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一种新型对称式小量程位移传感器制造技术
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文档序号:14220195
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本实用新型公开了一种新型对称式小量程位移传感器,包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、双反射镜、光电探测器和处理系统。运用该传感器,激光束被分为两束并分别反射到对应一侧的光电探测器上一个位置,改变固定反射镜和移动反射镜的间距,即会改变激光束的...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。
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