及制作显示装置的方法。
技术介绍
随着显示科技的日益进步，人们借着显示器的辅助可使生活更加便利，为求显示器轻、薄的特性，促使平面显示器(flatpaneldisplay；FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquidcrystaldisplay；LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，因此，液晶显示器深受消费者欢迎。在一般的液晶显示器中，整合有彩色滤光薄膜的主动元件阵列基板(ColorfilterOnArray；COA)与整合有黑矩阵的主动元件阵列基板(BlackMatrixOnArray；BOA)已经属于目前的主流。就现有的COA基板或BOA基板来说，在同一块基板上的彩色滤光薄膜与其下薄膜(即主动元件阵列中的图案化薄膜)之间的误对准问题(mis-alignmentissue)通常会影响到显示品质以及产品良率。因此，如何快速地判定出是否有误对准的问题，并判断出误对准的程度是否在容许范围之内，是目前研发者关注的问题之一。
技术实现思路
在大尺寸的显示装置制程中，常需要以拼接方式(stiching)对彩色滤光层进行曝光，本专利技术的多个实施方式中，透过标记像素单元，可以检测多次拼接曝光的过程中，对于彩色滤光层的曝光是否对准，进而可选择地校正各个曝光区域的位置，以达到精度较佳的拼接效果。根据本专利技术的部份实施方式，标记像素单元包含至少一主动元件、第一介电层、彩色滤光单元、第二介电层以及至少一像素电极。主动元件具有源极、栅极与漏极。第一介电层用以覆盖栅极。彩色滤光单元设置于第一介电层上，其中彩色滤光单元具有对准开口图案。第二介电层覆盖主动元件与彩色滤光单元，其中第二介电层具有接触洞。像素电极设置于第二介电层之上，其中像素电极透过接触洞而与漏极电性连接，其中第二介电层的接触洞位于对准开口图案之外。于本专利技术的部份实施方式中，标记像素单元更包含电容下电极以及电容上电极。电容上电极电性连接漏极，其中第一介电层设置于电容下电极与电容上电极之间，彩色滤光单元的对准开口图案位于电容上电极上。于本专利技术的部份实施方式中，彩色滤光单元覆盖或不覆盖电容上电极的二相对边缘。于本专利技术的部份实施方式中，电容上电极的边缘于彩色滤光单元的上表面上的正投影实质上平行于彩色滤光单元的对准开口图案的二相对侧壁于彩色滤光单元的上表面上的正投影。于本专利技术的部份实施方式中，对准开口图案于电容上电极的正投影小于该电容上电极。于本专利技术的部份实施方式中，彩色滤光单元不覆盖主动元件与接触洞。根据本专利技术的部份实施方式，显示装置包含基板、至少一标记像素单元以及至少一非标记像素单元。标记像素单元以及非标记像素单元设置于基板上。每一该至少一标记像素单元以及该至少一非标记像素单元包含彩色滤光单元，其中标记像素单元的彩色滤光单元具有一对准开口图案，非标记像素单元包含间隔物，间隔物设置于非标记像素单元的彩色滤光单元上，其中间隔物于非标记像素单元的彩色滤光单元上的正投影位置对应于对准开口图案于标记像素单元的彩色滤光单元中的位置。于本专利技术的部份实施方式中，标记像素单元更包含至少一主动元件、第一介电层、彩色滤光单元、第二介电层以及至少一像素电极。主动元件具有源极、栅极与漏极。第一介电层用以覆盖栅极。彩色滤光单元设置于第一介电层上，其中彩色滤光单元具有对准开口图案。第二介电层覆盖主动元件与彩色滤光单元，其中第二介电层具有接触洞。像素电极设置于第二介电层之上，其中像素电极透过接触洞而与漏极电性连接，其中第二介电层的接触洞位于对准开口图案之外。于本专利技术的部份实施方式中，至少一标记像素单元与至少一非标记像素单元以一阵列排列，至少一标记像素单元包含第一标记像素单元以及第二标记像素单元，其中第一标记像素单元与第二标记像素单元位于阵列的同一列上。于本专利技术的部份实施方式中，第一标记像素单元的该彩色滤光单元以及该第二标记像素单元的该彩色滤光单元的穿透频谱实质相同。于本专利技术的部份实施方式中，非标记像素单元至少部份设置于第一标记像素单元与第二标记像素单元之间。于本专利技术的部份实施方式中，基板包含第一曝光区域与第二曝光区域，第一曝光区域具有邻近第二曝光区域的第一边缘与远离第二曝光区域的第二边缘，至少一标记像素单元包含第一标记像素单元以及第二标记像素单元，第一标记像素单元与第二标记像素单元设置于第一曝光区域，且分别邻近于第一曝光区域的第一边缘与第二边缘。于本专利技术的部份实施方式中，第二曝光区域具有邻近第一曝光区域的第三边缘与远离第一曝光区域的第四边缘，至少一标记像素单元更包含第三标记像素单元以及第四标记像素单元，设置于第二曝光区域且分别邻近于第二曝光区域的第三边缘与第四边缘。根据本专利技术的部份实施方式，制作显示装置的方法包含：形成一第一彩色滤光层于一基板上，其中基板上设有至少一像素单元，其中像素单元包含一主动元件以及一电容上电极，电容上电极电性连接主动元件；图案化第一彩色滤光层，以形成至少一第一彩色滤光单元，其中第一彩色滤光单元具有一对准开口图案，对应电容上电极，其中导电通孔位于对准开口图案的外；检测像素单元的电容上电极的位置与第一彩色滤光单元的对准开口图案的位置；根据检测结果，决定校正图案化第一彩色滤光层或形成一第二彩色滤光层于基板上；以及形成介电层于第一彩色滤光单元上，其中介电层具有接触洞，位于对准开口图案之外。于本专利技术的部份实施方式中，图案化第一彩色滤光层包含：以一曝光机对基板的一第一曝光区域内的第一彩色滤光层曝光；以及移动基板一预定距离，以曝光机对基板的一第二曝光区域内的第一彩色滤光层曝光，其中第一曝光区域与第二曝光区域相邻，其中校正图案化第一彩色滤光层包含调整预定距离。于本专利技术的部份实施方式中，检测像素单元的电容上电极的位置与第一彩色滤光单元的对准开口图案的位置包含：检测电容上电极的二相对边缘的位置，以决定电容上电极的于一方向上的中心；以及检测对准开口图案的二相对侧壁的位置，以决定对准开口图案于方向上的中心，其中电容上电极的些边缘于基板上的正投影实质上平行于彩色滤光单元的对准开口图案的侧壁于基板上的正投影。附图说明图1A根据本专利技术的一实施方式的标记像素单元的上视示意图。图1B为沿图1A的线1B-1B的剖面示意图。图2为根据本专利技术的各个实施方式的标记像素单元的局部上视示意图。图3A为根据本专利技术的一实施方式的显示装置的上视示意图。图3B为图3A的相邻部份的上视示意图。图3C为沿图3B的线3C-3C的剖面示意图。图3D为沿图3B的线3D-3D的剖面示意图。图4为根据本专利技术的另一实施方式的显示装置的上视示意图。图5为根据本专利技术的一实施方式的制作显示装置的方法的流程图。图6A至图6E为根据本专利技术的一实施方式的制作显示装置的方法于多个步骤的剖面示意图。其中，附图标记：100：标记像素单元100R1、100G1、100B1：第一标记像素单元100R2、100G2、100B2：第二标记像素单元100R3、100G3、100B3：第三标记像素单元110：主动元件120：彩色滤光单元120y1：边缘120y2：边缘120b：跨接部位122：对准开口图案122a～122d：侧壁122e：开口122f：岛124：上表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种标记像素单元，其特征在于，包含：至少一主动元件，具有一源极、一栅极与一漏极；一第一介电层，用以覆盖该栅极；一彩色滤光单元，设置于该第一介电层上，其中该彩色滤光单元具有一对准开口图案；一第二介电层，覆盖该主动元件与该彩色滤光单元，其中该第二介电层具有一接触洞；以及至少一像素电极，设置于该第二介电层之上，其中该像素电极透过该接触洞而与该漏极电性连接，其中该第二介电层的该接触洞位于该对准开口图案之外。

【技术特征摘要】
2016.08.23 TW 1051269401.一种标记像素单元，其特征在于，包含：至少一主动元件，具有一源极、一栅极与一漏极；一第一介电层，用以覆盖该栅极；一彩色滤光单元，设置于该第一介电层上，其中该彩色滤光单元具有一对准开口图案；一第二介电层，覆盖该主动元件与该彩色滤光单元，其中该第二介电层具有一接触洞；以及至少一像素电极，设置于该第二介电层之上，其中该像素电极透过该接触洞而与该漏极电性连接，其中该第二介电层的该接触洞位于该对准开口图案之外。2.如权利要求1所述的标记像素单元，其特征在于，还包含：一电容下电极；以及一电容上电极，电性连接该漏极，其中该第一介电层设置于该电容下电极与该电容上电极之间，该彩色滤光单元的该对准开口图案设置于该电容上电极之上。3.如权利要求2所述的标记像素单元，其特征在于，该彩色滤光单元覆盖或不覆盖该电容上电极的二相对边缘。4.如权利要求3所述的标记像素单元，其特征在于，该电容上电极的该些边缘于该彩色滤光单元的一上表面上的正投影实质上平行于该彩色滤光单元的该对准开口图案的二相对侧壁于该彩色滤光单元的该上表面上的正投影。5.如权利要求2所述的标记像素单元，其特征在于，该对准开口图案于该电容上电极的正投影小于该电容上电极。6.如权利要求1至5任一所述的标记像素单元，其特征在于，该彩色滤光单元不覆盖该主动元件与该接触洞。7.一种显示装置，其特征在于，包含：一基板；以及至少一标记像素单元以及至少一非标记像素单元，设置于该基板上，其中每一该至少一标记像素单元以及该至少一非标记像素单元包含一彩色滤光单元，其中该标记像素单元的该彩色滤光单元具有一对准开口图案，该非标记像素单元包含一间隔物，该间隔物设置于该非标记像素单元的该彩色滤光单元上，其中该间隔物于该非标记像素单元的该彩色滤光单元上的正投影位置对应于该对准开口图案于该标记像素单元的该彩色滤光单元中的位置。8.如权利要求7所述的显示装置，其特征在于，该间隔物于该非标记像素单元的相对位置与该对准开口图案于该标记像素单元的相对位置实质相同。9.如权利要求7所述的显示装置，其特征在于，该标记像素单元还包含：至少一主动元件，具有一源极、一栅极与一漏极；一第一介电层，用以覆盖该栅极，其中该彩色滤光单元设置于该第一介电层上；一第二介电层，覆盖该主动元件与该彩色滤光单元，其中该第二介电层具有一接触洞；以及至少一像素电极，设置于该第二介电层的上，其中该像素电极透过该接触洞而与该漏极电性连接，其中该第二介电层的该接触洞位于该对准开口图案之外。10.如权利要求7所述的显示装置，其特征在于，该至少一标记像素单元与该至少一非标记像素单元以一阵列排列，该至少一标记...

【专利技术属性】
技术研发人员：白佳蕙，曾文贤，吴炘儒，李一宏，胡又元，王腾逸，陈韦潔，李冠谊，吴冠贤，杨智钧，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71