【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种紧凑型蒸发炉,用于解决铜炉对硒炉的影响。
技术介绍
铜铟镓硒太阳能电池制备过程中需要用到热蒸发,铜、铟、镓、硒四种单质在不同温度下分阶段蒸发,而铜的蒸发温度相对于硒的蒸发温度很高,现有的紧凑型的蒸发炉,因硒炉的坩埚距离铜炉很近,容易受到较大影响,因而硒蒸发速率难以控制,而且硒炉的喷管的温度在600度左右,部分热点通过热传导的方式会干扰到坩埚。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述不足,而提供一种结构设计合理,能实现蒸发炉小型化的紧凑型蒸发炉。本技术解决上述问题所采用的技术方案是:该紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽层依次间隔设置,所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上,所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。铜炉坩埚设置有多层热屏蔽层,可降低铜蒸发炉工作时对硒蒸发炉的影响,可进一步减小铜蒸发炉和硒蒸发炉的距离,使得蒸发炉整体结构更加紧凑,加热丝用于加热硒炉坩埚,水套的设置,起到冷却的作用,既可防止铜蒸发炉的热量传递到硒蒸发炉,又可加速自身硒炉坩埚的冷却。本技术还包括冷却水管,所述冷却水管固定在硒炉坩埚的外壁上,且冷却水管沿硒炉坩埚的上下方向依次来回设置,从而分布于硒炉坩埚的圆周方向上。水冷却管在硒炉坩埚过热时,加速其冷却,冷却水管的上述设置方式,使其与硒炉坩埚的接触面积更大,冷却效果更好。本技术还包括环状的卡箍,所述卡箍套设在硒炉坩埚外侧并将冷却水管 ...
【技术保护点】
一种紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽层依次间隔设置,所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上,所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。
【技术特征摘要】
1.一种紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽层依次间隔设置,所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上,所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。2.根据权利要求1所述的紧凑型蒸发炉,其特征在于:还包括冷却水管,所述冷却水管固定在硒炉坩埚的外壁上,且...
【专利技术属性】
技术研发人员:张卫卫,朱家宽,刘杰鹏,孙朋超,王孟孟,张啸潮,彭在长,张情情,
申请(专利权)人:旭科新能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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