电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子设备。在上述电光学装置中，对反射镜配置透光性盖，在光通过透光性盖对反射镜照射时，由于被照射的光的原因，透光性盖的温度将会上升。这里，电光学装置中设置有与透光性盖和元件基板相接的第一金属部。因此，能够通过第一金属部及元件基板1将透光性盖的热释放到基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有反射镜的电光学装置的制造方法、电光学装置以及电子设备。
技术介绍
作为电子设备，已知例如通过被称为DMD(数字微镜器件)的电光学装置的多个反射镜(微镜)将光源射出的光调制后，通过利用投射光学系统将调制光放大投射，在荧幕上显示图像的投射型显示装置等。如图18所示，用于这种投射型显示装置等的电光学装置例如，包括：一个面1s上设置有反射镜50的元件基板1、在俯视图上以包围反射镜50的方式与元件基板1的一个面1s侧粘接的间隔部件28、被间隔部件28的与元件基板1相反的相反侧的端部支撑的板状的透光性盖29。而且，电光学装置具有例如由侧壁92围成的形成有凹状的基板安装部93的密封基板90，元件基板1被用粘合剂层97固定在基板安装部93的底部后，被设置在基板安装部93的环氧树脂类等密封树脂98密封。在这样构成的电光学装置中，光透过透光性盖29入射到反射镜50，由反射镜50反射的光透过透光性盖29后射出。因此，由于被照射的光的原因，透光性盖29的温度上升。这种温度上升成为使电光学装置温度上升的原因，有可能导致电光学装置产生误动作以及寿命降低。另一方面，作为提高对基板安装的设备的放热性的方法，提出了扩大设备与密封树脂的接触面积的技术(参照专利文献1)。例如图18所示，被构成为在比密封树脂98的表面与密封基板90的侧壁92接触的位置更高的位置上，密封树脂98的表面与透光性盖29接触。根据这种构成，能够提高从透光性盖29到密封树脂98的热的传递效率。然而，由于根据图18所示的构成，即使提高了从透光性盖29到密封树脂98的热的传递效率，密封树脂98自身的热传递效率也低，因而存在不能充分抑制元件基板1的温度上升的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利US 7,898,724 B2。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的课题在于提供一种能够有效释放相对于反射镜配置在光照射侧的透光性盖的热的电光学装置、电光学装置的制造方法、以及电子设备。为了解决上述课题，本专利技术涉及的电光学装置的一方面，其特征在于，具有：基板；搭载在上述基板上的元件基板；设置在上述元件基板的第一面侧的反射镜；设置在上述元件基板的上述第一面侧，驱动上述反射镜的驱动元件；有透光性的透光性盖，上述透光性盖被设置为使上述反射镜位于上述透光性盖与上述元件基板之间；与上述元素基板和上述透光性盖相接的第一金属部。本专利技术的“相接”，不仅限于部件之间直接相接的情况，是也包括部件之间通过粘合剂层等，在导热这一观点上大体可以无视的层而相接的情况在内的意思。在本专利技术涉及的电光学装置中，光透过透光性盖入射到反射镜，由反射镜反射的光透过透光性盖后射出。因此，由于被照射的光的原因，透光性盖的温度将会上升。然而，在本专利技术涉及的电光学装置中，由于设置有与透光性盖和元件基板相接的第一金属部，因此，能够通过第一金属部、元件基板及基板有效地释放透光性盖的热。因此，可以抑制电光学装置的温度上升，抑制电光学装置的误动作及寿命降低。在本专利技术中，优选上述第一金属部被设置为在俯视中包围上述反射镜的周围的框状。根据这种构成，能够通过第一金属部、元件基板及基板有效地释放透光性盖的热。在本专利技术中，优选具有与上述基板和上述透光性盖相接的第二金属部。根据这种构成，能够通过第二金属部将透光性盖的热有效地释放到基板。因此，可以抑制电光学装置的温度上升，抑制电光学装置的误动作及寿命降低。在本专利技术中，上述第二金属部可以采用固定在上述透光性盖和上述基板上的金属框架方式。在本专利技术中，优选上述第二金属部进一步与上述第一金属部相接。根据这种构成，可以将热从第一金属部释放到第二金属部，另一方面，也可以将热从第二金属部释放到第一金属部。在本专利技术中，上述第一金属部可以采用与上述透光性盖的上述元件基板侧的端部和上述元件基板相接的方式。在本专利技术中，上述第一金属部可以采用与上述透光性盖的侧面和上述元件基板相接的方式。在本专利技术中，上述第一金属部也可以采用由覆盖从上述元件基板的上述第一面突出的树脂部的金属层构成的方式。在本专利技术中，可以采用在上述第二金属部和上述基板之间具有与上述元件基板的侧面及上述透光性盖的侧面相接的密封树脂的方式。根据这种构成，能够通过密封树脂释放透光性盖和元件基板的热。而且，能够通过密封树脂抑制水分侵入形成有反射镜的部分。在本专利技术中，可以采用下述的方式，即具有：密封树脂，其与上述元件基板的侧面及上述透光性盖的侧面相接；以及，透光性的无机材料层，其层叠在上述透光性盖的与和上述反射镜相对的面相反的相反侧的面、及上述密封树脂的与和上述基板相对的面相反的相反侧的面上，并与上述基板相接。根据这种构成，能够通过密封树脂及无机材料层释放透光性盖及元件基板的热。而且，能够通过无机材料层及密封树脂抑制水分的侵入。本专利技术涉及的电光学装置的制造方法的一方面，其特征在于，具有：配置工序，其是对在第一面上具备反射镜、及驱动上述反射镜的驱动元件的元件基板设置具有透光性的透光性盖的工序，以上述反射镜位于上述透光性盖和上述元件基板之间，第一金属部与上述透光性盖和上述元件基板接触的方式设置上述透光性盖；以及搭载工序，其在基板上搭载上述元件基板。在本专利技术涉及的电光学装置的制造方法中，在上述配置工序前，先在上述元件基板上设置上述第一金属部，在上述配置工序中，设置上述透光性盖时，可以采用使上述透光性盖与上述第一金属部接触的方式。在本专利技术涉及的电光学装置的制造方法中，在上述配置工序前，先在上述透光性盖上设置上述第一金属部，在上述配置工序中，设置上述透光性盖时，也可以采用使上述元件基板与上述第一金属部接触的方式。在本专利技术涉及的电光学装置的制造方法中，优选具有形成在上述透光性盖和上述基板上接触第二金属部的状态的工序。在本专利技术涉及的电光学装置的制造方法中，也可以在上述配置工序前，先在上述透光性盖上设置上述第二金属部，在上述配置工序中，设置上述透光性盖时，形成上述基板与上述第二金属部相接的状态。在本专利技术中，优选在形成上述基板与上述第二金属部相接的状态时，上述第一金属部与上述第二金属部变为相接的状态。适用了本专利技术的电光学装置可以用于各种电子设备，这种情况下，在电子设备上设置对上述反射镜照射光源光的光源部。而且，在作为电子设备构成投射型显示装置时，电子设备上还设置用于照射被上述反射镜调制后的光的投射光学系统。附图说明图1是示出作为适用了本专利技术的电子设备的投射型显示装置的光学系统的示意图。图2的(a)、图2的(b)是示意性地示出适用了本专利技术的电光学装置的基本构成的说明图，图2的(a)是立体图，图2的(b)是分解立体图。图3的(a)、图3的(b)是示意性地示出适用了本专利技术的电光学装置的重要部分的A-A’断面的说明图。图4的(a)、图4的(b)是本专利技术的实施方式一涉及的电光学装置的说明图，图4的(a)是俯视图，图4的(b)是断面图。图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)、图5的(d)是示出本专利技术的实施方式一涉及的电光学装置的制造方法的工序断面图。图6是用于本专利技术的实施方式一涉及的电光学装置的制造的第一晶片的俯视图。图7的(a)、图7的(b)、图7的(c)是示出了在本专利技术的实施方式一涉及的电光学装置的制造方法中，将元件基板安装在基板上的工序等的工序断面图。图8本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光学装置，其特征在于，具有：基板；元件基板，其搭载在所述基板上；反射镜，其设置在所述元件基板的第一面侧；驱动元件，其设置在所述元件基板的所述第一面侧上，驱动所述反射镜；透光性盖，其具有透光性，所述透光性盖以所述反射镜位于所述透光性盖和所述元件基板之间的方式设置；以及第一金属部，其与所述元件基板和所述透光性盖相接。

【技术特征摘要】
2015.03.27 JP 2015-0659351.一种电光学装置，其特征在于，具有：基板；元件基板，其搭载在所述基板上；反射镜，其设置在所述元件基板的第一面侧；驱动元件，其设置在所述元件基板的所述第一面侧上，驱动所述反射镜；透光性盖，其具有透光性，所述透光性盖以所述反射镜位于所述透光性盖和所述元件基板之间的方式设置；以及第一金属部，其与所述元件基板和所述透光性盖相接。2.根据权利要求1所述的电光学装置，其特征在于，所述第一金属部被设置为在俯视中包围所述反射镜的周围的框形。3.根据权利要求1或2所述的电光学装置，其特征在于，还具有：第二金属部，其与所述基板和所述透光性盖相接。4.根据权利要求3所述的电光学装置，其特征在于，所述第二金属部是固定在所述透光性盖及所述基板上的金属框架。5.根据权利要求3或4所述的电光学装置，其特征在于，所述第二金属部还与所述第一金属部相接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的电光学装置，其特征在于，所述第一金属部与所述透光性盖的所述元件基板侧的端部和所述元件基板相接。7.根据权利要求1至5中任一项所述的电光学装置，其特征在于，所述第一金属部与所述透光性盖的侧面和所述元件基板相接。8.根据权利要求1至6中任一项所述的电光学装置，其特征在于，所述第一金属部由覆盖从所述元件基板的所述第一面突出的树脂部的金属层构成。9.根据权利要求4所述的电光学装置，其特征在于，还具有：密封树脂，其在所述第二金属部与所述基板之间，与所述元件基板的侧面及所述透光性盖的侧面相接。10.根据权利要求1或2所述的电光学装置，其特征在于，还具有：密封树脂，其与所述元件基板的侧面及所述透光性盖的侧面相接；以及透光性的无机材...

【专利技术属性】
技术研发人员：花冈辉直，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP