一种多电极微细电火花成形加工方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种多电极微细电火花成形加工方法和装置。该方法根据待加工的工件尺寸和微细电火花工艺的放电间隙，设计并制备用于实现由粗加工到精加工的不同尺寸的工具电极；然后使用所述不同尺寸的工具电极，按照由粗加工到精加工的顺序对待加工的工件进行微细电火花成形加工，制备出所需尺寸的工件。所述微细电火花成形加工分为粗、精两步加工过程，或者分为粗、中、精三步加工过程，或者分为更多步的加工过程。本发明专利技术根据微细电火花粗、中、精加工放电间隙的不同，设计不同尺寸工具电极，实现多电极复合加工，能够在保证加工精度的同时，提高微细电火花加工效率，满足各种复杂形状微细电火花加工要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微细电火花加工
，具体涉及一种多电极微细电火花成形加工方法和装置。
技术介绍
微细电火花加工技术具有非接触加工，无明显宏观作用力和放电能量易于控制等特点，对于各种高硬度、高强度、高耐磨性和抗腐蚀性的难加工材料(如不锈钢，硬质合金等)，在微细轴、微细孔以及复杂三维结构的加工中发挥重要作用，弥补传统加工方法在现代制造业中的不足，被广泛应用于航空航天、电子、医疗器械和模具制造等精密加工领域。传统的电火花成形加工是指，在使电极和工件保持适当间隙的基础上，通过在两者之间加以脉冲电压，产生间隙性火花放电，将工件表面材料不断融化蚀除，形成微小的电蚀凹坑。如此反复，工件材料不断蚀除，最终在工件上复制出电极的形状，形成腔体，从而达到成形加工的目的。电火花成形加工可以并行加工出各种复杂形状的工件，具有广阔的应用空间。微细电火花成形加工与传统电火花成形加工类似，只不过其加工对象的尺寸为微米级，这就决定了微细加工电源的脉冲能量小，一般在10-6～10-7J，因此微细电火花加工通常需要较长时间。此外，电火花加工中的放电蚀除主要是工件材料热熔融的过程，故脉冲能量越高，工件蚀除的体积越大，相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多电极微细电火花成形加工方法，其步骤包括：1)根据待加工的工件尺寸和微细电火花工艺的放电间隙，设计并制备用于实现由粗加工到精加工的不同尺寸的工具电极；2)使用所述不同尺寸的工具电极，按照由粗加工到精加工的顺序对待加工的工件进行微细电火花成形加工，制备出所需尺寸的工件。

【技术特征摘要】
1.一种多电极微细电火花成形加工方法，其步骤包括：1)根据待加工的工件尺寸和微细电火花工艺的放电间隙，设计并制备用于实现由粗加工到精加工的不同尺寸的工具电极；2)使用所述不同尺寸的工具电极，按照由粗加工到精加工的顺序对待加工的工件进行微细电火花成形加工，制备出所需尺寸的工件。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述微细电火花成形加工分为粗、精两步加工过程，或者分为粗、中、精三步加工过程，或者分为更多步的加工过程；每步加工过程的工具电极的中心重合。3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述工具电极为钨电极。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述钨电极利用DRIE工艺制备而成，具体方法是：1)在钨基片表面溅射硬掩膜；2)在硬掩膜上涂覆光刻胶，并对光刻胶进行曝光和显影，完成光刻胶的图形化；3)将光刻胶作为掩膜，对...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈兢，陈献，宋璐，
申请(专利权)人：苏州含光微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32