下载涂布装置和涂布方法的技术资料

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本发明的目的在于提供一种涂布装置和涂布方法,即使提高基材的搬运速度,并且使涂布膜的膜厚变薄,该涂布装置和该涂布方法也能够稳定地保持液珠,从而能够稳定地形成均匀的涂布膜。本发明的涂布装置具备狭缝模(10)和减压单元(20),狭缝模(10)具有...
该专利属于东丽薄膜先端加工有限公司;东丽工程株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽薄膜先端加工有限公司;东丽工程株式会社授权不得商用。

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