一种空气刀系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。本实用新型专利技术有益效果是：真空吸液装置和空气刀配合及时吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体，避免水渍残留，保证空气刀对基板表面作用力的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶产品制作
，尤其涉及一种空气刀系统。
技术介绍
在TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display)的制作过程中都需要经过镀膜，涂胶，曝光，显影，刻蚀，剥离这些工序。在这些工序的前后大多会有清洗的环节，清洗的目的也各不相同，通常工序前的清洗是为了清洗基板表面的Particle(灰尘)，增加基板表面的粘附力等；而工序后的清洗通常是为了将工序所用的化学药品清洗干净；这些清洗单元后都需要连接着将清洗液分离的Air Knife(空气刀)，从而达到分离基板表面液体并干燥基板表面的作用。Air Knife作为分离清洗液的主要设备，在传统的设计结构下，实际生产中仅能依靠调节出风口CDA(压缩空气)的流量来控制空气刀的干燥能力，存在以下的缺点：1.空气刀出风口气体流量过大，对基板的边角区域作用力过大会造成基板抖动，同时会影响膜层表面的粘附性，造成Peeling(剥离)不良。2.空气刀出风口气体流量过小，对液体的作用力明显不足，会造成严重水渍残留。3.随着水量的聚集，CDA对其冲击容易形成水雾，这些水雾会侵蚀已经干燥的基板表面。4.基板表面的Particle在空气刀的作用下，容易形成L型的Particle边角聚集。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种空气刀系统，及时吸取由空气刀喷射的气体的液体，避免由于液体聚集而引起的水渍残留等问题。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。进一步的，所述真空吸液装置包括：置于基板上方的吸液头，以及通过抽气管道与所述吸液头连接的真空排气装置。进一步的，所述真空排气装置包括气液分离装置，以及通过气液分离装置与所述抽气管道连接的真空泵。进一步的，所述气液分离装置包括与所述抽气管道连接的气液分离腔室，所述气液分离腔室由气液分离板划分为与所述抽气管道连接的第一腔室和与所述真空泵连接的第二腔室。进一步的，还包括与所述第一腔室靠近所述吸液头的一侧连接的排液箱。进一步的，所述吸液头包括具有一中空腔体的吸液面板，所述吸液面板的第一表面设有多个与所述中空腔体连通的第一通孔，所述吸液面板与所述第一表面相对的第二表面设有与所述抽气管道连通的第二通孔。进一步的，所述吸液面板的第一表面与所述空气刀出风口所在平面平行，所述吸液面板第一表面在吸液时与基板之间的垂直距离为第一预设距离、使得所述吸液面板位于基板上由空气刀喷射的气体吹起的液体的液面之下。进一步的，所述空气刀喷射气体的气流方向与基板的传送方向相反。本技术有益效果是：真空吸液装置和空气刀配合及时吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体，避免水渍残留，保证空气刀对基板表面作用力的均匀性。附图说明图1表示本技术实施例中空气刀系统结构示意图；图2表示本技术实施例中空气刀、吸液面板位置关系示意图；图3表示本技术实施例中吸液面板具体结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的特征和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本技术，并非以此限定本技术保护范围。本实施例提供一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。真空吸液装置和空气刀配合及时吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体，避免水渍残留，聚集的液体被及时排走，避免了受CDA冲击形成的水雾，侵蚀已干燥的基板表面；而且液体被吸走的同时可以有效的带走基板表面的Particle，防止L型Particle边角聚集的产生；使得空气刀对基板表面各处的作用力都是相同的，保证空气刀对基板表面作用力的均匀性，方便实际生产中对空气刀气体流量的调整。所述真空吸液装置的具体结构形式可以有多种，只要实现将空气刀喷射的气体吹起的液体吸走的目的即可。如图1所示，本实施例中，所述真空吸液装置包括：置于基板上方的吸液头，以及通过抽气管道2与所述吸液头连接的真空排气装置。为了保证真空抽气与液体排出的顺利进行，所述真空排气装置包括气液分离装置，以及通过气液分离装置与所述抽气管道2连接的真空泵。进一步的，所述气液分离装置包括与所述抽气管道2连接的气液分离腔室，所述气液分离腔室由气液分离板5划分为与所述抽气管道2连接的第一腔室3和与所述真空泵连接的第二腔室4。如图1所示，真空泵通过管道连接于第二腔室4的顶部，抽气管道2连接于第一腔室3的侧壁，气液分离板5的设置使得在抽真空时，气体进入第二腔室4，液体留在第一腔室3。所述气液分离板5为一具有多个通孔的板状结构，气体通过气液分离板5上的通孔进入第二腔室4，并通过真空排气装置排走，液体在其本身重力作用下留在第一腔室3。为了及时将第一腔室3的液体排出，所述气液分离装置还包括与所述第一腔室3靠近所述吸液头的一侧连接的排液箱6。进一步的，所述吸液头包括具有一中空腔体的吸液面板1，所述吸液面板1的第一表面设有多个与所述中空腔体连通的第一通孔11，所述吸液面板1与所述第一表面相对的第二表面设有与所述抽气管道2连通的第二通孔。图3表示的是吸液面板1具有第一通孔11的一面。本实施例中为了及时将液体排出，所述抽气管道2为2个，实际使用中，抽气管道2的数量可以根据实际需要设定。本实施例中，所述吸液面板1的第一表面与所述空气刀7出风口所在平面平行，所述吸液面板1第一表面在吸液时与基板之间的垂直距离为第一预设距离、使得所述吸液面板1位于基板上由空气刀7喷射的气体吹起的液体的液面之下。进一步的，所述空气刀7喷射气体的气流方向与基板的传送方向相反。第一预设距离可根据实际需要设定。如图2所示，箭头表示空气刀7喷射气体的气流方向，曲线表示空气刀喷射的气体吹起的液体，沿着空气刀7喷射气体的气流方向，吸液面板1设于空气刀7的前方，且吸液面板1位于由空气刀7喷射的气体吹起的液体的液面之下。本实施例空气刀7系统，在空气刀7出风口的前方(图2所示的空气刀7的右侧)增加了真空吸液装置。空气刀7喷射气体对基板进行干燥和真空吸液装置进行吸液同时进行，保证由空气刀7喷射的气体吹起、聚集的液体可以及时的被排走。当基板最初到达空气刀7对应的位置时，空气刀7出风口开始喷射高速的压缩气体，同时真空吸液装置也开始运转，使吸液面板1及其连同的管道内形成瞬间的真空环境，被空气刀7喷射的气体聚集的液体在大气压力的作用下，迅速的进入吸水面板、并通过抽气管道2进入第一腔室3，然后排到排液箱6内。真空吸液装置在吸液过程中，吸液面板1要始终位于基板上被空气刀7喷射的气体吹起的液体的液面之下(在实际使用中，为了避免吸液面板1与基板接触以损伤基板，并保证液体被真空吸液装置吸取，吸液面板1的位置位于被空气刀7喷射的气体的气流吹赶的液体液位最高处)，保证基板表面的液体可以在大气压力和液体分子内在作用力的情况下，实时的被排到第一腔室3内，并最终排放到排液箱6。本实施例空气刀7系统实现了空气刀7喷射气体干燥基板表面和真空吸水实时抽走聚集的液体的完美配合。由于空气刀7喷射的气体接触到的液体始终一定，保证空气刀7对基板表面各处的作用力的均一性。在实际生产应用中，需本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，其特征在于，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。

【技术特征摘要】
1.一种空气刀系统，用于分离基板表面的液体，其特征在于，包括向基板表面喷射气体的空气刀，以及用于吸取由空气刀喷射的气体吹起的液体的真空吸液装置。2.根据权利要求1所述的空气刀系统，其特征在于，所述真空吸液装置包括：置于基板上方的吸液头，以及通过抽气管道与所述吸液头连接的真空排气装置。3.根据权利要求2所述的空气刀系统，其特征在于，所述真空排气装置包括气液分离装置，以及通过气液分离装置与所述抽气管道连接的真空泵。4.根据权利要求3所述的空气刀系统，其特征在于，所述气液分离装置包括与所述抽气管道连接的气液分离腔室，所述气液分离腔室由气液分离板划分为与所述抽气管道连接的第一腔室和与所述真空泵连接的第二腔室。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱娟娟，马超，黄胜，徐海涛，刘超，王守波，欧阳欠，林杰，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34