能调整角度的多轴承载装置制造方法及图纸

一种能调整角度的多轴承载装置，主要是在一固定平台上分别设置至少一第一移动单元、至少一第二移动单元、二第一活动单元、一第一驱动单元，及一第二驱动单元，第一移动单元与第二移动单元及所述第一活动单元并连设一第一量测平台。借第一、二驱动单元同时分别驱动第一、二移动单元沿X轴向位移相同距离，会连动第一量测平台及两第一活动单元升降而进行Z轴向位移，当第一、二移动单元沿X轴向位移不同距离时，第一量测平台还会受第一、二移动单元和所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。所以能提供高精度的多轴向移动等功效。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种承载装置，特别是涉及一种能调整角度的多轴承载装置。
技术介绍
随着高科技产业的发展，精度的要求也愈来愈高，工具机、各种产业机械、量测仪器的高精度化，加上超精密加工机、半导体制程装置、原子力显微镜等机具的精度已经达到微米或奈米等级。载具平台是影响上述机具精度最主要的因素。目前现有的载具平台种类主要区分有串联式及并联式。其中，串联式载具平台是以X轴向安装一轴、再于Y轴向安装另一轴、又于X轴向再安装一轴…彼此叠置的方式组装，每一轴均由一马达进行直接驱动，因此除了体积庞大外，由于串联式载具平台是将X轴与Y轴以九十度做组装，在组装时，两轴无法百分百达到九十度，会产生X轴与Y轴间的干涉误差，而降低机具精度，也不适用于大型对象或扭力较大的场所。至于并联式载具平台是以多个驱动系统控制一个以上的轴向运动，包括平移运动与旋转运动，具有多轴同动的特性，但是由于目前的量测技术无法达到大范围多轴量测，以及并联式机构刚性较弱等因素，因此，并联式载具平台的精度不如串联式载具平台高。另外，还有一种是以三组平移旋转单元结合三组驱动系统与一自由单元所组成的载具平台，其主要是借由三组驱动系统间相互的配合，以达到X轴、Y轴与一旋转组件的三自由度运动，但是该旋转运动的中心会因为三组驱动系统造成不固定的现象。参阅图1，为中国台湾公告第M319503号「四驱动对位对准平台」技术专利案，该四驱动对位对准平台包含有安装于一固定平台11的二组第一平移旋转单元12、二组第二平移旋转单元13，以及一固定于所述第一平移旋转单元12与所述第二平移旋转单元13上的量测平台14。所述第一平移旋转单元12对角设置于固定平台11上，且均包括一安装于固定平台11上的驱动单元121、一能受该驱动单元121
往X轴方向驱动位移的第一平移组件122、一能随该第一平移组件122位移或产生相对弹性位移的第二平移组件123，以及一能随该第二平移组件123位移及提供旋转作用的旋转单元124。而所述第二平移旋转单元13是对角设置于固定平台11上，并与所述第一平移旋转单元12的安装方向相差九十度，所述第二平移旋转单元13也都包括有一安装于固定平台11上的驱动单元131、一能受该驱动单元131往Y轴方向驱动位移的第一平移组件132、一能随该第一平移组件132位移或产生相对弹性位移的第二平移组件133，以及一能随该第二平移组件133位移及提供旋转作用的旋转单元134。利用所述驱动单元121、131适当作动时，得以通过所述第一平移旋转单元12个别驱动、所述第二平移旋转单元13个别驱动，或所述第一平移旋转单元12与所述第二平移旋转单元13共同驱动该量测平台14往X轴或Y轴位移或往预定方向旋转。但只限于X、Y及Zθ等三轴向移动，对于未来3D市场需求已无法满足。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能有效简化空间，且能提供高精度的多轴向移动，以扩大使用范围，进而提升应用附加价值的能调整角度的多轴承载装置。本专利技术能调整角度的多轴承载装置包含一个第一平台模块，该第一平台模块包括一个固定平台、至少一个设置于该固定平台上的第一移动单元、至少一个设置于该固定平台上且位于该第一移动单元旁侧的第二移动单元、二个设置于该固定平台上且沿Y轴方向间隔设置的第一活动单元、一个连设于该第一移动单元与该第二移动单元和所述第一活动单元的第一量测平台、一个设置于该固定平台上且与该第一移动单元相连接并能驱动该第一移动单元移动的第一驱动单元，以及一个设置于该固定平台上且与该第二移动单元相连接并能驱动该第二移动单元移动的第二驱动单元，所述第一活动单元分别与该第一量测平台的两相对侧相连接，借此该第一驱动单元与该第二驱动单元同时分别驱动该第一移动单元与该第二移动单元进行X轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，当该第一移动单元与该第二
移动单元同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元与该第二移动单元位移距离不同时，则会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，同时该第一量测平台还会受所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。本专利技术所述能调整角度的多轴承载装置，该第一平台模块是包括二个沿Y轴向间隔设置的第一移动单元，以及二个沿Y轴向间隔设置且与所述第一移动单元相对应的第二移动单元，每一个第一移动单元包括一个定位于该固定平台上的第一底板、一个滑设于该第一底板上且能在该第一驱动单元的带动下相对该第一底板进行X轴向位移的第一平移块、一个第一倾斜滑块，以及一个枢设于该第一倾斜滑块上端且能相对该第一倾斜滑块枢转的第一旋摆块，各该第一平移块具有一个第一倾斜面，各该第一倾斜滑块滑设于各该第一平移块的各该第一倾斜面上且能相对各该第一平移块进行位移，另外，每一个第二移动单元包括一定位于该固定平台上的第二底板、一个滑设于该第二底板上且能受相对应的该第二驱动单元的带动而能相对该第二底板进行X轴向位移的第二平移块、一个第二倾斜滑块，以及一个枢设于该第二倾斜滑块上端且能相对该第二倾斜滑块枢转的第二旋摆块，各该第二平移块具有一个第二倾斜面，各该第二倾斜滑块滑设于各该第二平移块的各该第二倾斜面上且能相对各该第二平移块进行位移，所述第一移动单元的所述第一旋摆块与所述第二移动单元的所述第二旋摆块均顶抵于该第一量测平台底面，该第一量测平台呈现Yθ角度倾摆或旋转时，所述第一旋摆块与所述第二旋摆块均能同步枢转。本专利技术所述能调整角度的多轴承载装置，该第一驱动单元包括一个具有一个能够伸缩作动的第一输出轴的第一驱动源与一个第一连接板，以及一个固设于该固定平台上的第一定位座，该第二驱动单元包括一个具有一个可伸缩作动的第二输出轴的第二驱动源与一个第二连接板，以及一固设于该固定平台上的第二定位座，该第一驱动单元的该第一输出轴与该第一连接板中段处相连设并连接该第一定位座，该第一连接板连接至少其中一个第一平移块，该第二驱动单元的该第二输出轴与该第二连接板中段处相连设并连接该第二定位座，该第二连接板连接至少其中一个第二平移块，借此该第一驱动源与该第
二驱动源分别驱动该第一输出轴与该第二输出轴伸缩作动时，能同步连动该第一连接板与该第二连接板，进而带动所述第一平移块与所述第二平移块分别相对所述第一底板与所述第二底板进行X轴向位移，所述第一平移块与所述第二平移块位移时会同时连动所述第一倾斜滑块与所述第二倾斜滑块分别顺着所述第一倾斜面、所述第二倾斜面倾斜向下位移或倾斜向上位移。本专利技术所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第一移动单元还包括数个第一线性移动组件，所述第一线性移动组件分别连设于所述第一平移块与所述第一底板间，以及所述第一平移块与所述第一倾斜滑块间，借此使得所述第一平移块能相对所述第一底板位移，以及所述第一倾斜滑块能相对所述第一平移块位移；另外，每一个第二移动单元还包括数个第二线性移动组件，所述第二线性移动组件分别连设于所述第二平移块与所述第二底板间，以及所述第二平移块与所述第二倾斜滑块间，借此使得所述第二平移块能相对所述第二底板位移，以及所述第二倾斜滑块能相对所述第二平移块位移。本专利技术所述能调整角度的多轴承载装置，每一个第一活动单元包括一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能调整角度的多轴承载装置，包含：一个第一平台模块，该第一平台模块包括一个固定平台，其特征在于：该第一平台模块还包括至少一个设置于该固定平台上的第一移动单元、至少一个设置于该固定平台上且位于该第一移动单元旁侧的第二移动单元、二个设置于该固定平台上且沿Y轴方向间隔设置的第一活动单元、一个连设于该第一移动单元与该第二移动单元和所述第一活动单元的第一量测平台、一个设置于该固定平台上且与该第一移动单元相连接并能驱动该第一移动单元移动的第一驱动单元，以及一个设置于该固定平台上且与该第二移动单元相连接并能驱动该第二移动单元移动的第二驱动单元，所述第一活动单元分别与该第一量测平台的两相对侧相连接，借此该第一驱动单元与该第二驱动单元同时分别驱动该第一移动单元、该第二移动单元进行X轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元与该第二移动单元位移距离不同时，则会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，同时该第一量测平台还会受所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。...

【技术特征摘要】
2014.12.10 TW 1031430291.一种能调整角度的多轴承载装置，包含：一个第一平台模块，该第一平台模块包括一个固定平台，其特征在于：该第一平台模块还包括至少一个设置于该固定平台上的第一移动单元、至少一个设置于该固定平台上且位于该第一移动单元旁侧的第二移动单元、二个设置于该固定平台上且沿Y轴方向间隔设置的第一活动单元、一个连设于该第一移动单元与该第二移动单元和所述第一活动单元的第一量测平台、一个设置于该固定平台上且与该第一移动单元相连接并能驱动该第一移动单元移动的第一驱动单元，以及一个设置于该固定平台上且与该第二移动单元相连接并能驱动该第二移动单元移动的第二驱动单元，所述第一活动单元分别与该第一量测平台的两相对侧相连接，借此该第一驱动单元与该第二驱动单元同时分别驱动该第一移动单元、该第二移动单元进行X轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元与该第二移动单元位移距离不同时，则会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，同时该第一量测平台还会受所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。2.根据权利要求1所述能调整角度的多轴承载装置，其特征在于：该第一平台模块是包括二个沿Y轴向间隔设置的第一移动单元，以及二个沿Y轴向间隔设置且与所述第一移动单元相对应的第二移动单元，每一个第一移动单元包括一个定位于该固定平台上的第一底板、一个滑设于该第一底板上且能在该第一驱动单元的带动下相对该第一底板进行X轴向位移的第一平移块、一个第一倾斜滑块，以及一个枢设于该第一倾斜滑块上端且能相对该第一倾斜滑块枢转的第一旋摆块，各该第一平移块具有一个第一倾斜面，各该第一倾斜滑块滑设于各该第一平移块的各该第一倾斜面上且能相对各该第一平移块进行位移，另外，每一个第二移动单元包括一定位于该固定平台上的第二底板、一个滑设于该第二底板上且能受相对应的该第
\t二驱动单元的带动而能相对该第二底板进行X轴向位移的第二平移块、一个第二倾斜滑块，以及一个枢设于该第二倾斜滑块上端且能相对该第二倾斜滑块枢转的第二旋摆块，各该第二平移块具有一个第二倾斜面，各该第二倾斜滑块滑设于各该第二平移块的各该第二倾斜面上且能相对各该第二平移块进行位移，所述第一移动单元的所述第一旋摆块与所述第二移动单元的所述第二旋摆块均顶抵于该第一量测平台底面，该第一量测平台呈现Yθ角度倾摆或旋转时，所述第一旋摆块与所述第二旋摆块均能同步枢转。3.根据权利要求2所述的能调整角度的多轴承载装置，其特征在于：该第一驱动单元包括一个具有一个能够伸缩作动的第一输出轴的第一驱动源、一个第一连接板，以及一个固设于该固定平台上的第一定位座，该第二驱动单元包括一个具有一个可伸缩作动的第二输出轴的第二驱动源、一个第二连接板，以及一固设于该固定平台上的第二定位座，该第一驱动单元的该第一输出轴与该第一连接板中段处相连设并连接该第一定位座，该第一连接板连接至少其中一个第一平移块，该第二驱动单元的该第二输出轴与该第二连接板中段处相连设并连接该第二定位座，该第二连接板连接至少其中一个第二平移块，借此该第一驱动源与该第二驱动源分别驱动该第一输出轴与该第二输出轴伸缩作动时，能同步连动该第一连接板与该第二连接板，进而带动所述第一平移块与所述第二平移块分别相对所述第一底板与所述第二底板进行X轴向位移，所述第一平移块与所述第二平移块位移时会同时连动所述第一倾斜滑块与所述第二倾斜滑块分别顺着所述第一倾斜面与所述第二倾斜面倾斜向下位移或倾斜向上位移。4.根据权利要求3所述能调整角度的多轴承载装置，其特征在于：每一个第一移动单元还包括数个第一线性移动组件，所述第一线性移动组件分别连设于所述第一平移块与所述第一底板间，以及所述第一平移块与所述第一倾斜滑块间，借此使得所述第一平移块能相对所述第一底板位移，以及所述第一倾斜滑块能相对所述第一平移块位移；另外，每一个第二移动单元还包括数个第二线性移动组件，所述第二线性移动组件分别连设于所述第二平移块与所述第
\t二底板间，以及所述第二平移块与所述第二倾斜滑块间，借此使得所述第二平移块能相对所述第二底板位移，以及所述第二倾斜滑块能相对所述第二平移块位移。5.根据权利要求4所述能调整角度的多轴承载装置，其特征在于：每一个第一活动单元包括一个固设于该固定平台上的第一立座、一个设置于该第一立座上沿Z轴方向延伸的第一线性导轨、一个滑设于该第一线性导轨上且能够升降位移的第一滑块，以及一个能够转动地设于该第一滑块上的第一转轴，所述第一活动单元的所述第一转轴分别与该第一量测平台的两相对应侧相连接，借此该第一量测平台进行Z轴向位移时，会同步连动各该第一滑块依循相对应的各该第一线性导轨位移，且该第一量测平台呈现Yθ角度倾摆或旋转时，也会同步连动所述第一转轴旋转。6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述能调整角度的多轴承载装置，其特征在于：还包含一个第二平台模块，该第二平台模块包括二个位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪国凯，黄加助，林辉鸿，
申请(专利权)人：财团法人金属工业研究发展中心，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71