图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法及记录介质制造方法及图纸

提供能够在随着设计数据的更新而更新作业单时简单地选择期望的作业单来执行更新工作的图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法以及程序。该图案描画装置用的GUI装置在更新作业单时使用，该作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，GUI装置具有：显示部，具有画面；操作部，操作显示部的画面；显示控制部，控制显示部的画面显示；显示输入更新后的更新设计数据名称的输入部(82)，显示与输入的更新设计数据名称相关的作业单列表(83)，显示用于指示针对从作业单列表(83)中被强调显示的更新对象的作业单将设计数据置换为更新设计数据的更新按钮(91)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于图案描画装置的图形用户界面(Graphical User Interface)装置(GUI装置)，该图案描画装置在形成有光致抗蚀剂膜的基板等上描画布线图案等图案。
技术介绍
以往，向半导体基板、印刷布线基板、玻璃基板等各种各样的基板照射透过光掩模的光，由此来形成图案。近年来，为了应对形成各种各样的图案，而采用如下一种技术，即，不必使用光掩模，向基板直接照射被空间调制过的光来描画图案，并进行曝光处理。将如上述进行曝光处理的图案描画装置称为直接描画装置，在例如专利文献1中记载有一种用于直接描画装置的GUI装置(例如，专利文献1中的第0043段以及图1)。该GUI装置在更新作业单时等使用。作业单(Job ticket)定义了一系列动作，该一系列动作用于对通过CAD(Computer Aided Design，计算机辅助设计)等设计的矢量形式的设计数据进行RIP(Raster Image Processing，光栅图像处理)展开来生成作为描画数据的光栅数据。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2013-77718号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在随着设计数据的更新而更新作业单时，在与该设计数据有关的作业单存在多个的情况下，会发生对不需要更新的作业单也更新设计数据的问题。为了防止发生这种问题，想到在更新了设计数据时创建新的作业单的应对方法，但是这种方法导致作业单数增多。为了减少作业单数，想到删除无用的作业单的应对方法，但是又会发生这种删除处理的工作增多的其他问题。鉴于如上述的问题，本专利技术的目的在于，提供一种能够在随着设计数据的更新而更新作业单时简单地选择期望的作业单来执行更新工作的图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法以及程序。用于解决问题的手段第一专利技术是一种图案描画装置用的GUI装置，所述GUI装置在更新作业单时使用，所述作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：设计数据信息输入部，在所述画面上显示用于输入与更新后的更新设计数据相关的信息的输入部，作业单信息显示部，在所述画面上显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是与利用所述操作部输入到所述设计数据信息输入部的信息相关的作业单，作业单强调显示部，在所述画面上强调显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是利用所述操作部从利用所述作业单信息显示部显示的与作业单相关的信息中选择出的作业单，并且该作业单作为应该将设计数据置换为所述更新设计数据的作业单，置换指示输入显示部，在画面上显示用于输入如下指示的输入部，该指示是针对与利用所述作业单强调显示部在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，将所述设计数据置换为所述更新设计数据的指示。。第二专利技术在第一专利技术的基础上，所述显示控制部还具有更新候选显示部，所述更新候选显示部根据与利用所述作业单强调显示部在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，在所述画面上显示与能够用于更新的更新设计数据即更新候选设计数据相关的信息。第三专利技术在第二专利技术的基础上，所述显示控制部还具有筛选信息输入显示部，所述筛选信息输入显示部在画面上显示用于筛选所述更新候选设计数
据的筛选信息输入部。。第四专利技术(图案描画系统)具有：第一专利技术～第三专利技术中任一项所述的图案描画装置用的GUI装置；图案描画装置，基于根据更新设计数据按照利用所述GUI装置更新后的作业单来生成的描画数据，来在基板上描画图案。。第五专利技术在第四专利技术的基础上，所述图案描画装置是对在基板上形成的光致抗蚀剂膜扫描被空间调制过的光束来描画图案的直接描画装置。第六专利技术是一种作业单更新方法，对定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理的作业单进行更新，其特征在于，包括：更新设计数据输入工序，利用GUI装置所具有的操作部，向在GUI装置所具有的显示部的画面上显示的设计数据信息输入部输入与更新后的更新设计数据相关的信息，作业单选择工序，利用操作部从与根据通过所述更新设计数据输入工序输入的信息在所述画面上显示的信息对应的作业单中，选择应该将设计数据置换为更新设计数据的作业单，置换工序，针对通过所述作业单选择工序选择出的作业单，利用所述操作部将所述设计数据置换为所述更新设计数据。第七专利技术是一种程序，图案描画装置用的GUI装置所具有的计算机能够读取，所述GUI装置在更新作业单时使用，该作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，其特征在于，所述程序使计算机发挥如下功能：设计数据信息输入部显示功能，在所述GUI装置所具有的显示部的画面上，显示设计数据信息输入部，所述设计数据信息输入部用于输入与更新后的更新设计数据相关的信息，作业单信息显示功能，在所述画面上显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是与利用所述GUI装置所具有的操作部输入到所述设计数据信息输入部的信息相关的作业单，作业单强调显示功能，在画面上强调显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是利用操作部从利用所述作业单信息显示功能在画面上显示的与作业单相关的信息中选择出的作业单，并且该作业单作为应该将利用所述操作部选择出的设计数据置换为所述更新设计数据的作业单，置换指示输入显示功能，在画面上显示用于输入如下指示的输入部，该指示是针对与利用所述作业单强调显示功能在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，将所述设计数据置换为所述更新设计数据的指示。第八专利技术在第七专利技术的基础上，还使计算机发挥更新候选显示功能，根据与利用作业单强调显示功能在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，在画面上显示与能够用于更新的更新设计数据即更新候选设计数据相关的信息。第九专利技术在第八专利技术的基础上，还使计算机发挥筛选信息输入显示功能，在画面上显示用于筛选所述更新候选设计数据的筛选信息输入部。专利技术的效果若采用第一专利技术～第九专利技术中的任一者，则能够提供一种能够在随着设计数据的更新而更新作业单时简单地选择期望的作业单来执行更新工作的图案描画装置用的GUI装置、图案描画系统、作业单更新方法以及程序。附图说明图1是示出包含图案描画系统的图形描画系统的图。图2是示出GUI装置的硬件结构的框图。图3是示出GUI装置的功能结构的框图。图4是示出从设计数据更新到描画执行为止的流程的流程图。图5是示出作业单的更新工作的流程的流程图。图6是用于说明初始画面的图。图7是示出作业单选择时的GUI画面的图。图8是示出作业单更新时的GUI画面的图。图9是直接描画装置的侧视图。图10是直接描画装置的俯视图。图11是示出照明光学系统以及投影光学系统的图。图12是放大示出空间光调制器的图。图13是示出直接描画装置的各部分与控制部的连接结构的框图。图14是示出控制描画动作的控制部的框图。图15是直接描画装置的动作的流程图。具体实施方式以下，针对本专利技术的实施方式，参照附图进行说明。＜系统的整体结构＞图1是示出包含作为本专利技术的一个实施方式的图案描画系统4的图形描画系统400的图。该图形描画系统400是选择性地对例如圆形状的半导体基板(以下，简称为“基板”)上的光致抗蚀剂膜进行曝光，在光致抗蚀剂膜上直接描画与电路图案对应的图形的系统。图形描画系统400本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案描画装置用的GUI装置，所述GUI装置在更新作业单时使用，所述作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：设计数据信息输入部，在所述画面上显示用于输入与更新后的更新设计数据相关的信息的输入部，作业单信息显示部，在所述画面上显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是与利用所述操作部输入到所述设计数据信息输入部的信息相关的作业单，作业单强调显示部，在所述画面上强调显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是利用所述操作部从利用所述作业单信息显示部显示的与作业单相关的信息中选择出的作业单，并且该作业单作为应该将设计数据置换为所述更新设计数据的作业单，置换指示输入显示部，在画面上显示用于输入如下指示的输入部，该指示是针对与利用所述作业单强调显示部在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，将所述设计数据置换为所述更新设计数据的指示。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.02.17 JP 2014-0272841.一种图案描画装置用的GUI装置，所述GUI装置在更新作业单时使用，所述作业单定义根据设计数据生成描画数据的一系列处理，其特征在于，具有：显示部，具有画面，操作部，操作所述显示部的所述画面，显示控制部，控制所述显示部的画面显示；所述显示控制部具有：设计数据信息输入部，在所述画面上显示用于输入与更新后的更新设计数据相关的信息的输入部，作业单信息显示部，在所述画面上显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是与利用所述操作部输入到所述设计数据信息输入部的信息相关的作业单，作业单强调显示部，在所述画面上强调显示与如下的作业单相关的信息，该作业单是利用所述操作部从利用所述作业单信息显示部显示的与作业单相关的信息中选择出的作业单，并且该作业单作为应该将设计数据置换为所述更新设计数据的作业单，置换指示输入显示部，在画面上显示用于输入如下指示的输入部，该指示是针对与利用所述作业单强调显示部在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，将所述设计数据置换为所述更新设计数据的指示。2.如权利要求1所述的图案描画装置用的GUI装置，其特征在于，所述显示控制部还具有更新候选显示部，所述更新候选显示部根据与利用所述作业单强调显示部在所述画面上强调显示的信息对应的作业单，在所述画面上显示与能够用于更新的更新设计数据即更新候选设计数据相关的信息。3.如权利要求2所述的图案描画装置用的GUI装置，其特征在于，所述显示控制部还具有筛选信息输入显示部，所述筛选信息输入显示部在画面上显示用于筛选所述更新候选设计数据的筛选信息输入部。4.一种图案描画系统，其特征在于，具有：权利要求1～3中任一项所述的图案描画装置用的GUI装置；图案描画装置，基于根据更新设计数据按照利用所述GUI装置更新后的作业单来生成的描画数据，来在基板上描画图案。5.如权利要求4所述的图案描画系统，其特征在于，所述图案描画装置是对在基板上形成的光致抗蚀剂膜扫描被空间调制过的光束来描画图案的直接描画装置。6.一种作业单更新方...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川至，中井一博，北村清志，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP