涂布装置和涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种涂布装置和涂布方法，即使提高基材的搬运速度，并且使涂布膜的膜厚变薄，该涂布装置和该涂布方法也能够稳定地保持液珠，从而能够稳定地形成均匀的涂布膜。本发明专利技术的涂布装置具备狭缝模(10)和减压单元(20)，狭缝模(10)具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝(13)，减压单元(20)设在狭缝模(10)的上游侧，减压单元(20)具备减压用狭缝(21)和减压室(22)，减压用狭缝(21)与喷出用狭缝(13)相邻而设，减压室(22)与减压用狭缝(21)相连结，喷出用狭缝(13)的开口面的上游侧缘部(13a)与减压用狭缝(21)的开口面(21a)的下游侧缘部(21b)之间的距离(L)小于1.0mm，减压用狭缝(21)的开口宽度(W)小于1.0mm。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂布装置和涂布方法，该涂布装置具备狭缝模(slit die)，该狭缝模具有喷出用狭缝。
技术介绍
在现有的具备狭缝模的涂布装置中，使从供给口供给过来的涂布液在歧管中朝横向散开，并且使从歧管被挤出的涂布液从喷出用狭缝喷出，由此在基材的表面上形成涂布膜。在此，为了稳定地形成均匀的涂布膜，有必要稳定地保持住在狭缝模与基材之间由从喷出用狭缝喷出的涂布液形成的液珠(bead)。但是，一旦提高狭缝模与基材之间的相对速度，就无法稳定地保持住液珠，从而无法稳定地形成均匀的涂布膜。于是，作为解决方式，已知道有如下所述的方法:在狭缝模的上游侧(与基材的搬运方向相反的方向)加设减压室，通过该减压室使液珠的上游侧减压，由此来稳定地保持住液珠(例如专利文献1)。但是，存在下述问题:为了在液珠的上游侧产生均匀的负压，就必须设置大到某种程度的减压室，其结果是造成整体涂布装置大型化。于是，在专利文献2中公开了一种涂布装置，在该涂布装置中，通过在喷出用狭缝的上游侧形成凹口，并且在该凹口中装设调整用块体，从而在凹口中的一部分区域构成减压室。这样一来，能够简单地构成减压室，并且能够考虑到涂布液的种类、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，其具备狭缝模和减压单元，所述狭缝模具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝，所述减压单元设在所述狭缝模的上游侧，所述涂布装置的特征在于:所述减压单元具备减压用狭缝和减压室，所述减压用狭缝与所述喷出用狭缝相邻而设，所述减压室与所述减压用狭缝相连结，所述喷出用狭缝的开口面的上游侧缘部与所述减压用狭缝的开口面的下游侧缘部之间的距离小于1.0mm，所述减压用狭缝的开口宽度小于1.0mm。

【技术特征摘要】
2015.03.19 JP 2015-0559501.一种涂布装置，其具备狭缝模和减压单元，所述狭缝模具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝，所述减压单元设在所述狭缝模的上游侧，所述涂布装置的特征在于:所述减压单元具备减压用狭缝和减压室，所述减压用狭缝与所述喷出用狭缝相邻而设，所述减压室与所述减压用狭缝相连结，所述喷出用狭缝的开口面的上游侧缘部与所述减压用狭缝的开口面的下游侧缘部之间的距离小于1.0mm，所述减压用狭缝的开口宽度小于1.0mm。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于:所述减压用狭缝向着所述减压室朝上游侧倾斜。3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于:所述减压用狭缝的倾斜角落在相对于该减压用狭缝的开口面成30～60°的范围...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷野圣，谷尚树，岸谷征典，木田威，
申请(专利权)人：东丽薄膜先端加工有限公司，东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP