一种新型对称式小量程位移传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型对称式小量程位移传感器，包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、双反射镜、光电探测器和处理系统。运用该传感器，激光束被分为两束并分别反射到对应一侧的光电探测器上一个位置，改变固定反射镜和移动反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，最终照射到对应的光电探测器上另一个位置，处理系统根据这两组不同的两个位置计算得到两组探测距离值，这两组探测距离值远远大于固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这两组探测距离值的平均值来计算出固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移连续变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种精密测量技术及仪器领域，特别涉及一种新型对称式小量程位移传感器。
技术介绍
位移传感器是一种常用的几何量传感器，在航空航天、工业生产、机械制造以及军事科学等很多领域中都有广泛的使用。位移的测量方式有很多种，较小位移(如小于1cm)通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，较大的位移(如大于1cm)常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率最高的可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。光栅式传感器指采用光栅叠栅条纹原理测量位移的传感器。光栅是在一块长条形的光学玻璃尺或金属尺上密集等间距平行的刻线，刻线密度为10～100线/毫米。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，因而能提高测量精度。光栅传感器由于光刻工艺的物理结构限制，造成其测量精度很难再有提升，无法满足越来越高的测量精度的需求，迫切需要开发一种结构简单，精度更高的传感器。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中所存在的现有光栅传感器由于光刻工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型对称式小量程位移传感器，其特征在于，包括平行设置且间距可调的固定反射镜(2)和移动反射镜(3)以及处理系统，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)两端对称设置两个光电探测器(4)，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)之间设有双反射镜(7)，所述固定反射镜(2)上设有通孔(21)，穿过所述通孔(21)的一束激光束(11)入射到所述双反射镜(7)，被所述双反射镜(7)反射后分离为两束所述激光束(11)，两束所述激光束(11)入射到所述固定反射镜(2)上，经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)交替反射后，分别出射到对应一侧所述光电探测器(4)上被感应，所述处理系统用于处理每个所述光电探...

【技术特征摘要】
1.一种新型对称式小量程位移传感器，其特征在于，包括平行设置且间距可调的固定反射镜(2)和移动反射镜(3)以及处理系统，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)两端对称设置两个光电探测器(4)，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)之间设有双反射镜(7)，所述固定反射镜(2)上设有通孔(21)，穿过所述通孔(21)的一束激光束(11)入射到所述双反射镜(7)，被所述双反射镜(7)反射后分离为两束所述激光束(11)，两束所述激光束(11)入射到所述固定反射镜(2)上，经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)交替反射后，分别出射到对应一侧所述光电探测器(4)上被感应，所述处理系统用于处理每个所述光电探测器(4)接收到对应的所述激光束(11)的位置信息。2.根据权利要求1所述的一种新型对称式小量程位移传感器，其特征在于，所述移动反射镜(3)连接被测物体(6)，移动所述被测物体(6)，带动所述移动反射镜(3)，改变了两束所述激光束(11)的反射路径，所述处理系统根据所述移动反射镜(3)位移前后每束所述激光束(11)分别在对应的所述光电探测器(4)上的两个感应位置的间距，计算出所述移动反射镜(3)的两组位移值并取平均值，并以此平均值作为所述被测物体(6)的位移值。3.根据权利要求2所述的一种新型对称式小量程位移传感器，其特征在于，还包括用于发射所述激光束(11)的激光源(1)，所述激光源(1)位于所述固定反射镜(2)一侧。4.根据权利要求3所述的一种新型...

【专利技术属性】
技术研发人员：张白，康学亮，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：新型
国别省市：宁夏;64