一种化学沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。本实用新型专利技术增加了搅动装置，通过搅动装置在药液槽内旋转从而使得药液产生大面积的涌动力，进而提高沉积速率，提升沉积的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种化学沉积设备，属于湿制程设备工艺

技术介绍
化学沉积是利用一种合适的还原剂使镀液中的金属离子还原并沉积在基体表面上的化学还原过程。化学沉积被广泛应用于印制线路板的生产加工中，其主要目的在于通过一系列化学处理方法在非导电的基材上沉积一层锡、铜、镍、银等物质。化学沉积工艺通过一系列必须的步骤而完成锡、铜、镍、银等物质的沉积，为了提升化学药液的沉积速率，需药液槽体内的药液保持涌动的状态。如图1-3所示的化学沉积设备，其包括药液槽1和设于药液槽1内的用于输送基板K(印制线路板)的传输机构，药液槽1内的药液高于传输机构的高度，从而将基板完全浸泡在药液中。该传输机构包括由驱动机构驱动(图中未示出)的多个平行且间隔设置的上输送滚轮2和下输送滚轮3，基板在上输送滚轮2和下输送滚轮3之间传输，该药液槽内还设置有多个水刀4，该些水刀4分别设置于相邻的两个下实心滚轮3之间，且相邻的水刀4之间间隔多个下输送滚轮3，水刀4对基板喷冲药液，从而使得药液产生一定程度的涌动，进而使得药液对基板产生一定程度的置换而提高沉积效果。然而，现有的化学沉积设备中的水刀产生的药液涌动的面积过于集中(如图3所示，箭头表示水刀作用下的药液流动状态)，即在水刀周边的较小范围内产生药液涌动，无法辐射到整个基板K，无法达到理想的搅动药液的作用，因而无法达到较佳的沉积效果。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的在于一种化学沉积设备，克服了现有技术的不足。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。优选的，所述基体的一端与驱动机构连接，所述驱动机构采用马达。进一步的，所述基体的一端经磁力环和传动轴与所述驱动机构连接。优选的，所述基体采用一圆柱形棒材，所述叶片采用平板型叶片或具有弧面的叶片。优选的，该化学沉积设备还包括补液机构，所述补液机构包括泵浦和与所述泵浦通过管道连接的补液管，所述补液管的另一端部设于所述药液槽内，用于向所述药液槽内补充药液，从而使得所述药液槽内的药液面始终位于设定位置。优选的，该化学沉积设备还包括复数个沉箱，该些沉箱设于所述药液槽内的底端部，用于节约药液槽内的药液容积。优选的，所述搅动装置具有一片所述叶片。优选的，所述搅动装置具有两片所述叶片，该两片叶片之间夹角为180度。优选的，所述搅动装置具有三片所述叶片，该三片叶片之间夹角为120度。与现有技术相比，本技术的优点至少在于：1)本技术增加了搅动装置，通过搅动装置在药液槽内旋转从而使得药液产生涌动力，进而提高沉积速率，提升沉积的效果。2)优选的，本技术通过补液机构可以向药液槽内补充药液，从而使得所述药液槽内的药液面始终位于设定位置，从而保证沉积反应的顺利、稳定的进行。3)优选的，本技术通过多个设置于药液槽内的沉箱，可以抬高药液的高度，大幅度减少向药液槽内加入药水的量，从而节约了药液的用量。4)优选的，采用具有一个叶片的搅动装置，可以有效地产生搅动力，从而使得药液产生大面积的涌动效果，进而提高了沉积速率。附图说明为了更清楚地说明本技术结构特征和技术要点，下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。图1为现有技术中的一种化学沉积设备的主视图；图2为现有技术中的一种化学沉积设备的侧视图；图3为现有技术中的一种化学沉积设备的局部侧视图；图4为本技术实施例所公开的一种化学沉积设备的主视图；图5为本技术实施例所公开的一种化学沉积设备的侧视图；图6为本技术实施例所公开的一种化学沉积设备的局部侧视图；图7为图6的局部示意图；图8为本技术实施例所公开的搅动装置的结构示意图。附图标记说明：药液槽1、上输送滚轮2、下输送滚轮3、水刀4、搅动装置5、基体51、叶片52、驱动机构6、磁力环7、补液机构8、泵浦81、补液管82、沉箱9、传动轴10。具体实施方式下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。实施例1：参见图4-8所示，本实施例公开了一种化学沉积设备，包括药液槽1和设于药液槽1内的用于输送基板(印制线路板)的传输机构，药液槽1内的药液高于传输机构的高度，从而将基板完全浸泡在药液中，该传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮2和下输送滚轮3，该化学沉积设备还包括设于药液槽1内、位于该些下输送滚轮3的下方、并沿该些下输送滚轮3的轴向设置的复数个搅动装置5，搅动装置5包括一基体51和固设于基体51上的一片叶片52，当叶片52在外力作用下于药液槽1内360度旋转时，药液槽1内的药液产生涌动。优选的，基体51的一端与驱动机构6连接，驱动机构6采用马达。驱动机构6用于驱动叶片52旋转，从而产生搅动力。进一步的，基体51的一端经磁力环7和传动轴10与驱动机构6连接。优选的，基体51采用一圆柱形棒材，叶片52采用平板型叶片。其中，基体51和叶片52可以采用一体设置的方式。此外，叶片52采用平板型叶片设计，其产生的搅动效果最佳，可以更好地提高沉积速率。当然，叶片52还可以设计为其他形状，例如具有弧面的形状等等，但是其效果均逊于平板型叶片。优选的，该化学沉积设备还包括补液机构8，补液机构8包括泵浦81和与泵浦81通过管道连接的补液管82，补液管82的另一端部设于药液槽1内，用于向药液槽1内补充药液，从而使得药液槽1内的药液面始终位于设定位置，进而保证沉积反应的顺利、稳定的进行。优选的，该化学沉积设备还包括复数个沉箱9，该些沉箱9设于药液槽1内的底端部，用于节约药液槽1内的药液。通过多个设置于药液槽1内的沉箱9，可以抬高药液的高度，大幅度减少向药液槽1内加入药水的量，从而节约了药液的用量。藉由以上技术方案，通过搅动装置5在药液槽1内旋转从而使得药液产生大面积的涌动力(如图7所示，图中的箭头表示在叶片52作用下药液的流动状态)，进而提高沉积速率，提升沉积的效果。实施例2：本实施例2与实施例1的区别在搅动装置的叶片设置不同，其他的不再进行赘述。该搅动装置包括基体和两片叶片，该两片叶片之间夹角为180度。实施例3：本实施例3与实施例1的区别在搅动装置的叶片设置不同，其他的不再进行赘述。该搅动装置包括基体和三片叶片，该三片叶片之间夹角为120度。实施例2-3同样可以起到搅动的作用，但是相对比实施1而言，权利2-3的搅动效果较差，实施例1的结构最为简单，但达到的搅动效果最佳。但是实施例2-3仍然为本技术的一较佳实施方式，并和实施例1一起对本技术的技术方案做进一步的解释说明，但绝不对本技术的技术方案构成限定。上述具体实施方式，仅为说明本技术的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上所述内容并不限制本技术的保护范围，凡是依据本技术的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本技术的保护范围本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，其特征在于，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。

【技术特征摘要】
1.一种化学沉积设备，包括药液槽和设于所述药液槽内的传输机构，所述传输机构包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮和下输送滚轮，其特征在于，该化学沉积设备还包括设于所述药液槽内、位于该些下输送滚轮的下方、并沿该些下输送滚轮的轴向设置的复数个搅动装置，所述搅动装置包括一基体和固设于所述基体上的至少一片叶片，当所述叶片在外力作用下于所述药液槽内360度旋转时，所述药液槽内的药液产生涌动。2.根据权利要求1所述的一种化学沉积设备，其特征在于，所述基体的一端与驱动机构连接，所述驱动机构采用马达。3.根据权利要求2所述的一种化学沉积设备，其特征在于，所述基体的一端经磁力环和传动轴与所述驱动机构连接。4.根据权利要求1所述的一种化学沉积设备，其特征在于，所述基体采用一圆柱形棒材，所述叶片采用平板型叶片或具有弧面的叶片。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄品椿，朱科星，张长树，徐永伯，张东亚，
申请(专利权)人：苏州创峰光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32