三维压力传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种三维压力传感器，其包括：壳体，内部设有空腔；平面梁，呈十字形，具有四个分支梁，位于所述空腔中；垂直梁，一端垂直连接于所述平面梁的中心交汇处，另一端延伸至所述壳体外部；弹簧，为四个，每个所述弹簧的一端套设于相应的所述分支梁的端部，另一端嵌入所述空腔的侧壁上；应变片，为多个，粘贴在每一所述分支梁和垂直梁的侧面；电路板，与所述应变片连接。本实用新型专利技术提供的三维压力传感器可以提高测量精度、提高信号的强度，并减弱各轴间的耦合效应。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传感器
，特别涉及一种三维压力传感器。
技术介绍
目前，无论是大型机械设备还是小型旋转机械设备，其单向压力测量、旋转压力测量、双向压力测量、三向压力测量大都是由应变式压力传感器完成的。虽然测量单向和双向压力的传感器种类很多，但是对于测试三维力的传感器很少，机械设备在测量三维力时不仅要准确测量水平方向的力，且要保证轴间作用力的耦合效应小，同时还要保证在测试垂直于水平方向的力时不受水平力的干扰，因而对传感器结构设计具有很高的要求。但是，现有三维压力传感器由于没有在结构上考虑解耦，因而采集的信号极为不准确，导致现有三维压力传感器很少在工程上和实验上应用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种三维压力传感器，以至少用于减少现有技术存在的轴间耦合效应。为了解决上述问题，本技术提供如下技术方案：一种三维压力传感器，其包括：壳体，内部设有空腔；平面梁，呈十字形，具有四个分支梁，位于所述空腔中；垂直梁，一端垂直连接于所述平面梁的中心交汇处，另一端延伸至所述壳体外部；弹簧，为四个，每个所述弹簧的一端套设于相应的所述分支梁的端部，另一端嵌入所述空腔的侧壁上；应变片，为多个，粘贴在每一所述分支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维压力传感器，其特征在于，包括：壳体，内部设有空腔；平面梁，呈十字形，具有四个分支梁，位于所述空腔中；垂直梁，一端垂直连接于所述平面梁的中心交汇处，另一端延伸至所述壳体外部；弹簧，为四个，每个所述弹簧的一端套设于相应的所述分支梁的端部，另一端嵌入所述空腔的侧壁上；应变片，为多个，粘贴在每一所述分支梁和垂直梁的侧面；电路板，与所述应变片连接。

【技术特征摘要】
1.一种三维压力传感器，其特征在于，包括：壳体，内部设有空腔；平面梁，呈十字形，具有四个分支梁，位于所述空腔中；垂直梁，一端垂直连接于所述平面梁的中心交汇处，另一端延伸至所述壳体外部；弹簧，为四个，每个所述弹簧的一端套设于相应的所述分支梁的端部，另一端嵌入所述空腔的侧壁上；应变片，为多个，粘贴在每一所述分支梁和垂直梁的侧面；电路板，与所述应变片连接。2.根据权利要求1所述的三维压力传感器，其特征在于，所述壳体包括上壳体、下壳体，所述上壳体的下表面设有上槽，所述下壳体的上表面设有下槽，所述上壳体的上槽边缘和所述下壳体的下槽边缘连接，使得所述上槽和下槽连通形成所述空腔。3.根据权利要求2所述的三维压力传感器，其特征在于，所述上壳体的上槽边缘和所述下壳体的下槽边缘均设有对应的浅槽，所述弹簧的另一端设于相互对应的两个所述浅槽中。4.根据权利要求2所述的三维压力传感器，其特征在于，所述上壳体设有通孔，并且...

【专利技术属性】
技术研发人员：何洪军，刘福强，张东宁，袁德宇，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十一研究所，
类型：新型
国别省市：上海;31