【技术实现步骤摘要】
本技术涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，具体涉及一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置。
技术介绍
磁控溅射镀膜玻璃生产线设备在工作中会发出大量热量，热量积聚无法散失会影响整个设备的正常工作，进而影响镀膜产品的质量，冷却系统是带走设备产生热量的重要工具，冷却系统分为冷却主体和辅助管路两部分，冷却主体在真空腔体内部，辅助管路在真空腔体外部。目前真空腔体在制作过程中外部会预留大量的标准KF法兰，外部辅助管路通过标准KF法兰与冷却主体连接，为保证真空腔室的密闭性，在标准KF法兰和外部辅助管路的连接处须采用真空密封装置，故需要一种真空密封装置。
技术实现思路
本技术目的是提供一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置，以满足真空镀膜玻璃生产线的标准KF法兰和外部辅助管路处的真空密封需求。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置，包括水管过渡接头、真空密封接头以及卡环；所述真空密封接头为一筒状体，其中心为轴向通孔，真空密封接头相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰固定连接，且真空密封接头的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈密封接触，所述水管过渡接头穿设于真空密封接头的轴向通孔内，在水管过渡接头上设有至少一圈密封圈凹槽，在该密封圈凹槽内嵌置密封圈，水管过渡接头通过密封圈与真空密封接头的圆形通孔的孔壁相接触密封；并且，水管过渡接头上对应真空密封接头上远离真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰的一端的外侧设有卡环凹槽，在该卡环凹槽内卡置有卡环，该卡环由两个半圆环拼合构成，所述卡环与真空密封接头的端部间通过紧固件固定连...
【技术保护点】
一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置，其特征在于：包括水管过渡接头（1）、真空密封接头（2）以及卡环（3）；所述真空密封接头（2）为一筒状体，其中心为轴向通孔，真空密封接头（2）相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰固定连接，且真空密封接头（2）的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈（4）密封接触，所述水管过渡接头（1）穿设于真空密封接头（2）的轴向通孔内，在水管过渡接头（1）上设有至少一圈密封圈凹槽（11），在该密封圈凹槽（11）内嵌置密封圈（5），水管过渡接头（1）通过密封圈（5）与真空密封接头（2）的圆形通孔的孔壁相接触密封；并且，水管过渡接头（1）上对应真空密封接头（2）上远离真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰的一端的外侧设有卡环凹槽（12），所述卡环（3）卡置于卡环凹槽（12）内，卡环（3）由两个半圆环拼合构成，所述卡环（3）与真空密封接头（2）的端部间通过紧固件（7）固定连接。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜玻璃生产线的真空密封装置，其特征在于：包括水管过渡接头（1）、真空密封接头（2）以及卡环（3）；所述真空密封接头（2）为一筒状体，其中心为轴向通孔，真空密封接头（2）相对真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰固定连接，且真空密封接头（2）的一端端面与真空镀膜玻璃生产线真空腔体壁上的法兰端面间由密封圈（4）密封接触，所述水管过渡接头（1）穿设于真空密封接头（2）的轴向通孔内，在水管过渡接头（1）上设有至少一圈密封圈凹槽（11），在该密封圈凹槽（11）内嵌置密封圈（5），水管过渡接...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧晓良，李险峰，罗雨潇，刘宇，张山山，邱宏，
申请(专利权)人：中建材光电装备太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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