A flatness detection device, including clamping mechanism, clamping mechanism is located in the top of the laser sensor, the laser sensor is installed in the X direction and Y direction module module; the clamping mechanism, X and Y to exercise to the motion module module installed on the marble platform, the marble platform is arranged at the bottom of the air cushion with servo motor speed measurement system to reduce vibration; to be measured in TFT positioning clamping mechanism, X direction module, motion module to Y with high speed and high precision laser sensor to measure the point of data collection, the use of high laser sensor acquisition of N point data, using the least squares the calculation method of flatness products.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及TFT检测
,具体涉及TFT平面度的检测。
技术介绍
TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。TFT式显示屏是各类笔记本电脑和台式机上的主流显示设备,该类显示屏上的每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动,因此TFT式显示屏也是一类有源矩阵液晶显示设备。为解决TFT产品平面度自动高速测量的技术问题,必须解决震动对测量的影响。
技术实现思路
本专利技术所解决的技术问题:如何解决震动对测量的影响,以实现自动高速测量设备对TFT产品平面度的精确测量。为解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:一种平面度检测装置,包括夹取机构、位于夹取机构上方的激光传感器,所述激光传感器安装在X向运动模组和Y向运动模组上;所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台上,大理石平台底部设有空气缓冲垫。按上述技术方案,本专利技术使用150毫米厚度的大理石平台增加底板重量,大理石平台底部使用空气缓冲垫,以及控制X向运动模组和Y向运动模组的伺服电机的加减速来降低测量系统的震动;待测TFT定位在夹取机构上,X向运动模组、Y向运动模组带着高速、高精度激光传感器到需要测量点位采集数据,X向运动模组、Y向运动模组设有光栅尺组件;使用高速、高精度激光传感器采集N个点位高度数据,使用最小二乘法计算产品平面度。所述夹取机构包括安装在载具左侧边缘的第一初限位块和第二初限位块、安装在载具后侧边缘的第三初限位块、安装在载具右侧边缘的第一定位柱和第二定位柱、安装在载具前侧边缘的第三定位柱。产品每次放置都由第一初限位块、第二初限位块、 ...
【技术保护点】
一种平面度检测装置,包括夹取机构(10)、位于夹取机构上方的激光传感器(20),所述激光传感器安装在X向运动模组(30)和Y向运动模组(40)上;其特征在于:所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台(50)上,大理石平台底部设有空气缓冲垫。
【技术特征摘要】
1.一种平面度检测装置,包括夹取机构(10)、位于夹取机构上方的激光传感器(20),所述激光传感器安装在X向运动模组(30)和Y向运动模组(40)上;其特征在于:所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台(50)上,大理石平台底部设有空气缓冲垫。2.如权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于:所述夹取机构(10)包括安装在载具(11)左侧边缘的第一初限位块(12)和第二初限位块(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:吕绍林,马金勇,孙卫东,刘欢,陈天瑞,林建东,
申请(专利权)人:苏州博众精工科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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