具有纳米尺寸孔的多比例悬臂结构及其制备方法技术

本发明专利技术提供具有通过阳极氧化制备的纳米尺寸孔的多比例悬臂结构及其制备方法。使用阳极氧化和电抛光制备多比例悬臂结构，以便制造过程是简单的，并且制造成本是廉价的。此外，多比例悬臂结构具有多个纳米尺寸孔在其内部的多孔结构，因此可以最大化该悬臂结构的表面积。因此，当在传感器中使用这种悬臂结构时，该传感器可以具有改进的灵敏度和选择性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多比例悬臂结构，包括：包括铝衬底的第一层，所述铝衬底包括具有高度ｔ１的第一区域和具有大于ｔ１的高度ｔ２的第二区域；在所述第一层上形成的第二层，所述第二层包括由氧化铝构成的悬臂，其中所述悬臂包括连接到第二区域的主体和从所述 主体向所述第一区域凸出的凸出部分，所述凸出部分与所述第一区域的表面隔开；在所述第二层上形成的第三层，所述第三层包括金属薄膜层，以及在所述第三层上形成的第四层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李政炫，李坪洙，李建弘，申娜英，
申请(专利权)人：学校法人浦项工科大学校，浦项工科大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]