一种晶棒转移设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶棒转移设备，转移车体上水平固定有定位板，在定位板上设置有多个定位孔，定位板的下方水平设置有支撑板，支撑板上表面与各定位孔正对的位置设置有支撑块，支撑块的上表面为支撑平面，在支撑板的下方设置有驱动机构，支撑板移动到最高处时支撑平面与定位板的上表面相平，支撑板移动到最低处时支撑平面低于定位板的上表面；定位板或/和支撑板上固定有竖向设置的导向套筒，支撑板或/和定位板上固定有竖向设置的导向柱，导向柱与导向套筒活动套接，并在两者之间设置减小摩擦力的滚珠。该设备既能对各晶棒形成定位防止晶棒在转移过程中发生位移，也便于晶棒取放，并且支撑板的竖向移动也相对灵活顺畅。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶棒转移设备，属于硅晶片加工设备

技术介绍
专利文献CN201980271U中公开了一种已开方硅棒运输车，包括推车、车体和设置在车体底部的车轮，所述车体的车斗由可翻转的挡板配合而成，车斗底部设置有独立槽位，所述的车轮为万向轮，车轮与车体配合连接。采用该专利文献中的结构，车体四周的高度高于独立槽位的高度，增加了安全性，独立槽位的设置确保各个硅棒的准确放置，由于各个独立槽位的周边相互分开，放置在运输过程中由于车体晃动而相互碰撞，24个独立槽位的设置有效的增加了运输的数量，提高了工作效率，节省了劳力，然而上述专利文献中的硅棒运输车还存在不足：独立槽位虽然能够对放入其中的硅棒进行定位，但由于硅棒重量较重，将硅棒从运输车上取出时独立槽位会对操作产生干扰影响。
技术实现思路
对此，本技术旨在提供一种结构更为合理的晶棒转移设备，该设备既能对各晶棒形成定位防止晶棒在转移过程中发生位移，也便于晶棒取放，并且支撑板的竖向移动也相对灵活顺畅。实现本技术目的的技术方案是：一种晶棒转移设备，包括转移车体和设置在所述转移车体底部的车轮，所述转移车体上水平固定有定位板，在所述定位板上设置有多个与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶棒转移设备，包括转移车体(1)和设置在所述转移车体(1)底部的车轮(2)，其特征在于：所述转移车体(1)上水平固定有定位板(3)，在所述定位板(3)上设置有多个与晶棒形状相匹配的定位孔(31)，所述定位板(3)的下方水平设置有可竖向移动的支撑板(4)，所述支撑板(4)上表面与各定位孔(31)正对的位置设置有与所述定位孔(31)相匹配的支撑块(41)，所述支撑块(41)的上表面为适于放置晶棒的支撑平面(42)，在所述支撑板(4)的下方设置有适于带动所述支撑板(4)上下移动的驱动机构，所述支撑板(4)移动到最高处时所述支撑平面(42)与所述定位板(3)的上表面相平，所述支撑板(4)移动到最低...

【技术特征摘要】
1.一种晶棒转移设备，包括转移车体(1)和设置在所述转移车体(1)底部的车轮(2)，其特征在于：所述转移车体(1)上水平固定有定位板(3)，在所述定位板(3)上设置有多个与晶棒形状相匹配的定位孔(31)，所述定位板(3)的下方水平设置有可竖向移动的支撑板(4)，所述支撑板(4)上表面与各定位孔(31)正对的位置设置有与所述定位孔(31)相匹配的支撑块(41)，所述支撑块(41)的上表面为适于放置晶棒的支撑平面(42)，在所述支撑板(4)的下方设置有适于带动所述支撑板(4)上下移动的驱动机构，所述支撑板(4)移动到最高处时所述支撑平面(42)与所述定位板(3)的上表面相平，所述支撑板(4)移动到最低处时所述支撑平面(42)低于所述定位板(3)的上表面；所述定位板(3)或/和所述支撑板(4)上固定有竖向设置的导向套筒(32)，所述支撑板(4)或/和所述定位板(3)上固定有竖向设置的导向柱(45)，所述导向柱(45)与所述导向套筒(...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡均海，
申请(专利权)人：浙江恒都光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33