跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法技术方案

本发明专利技术提供一种跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法。制程精度监控系统包括电化学加工设备、放电加工设备、存储单元以及处理单元。电化学加工设备用以对加工件先进行电化学加工制程。放电加工设备用以对加工件接续进行放电加工制程。处理单元用以执行线性回归模型，以估测加工件的第一移除面积。处理单元用以执行放电加工精度预测模型，以估测加工件的第二移除面积。处理单元根据第一移除面积以及第二移除面积调整放电电压以及放电电流的至少其中之一。至少其中之一。至少其中之一。

【技术实现步骤摘要】
跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法


[0001]本专利技术涉及一种监控系统，尤其涉及一种跨制程精度监控系统以及跨制程精度监控方法。

技术介绍

[0002]现有的电化学加工制程以及放电加工制程的制程精度的掌握都是以离线的方式进行测量，因此普遍具有制程效率不佳的问题。更进一步的，加工件在经过电化学加工制程以及放电加工制程的跨制程制作的过程中同样具有无法即时掌握制程精度的问题，而往往也容易使跨制程制作具有制程误差较大的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术是针对一种制程精度监控系统以及制程精度监控方法，在电化学加工设备对加工件进行电化学加工制程中，可即时地估测加工件的加工品质参数，并且在放电加工设备对加工件进行放电加工制程中，也可即时地估测加工件的加工品质参数。
[0004]根据本专利技术的实施例，本专利技术的制程精度监控系统包括电化学加工设备、存储单元以及处理单元。电化学加工设备用以对加工件进行电化学加工制程。存储单元用以存储线性回归模型。处理单元耦接电化学加工设备以及存储单元。处理单元用以检测电化学加工设备在电化学加工制程中的工作电压以及工作电流，并且执行线性回归模型。处理单元将工作电压以及工作电流输入至线性回归模型，以使线性回归模型估测加工件的加工品质参数。
[0005]根据本专利技术的实施例，本专利技术的制程精度监控方法包括以下步骤：通过电化学加工设备对加工件进行电化学加工制程；通过处理单元检测电化学加工设备在电化学加工制程中的工作电压以及工作电流；通过处理单元执行线性回归模型；以及通过处理单元将工作电压以及工作电流输入至线性回归模型，以使线性回归模型估测加工件的加工品质参数。
[0006]根据本专利技术的实施例，本专利技术的制程精度监控系统包括电化学加工设备、放电加工设备、存储单元以及处理单元。电化学加工设备用以对加工件先进行电化学加工制程。放电加工设备用以对加工件接续进行放电加工制程。存储单元用以存储线性回归模型以及放电加工精度预测模型。处理单元耦接电化学加工设备、放电加工设备以及存储单元。处理单元用以检测电化学加工设备在电化学加工制程中的工作电压以及工作电流，并且执行线性回归模型，以估测加工件的第一移除面积。处理单元用以检测放电加工设备在放电加工制程中的放电电压以及放电电流，并且执行放电加工精度预测模型，以估测加工件的第二移除面积。处理单元根据第一移除面积以及第二移除面积调整放电电压以及放电电流的至少其中之一。
[0007]根据本专利技术的实施例，本专利技术的制程精度监控方法包括以下步骤：通过电化学加工设备对加工件先进行电化学加工制程；通过处理单元检测电化学加工设备在电化学加工
制程中的工作电压以及工作电流，并且执行线性回归模型，以估测加工件的第一移除面积；通过放电加工设备对加工件接续进行放电加工制程；通过处理单元检测放电加工设备在放电加工制程中的放电电压以及放电电流，并且执行放电加工精度预测模型，以估测加工件的第二移除面积；以及通过处理单元根据第一移除面积以及第二移除面积调整放电电压以及放电电流的至少其中之一。
[0008]基于上述，本专利技术的制程精度监控系统以及制程精度监控方法，可即时地监控电化学加工设备在电化学加工制程中的工作电压以及工作电流，以即时地估测加工件的加工品质参数，而可动态调整电化学加工设备在加工件进行电化学加工制程中的进给量设定。并且，本专利技术的制程精度监控系统以及制程精度监控方法，可即时地监控放电加工设备在放电加工制程中的放电电压以及放电电流，以即时地估测加工件的放电加工结果，而可动态调整放电加工设备的制程设定。
[0009]为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
附图说明
[0010]图1是本专利技术的一实施例的电化学加工制程精度监控系统的电路示意图；
[0011]图2A是本专利技术的一实施例的电化学加工设备的示意图；
[0012]图2B是本专利技术的一实施例的加工件的示意图；
[0013]图3是本专利技术的一实施例的建立线性回归模型的流程图；
[0014]图4是本专利技术的一实施例的电化学加工制程精度监控方法的流程图；
[0015]图5是本专利技术的一实施例的加工品质参数的示意图；
[0016]图6是本专利技术的一实施例的跨制程精度监控系统的电路示意图；
[0017]图7是本专利技术的一实施例的放电加工设备的示意图；
[0018]图8是本专利技术的一实施例的建立放电加工精度预测模型的流程图；
[0019]图9是本专利技术的一实施例的跨制程精度监控方法的流程图；
[0020]图10是本专利技术的另一实施例的跨制程精度监控方法的流程图。
[0021]附图标记说明
[0022]100、600:制程精度监控系统；
[0023]110、610:处理单元；
[0024]120、620:存储单元；
[0025]121、621:线性回归模型；
[0026]130、630:电化学加工设备；
[0027]131:阴极；
[0028]132:阳极；
[0029]133:电极刀具；
[0030]134:绝缘层；
[0031]140、650:加工件；
[0032]141、651:工件材料移除区；
[0033]141
‑
1～141
‑
6:移除层；
[0034]142:电解液；
[0035]143:电解液流向；
[0036]501、502、503:曲线；
[0037]622:放电加工精度预测模型；
[0038]640:放电加工设备；
[0039]641:主轴；
[0040]642:加工电极；
[0041]643:平台；
[0042]D1、D2、D3、D4:方向；
[0043]S310～S330、S410～S440、S810～S830、S910～S950、S1010～S1080:步骤。
具体实施方式
[0044]现将详细地参考本专利技术的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同元件符号在附图和描述中用来表示相同或相似部分。
[0045]图1是本专利技术的一实施例的电化学加工制程精度监控系统的电路示意图。参考图1，制程精度监控系统100包括处理单元110、存储单元120以及电化学加工(Electro
‑
Chemical Machining，ECM)设备130。处理单元110耦接存储单元120以及电化学加工设备130。存储单元120用以存储线性回归(linear regression)模型121。在本实施例中，电化学加工设备130可用于对加工件进行电化学加工制程，并且处理单元110可即时取得电化学加工设备130在电化学加工制程中的工作电压以及工作电流。处理单元110可执行线性回归模型121以根据当前的工作电压以及当前的工作电流来有效估测当前的加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制程精度监控系统，其特征在于，包括：电化学加工设备，用以对加工件先进行电化学加工制程；放电加工设备，用以对所述加工件接续进行放电加工制程；存储单元，用以存储线性回归模型以及放电加工精度预测模型；以及处理单元，耦接所述电化学加工设备、所述放电加工设备以及所述存储单元，其中所述处理单元用以检测所述电化学加工设备在所述电化学加工制程中的工作电压以及工作电流，并且执行所述线性回归模型，以估测所述加工件的第一移除面积，其中所述处理单元用以检测所述放电加工设备在所述放电加工制程中的放电电压以及放电电流，并且执行所述放电加工精度预测模型，以估测所述加工件的第二移除面积，其中所述处理单元根据所述第一移除面积以及所述第二移除面积调整所述放电电压以及所述放电电流的至少其中之一。2.根据权利要求1所述的制程精度监控系统，其特征在于，所述处理单元根据所述第一移除面积以及所述第二移除面积计算所述加工件的加工后体积，并且根据所述加工后体积评估是否操作所述放电加工设备对所述加工件再次进行所述放电加工制程。3.根据权利要求1所述的制程精度监控系统，其特征在于，所述电化学加工设备预先根据多个原始工作电压以及多个原始工作电流对相同的多个第一参考加工件分别进行所述电化学加工制程，以使所述处理单元取得所述多个第一参考加工件的多个原始加工品质参数，其中所述处理单元根据所述多个原始工作电压、所述多个原始工作电流以及所述多个原始加工品质参数建立所述线性回归模型。4.根据权利要求1所述的制程精度监控系统，其特征在于，所述放电加工设备预先对多个第二参考加工件进行所述放电加工制程，并且所述处理单元预先检测所述放电加工设备在所述多个第二参考加工件进行所述放电加工制程中的多个参考放电电压以及多个参考放电电流，其中所述处理单元分析所述多个参考放电电压以及所述多个参考放电电流，以萃取多组参考特征参数，并且所述处理单元根据所述多个第二参考加工件的工件类型来选择所述多组参考特征参数的分别的至少一部分用于建立所述放电加工精度预测模型。5.根据权利要求4所述的制程精度监控系统，其特征在于，所述多组参考特征参数个别包括放电频率、开路比、短路比、平均短路时间、短路时间标准差、平均短路电流、短路电流标准差、平均延迟时间、延迟时间标准差、平均放电峰值电流、峰值电流标准差、平均放电时间、放电时间标准差、平均放...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄闵钧，詹家铭，林秋丰，吕育廷，范智文，张振晖，
申请(专利权)人：财团法人金属工业研究发展中心，
类型：发明
国别省市：