下载一种紧凑型蒸发炉的技术资料

文档序号:14218222

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本实用新型提供一种紧凑型蒸发炉,包括铜蒸发炉和硒蒸发炉,其特征在于:所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套,所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚,所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层,所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧,且从内往外依次设置,所述的热屏蔽...
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